「SOG」を含む例文一覧(278)

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  • SOG APPLICATION DEVICE
    ＳＯＧ塗布装置 - 特許庁
  • METHOD OF COATING SOG, PRETREATMENT MECHANISM FOR COATING SOG, AND APPARATUS FOR COATING SOG
    ＳＯＧ塗布方法、ＳＯＧ塗布前処理機構及びＳＯＧ塗布装置 - 特許庁
  • METHOD FOR FORMING SOG FILM
    ＳＯＧ膜の形成方法 - 特許庁
  • FORMING METHOD FOR INORGANIC SOG FILM
    無機ＳＯＧ膜の形成方法 - 特許庁
  • After this high-viscosity SOG liquid is applied, the SOG liquid is subjected to heat treatment for 30 minutes at 400°C to fire the SOG liquid.
    この高い粘度のＳＯＧを塗布した後、４００℃、３０分間の熱処理をして焼成する。 - 特許庁
  • After filling SOG 8 in the plurality of trenches, the SOG 8 is solidified.
    複数のトレンチ内にＳＯＧを充填した後、ＳＯＧを固化する。 - 特許庁
  • METHOD OF FORMING POROUS SOG FILM
    多孔質ＳＯＧ膜の作製方法 - 特許庁
  • Then, the SOG film is formed by hardening the SOG solution by drying it.
    次に、ＳＯＧ液を乾燥によって硬化させＳＯＧ膜を形成する。 - 特許庁
  • SPIN COATER AND COATING METHOD OF SOG LIQUID
    スピンコータ及びＳＯＧ液の塗布方法 - 特許庁
  • HYDROPHOBIC TREATMENT METHOD FOR POROUS SOG FILM
    多孔質ＳＯＧ膜の疎水化処理方法 - 特許庁
  • APPARATUS FOR AND METHOD OF COATING SOG
    ＳＯＧ塗布装置及びＳＯＧ塗布方法 - 特許庁
  • METHOD FOR FORMING HYDROPHOBIC POROUS SOG FILM
    疎水性多孔質ＳＯＧ膜の作製方法 - 特許庁
  • MANUFACTURING METHOD OF HYDROPHOBIC POROUS SOG FILM
    疎水性多孔質ＳＯＧ膜の作製方法 - 特許庁
  • METHOD FOR FORMING HYDROPHOBIC POROUS SOG FILM
    疎水化多孔質ＳＯＧ膜の作製方法 - 特許庁
  • To provide a method of forming an SOG film.
    ＳＯＧ膜の形成方法を提供する。 - 特許庁
  • To provide a polishing method capable of selecting an SOG film against an SiO_2 film and polishing the SOG film.
    ＳｉＯ_２膜に対してＳＯＧ膜を選択して研磨できる研磨方法を提供する。 - 特許庁
  • METHOD FOR FORMING MULTILAYER FILM OF POROUS SOG FILMS
    多孔質ＳＯＧ膜の多層膜形成方法 - 特許庁
  • To provide a highly reliable SOG application device which can measure a SOG film applied on a wafer on a real time basis and can safely manage the thickness of the SOG film.
    ウェハ上に塗布されるＳＯＧ膜をリアルタイムで測定でき、安定したＳＯＧ膜厚の管理ができる高信頼性のＳＯＧ塗布装置を提供する。 - 特許庁
  • In the application unit, SOG solution is applied to the SOG film which is formed by transfer on the substrate, and the SOG film is further applied (step S61: application treatment).
    この塗布ユニットでは、基板に転写形成されたＳＯＧ膜上にＳＯＧ液が塗布されてＳＯＧ膜をさらに塗布する（ステップＳ６１：塗布処理）。 - 特許庁
  • Then, the surface of the SOG film is made hydrophobic, and a resist pattern is subsequently re-formed on the SOG film.
    その後、ＳＯＧ膜の表面を疎水化し、その後、そのＳＯＧ膜上に再度レジストパターンを形成する。 - 特許庁
  • A substrate 3 is placed on the SOG solution layer 2, thereafter, a solvent of the SOG solution layer 2 is vaporized and, at the same time, the ladder-type crosslinking reaction is caused in the SOG solution layer 2 to solidify the SOG solution layer 2.
    該ＳＯＧ溶液層２の上に基板３を載置した後、該ＳＯＧ溶液層２の溶媒を気化させつつ該ＳＯＧ溶液層２内でラダー型の架橋反応を生じさせて該ＳＯＧ溶液層２を固化する。 - 特許庁
  • NANO IN-PRINT LITHOGRAPHY USED UNDER ROOM TEMPERATURE USING SOG
    ＳＯＧを用いた室温ナノ−インプリント−リソグラフィー - 特許庁
  • An SOG film 13 is formed on the nitride film 12.
    窒化膜１２上にＳＯＧ膜１３を形成する。 - 特許庁
  • An SOG film 31 is embedded into the through-hole (h).
    次に、スルーホールｈ内にＳＯＧ膜３１を埋め込む。 - 特許庁
  • To prevent the dropping of an undesired SOG from a nozzle, and prevent the application of crystallized or solidified particles, in an SOG coating apparatus whereon different kinds of SOG materials are mounted.
    異種ＳＯＧ材料を搭載するＳＯＧコート装置において、ノズルからの不所望なＳＯＧの滴下を防止し、かつ、結晶化または固化したパーティクルの塗布を防止する。 - 特許庁
  • A hydrophobic porous SOG film is manufactured by thermally treating a SOG film in the presence of gas containing oxygen.
    ＳＯＧ膜の熱処理を酸素含有ガスの存在下で行って疎水性多孔質ＳＯＧ膜を作製する。 - 特許庁
  • Next, on the cover film 22, SOG is applied and the space between the reflectors 21 is embedded by the SOG film 23.
    次に、カバー膜２２の上にＳＯＧを塗布して、反射電極２１間の隙間をＳＯＧ膜２３で埋め込む。 - 特許庁
  • An etch stopper film (14) is formed on the modified SOG film (13a), and then a modified SOG film (15a) is formed.
    この改質ＳＯＧ膜（１３ａ）上にエッチストッパ膜（１４）を形成した後、改質ＳＯＧ膜（１５ａ）を形成する。 - 特許庁
  • Moreover, since the SOG process is made only in the formation process of the organic SOG layer 28, this manufacture can reduce the manufacture cost.
    また、ＳＯＧ工程を有機ＳＯＧ層２８形成工程のみにしているので、製造コストを下げることができる。 - 特許庁
  • An SOG liquid supply 14 dropping SOG liquid on the main surface of the wafer WF is arranged above the support stand 11.
    支持台１１の上方には、ウェハＷＦ主表面にＳＯＧ液を滴下するＳＯＧ液供給部１４が配備されている。 - 特許庁
  • A spin-on-glass (SOG) material is embedded in the recesses in shape.
    スピンオンガラス（ＳＯＧ）材料が該形状的窪みに埋められる。 - 特許庁
  • The glass cover 60 is laminated to this transparent SOG material film.
    ガラスカバー６０はこの透明ＳＯＧ材料膜に接合される。 - 特許庁
  • On the SiOC film 7, an SOG layer 8 is formed.
    ＳｉＯＣ膜７上には、ＳＯＧ層８が形成されている。 - 特許庁
  • A spin-on glass (SOG) material is filled into shape-like recesses.
    スピンオンガラス（ＳＯＧ）材料が該形状的窪みに埋められる。 - 特許庁
  • The flattening film 6 is preferably an SOG film.
    また、前記平坦化膜６は、ＳＯＧ膜であることが好ましい。 - 特許庁
  • The organic SOG film is reformed by ion implantation and is changed into a reformed SOG film 52 to a position deeper than a contact hole 56.
    有機ＳＯＧ膜をイオン注入により改質し、コンタクトホール５６より深い位置まで改質ＳＯＧ膜５２に変える。 - 特許庁
  • We live and die by sogs do you know what those are?
    俺たちは 生きる時も死ぬ時も sogに管理されてる 知ってるか? - 映画・海外ドラマ英語字幕翻訳辞書
  • We live and die by sogs do you know what those are?
    俺たちは 生きる時も死ぬ時も SOGに管理されてる 知ってるか? - 映画・海外ドラマ英語字幕翻訳辞書
  • When SOG 8 is applied on the oxide film 7 by using centrifugal force, remaining SOG 8 collects in the recess part 7X, and SOG 8 is applied on the oxide film 7 on the fuse wiring 3 in uniform thickness.
    酸化膜７上に遠心力を利用してＳＯＧ８を塗布すると、余剰分のＳＯＧ８が凹部７Ｘに溜まり、ヒューズ配線３上の酸化膜７に均一な厚さでＳＯＧ８が塗布される。 - 特許庁
  • An inorganic or inorganic/organic hybrid transparent SOG (Spin-On-Glass) material film (for example, a transparent nanoporous SOG material film 50) is arranged in the gap.
    前記隙間には、無機系または無機・有機ハイブリッドの透明ＳＯＧ材料膜（例えば透明ナノポーラスＳＯＧ材料膜５０）を配置する。 - 特許庁
  • To form an inorganic SOG film with less water residue at a low cost.
    水分残留量の少ない無機ＳＯＧ膜を低コストで形成する。 - 特許庁
  • There are removed the nitride film 12 and the SOG film 13 exposed under substantially the same condition in the etching selection ratio of the nitride film 12 and the SOG film 13.
    窒化膜１２とＳＯＧ膜１３のエッチング選択比がほぼ同じ条件で露出している窒化膜１２とＳＯＧ膜１３を除去する。 - 特許庁
  • (b) denotes curing temperatures when forming this SOG film 18.
    （ｂ）はこのＳＯＧ膜１８を形成する際のキュア温度を示している。 - 特許庁
  • A mask pattern of an oxide film, e.g. SOG, is formed on an organic film.
    有機膜上に、ＳＯＧなどの酸化膜のマスクパターンを形成する。 - 特許庁
  • The base layer 2, on which a trench is formed, is coated with an organic SOG film 20.
    トレンチが形成された下地２上に、有機ＳＯＧ膜２０を塗布する。 - 特許庁
  • To enhance heat resistance of an interlayer insulation film comprising an organic SOG film.
    有機ＳＯＧ膜よりなる層間絶縁膜の耐熱性を向上させる。 - 特許庁
  • To lower the temperature of a heating plate for a short time in a heat treating apparatus for heating after applying, e.g. so SOG liquid in an SOG coat forming apparatus.
    例えばＳＯＧ塗布膜形成装置における、ＳＯＧ液塗布後の加熱を行う熱処理装置において、加熱プレートの温度を短時間で降温させること。 - 特許庁
  • By using a resist pattern, the modified SOG film (15a), etch stopper film (14), and modified SOG film (13a) are etched for removal, and a via hole (17) is formed.
    レジストパターンを用いて改質ＳＯＧ膜（１５ａ）、エッチストッパ膜（１４）、改質ＳＯＧ膜（１３ａ）をエッチング除去してビアホール（１７）を形成する。 - 特許庁
  • To provide a light emitting diode array which can equalize an SOG application surface in an SOG application process in light emitting diode array manufacture, and its manufacturing method.
    発光ダイオードアレイ製造のＳＯＧ塗布工程においてＳＯＧ塗布面の均一化が図れる発光ダイオードアレイ及びその製造方法を提供する。 - 特許庁
  • An SOG film is formed on the source electrode and etched back to bury SOG films in the recessed parts of the source electrode and the surface of the source electrode is leveled.
    ソース電極上にＳＯＧ膜を形成し、エッチバックすることにより、ソース電極の凹部にＳＯＧ膜を埋め込み、電極表面を平坦化する。 - 特許庁
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