CANTILEVER FOR SPM AND ITS MANUFACTURING METHOD SPM用カンチレバー及びその製造方法 - 特許庁
To provide an SPM probe constituted of an SPM probe provided with a piezo resistor and capable of measuring the surface potential of a sample. ピエゾ抵抗体を設けたSPMプローブから構成され且つ試料の表面電位を測定することのできるSPMプローブを提供する。 - 特許庁
APPARATUS FOR CLEANING LOW CONCENTRATION NOx AND SPM 低濃度NOxおよびSPM浄化装置 - 特許庁
A speaker array is composed of speakers SP1-SPm. スピーカSP1〜SPmによりスピーカアレイを構成する。 - 特許庁
When the address contained in an access request is used, SPM identifies the region being accessed by the memory access request. 該アクセス要求をもつアドレスを使用すると、メモリアクセス要求がアクセス中の領域をSPMが識別する。 - 特許庁
The CPU 13 sets the SPM driver 12 in the PWM mode on the completion of starting of the SPM 11. CPU13は、SPM11の起動が完了すると、SPMドライバ12をPWMモードに設定する。 - 特許庁
In a CPU 13, a spindle motor driver 12 is set in a SPM starting mode on startup of the SPM 11. CPU13は、SPM11の起動時にはSPMドライバ12をSPM起動モードに設定する。 - 特許庁
DPF DEVICE FOR INCINERATING SPM BY MEANS OF MICROWAVE マイクロ波でSPMを焼却するDPF装置 - 特許庁
In SPM (sulfuric acid hydrogen peroxide mixture) processing using SPM of about 200°C, a wafer W is held in a substrate lower part holding section 2. 約200℃のSPMが用いられるSPM処理時には、基板下保持部2にウエハWが保持される。 - 特許庁
METHOD OF JOINTING NANOTUBE TO SPM PROBE TIP END PART SPM探針尖端部へのナノチューブの接合方法 - 特許庁
An SPM (scanning probe microscope) can write fine patterns on a substance by manipulating atoms one by one.
SPM(走査プローブ顕微鏡)は、原子1個1個を操作することにより、物質上に微細なパターンを描くことができる。 - 科学技術論文動詞集
The SPM can fabricate very fine patterns by moving atoms one by one on a material surface.
SPMは、物質表面の原子一個一個を動かすことにより、非常に精密なパターンを作る(加工する)ことができる。 - 科学技術論文動詞集
After that, the SPM is supplied onto the front surface of the wafer W. この後、ウエハWの表面にSPMを供給する。 - 特許庁
APPARATUS FOR MOUNTING SENSOR SUCH AS OXYGEN TO TIP OF SPM(SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE), AND APPARATUS FOR FIXING TIP OF SPM SPM(走査型プローブ顕微鏡)の先端に酵素などのセンサーを取り付けた装置。SPMの先端を固定した装置。 - 特許庁
When an SPM 11A with a sensor is mounted, a low signal (L) is outputted from an SPM driver 10A to a control part 2, and when an SPM without a sensor is mounted, a high signal (H) is outputted from an SPM driver 10B to the control part 2. センサ有りSPM11Aが搭載されると、SPMドライバ10Aから制御部2に対してロー信号(L)が出力され、センサレスSPM11Bが搭載されると、SPMドライバ10Bから制御部2に対してハイ信号(H)が出力される。 - 特許庁
An SPM is supplied from a process solvent nozzle in this state. この状態で、処理液ノズルからSPMが供給される。 - 特許庁
The SPM is supplied from the SPM nozzle 2 to the surface of the wafer W while the wafer W is rotated at 500 rpm. そして、ウエハWを500rpmで回転させながら、SPMノズル2からウエハWの表面にSPMを供給する。 - 特許庁
The CPU 164 creates the SPM image based on both the XY position data for the SPM image stored in an image data memory 172 and the Z position data for the SPM image stored in a height data memory 174, correlating it with the SPM measurement area of the light microscopic image. CPU164は、画像情報メモリー172に保存されたSPM像のXY位置情報と、高さ情報メモリー174に保存されたSPM像のZ位置情報とに基づいてSPM像を作成し、光学顕微鏡像のSPM測定領域と関連づける。 - 特許庁
In the mid-course section (inside the rotary shaft 21) of the flow passage 411 for SPM, a fluid pipe 7 with a agitating fin which produces high-temperature SPM by agitating the SPM supplied from a mixing valve 51 is interposed. SPM流路411の途中部(回転軸21内)には、ミキシングバルブ51から供給されるSPMを撹拌して、高温のSPMを生成するための撹拌フィン付流通管7が介装されている。 - 特許庁
A speaker array 10 is constituted by arraying a plurality of speakers SP1 to SPm. 複数のスピーカSP1〜SPmを配列してスピーカアレイ10を構成する。 - 特許庁
To provide the probe of a scanning probe microscope(SPM) having the channel structure of a field effect transistor formed at the tip thereof, and its fabricating method. チップの先に電界効果トランジスタのチャンネル構造が形成されたスキャニングプローブマイクロスコープ(SPM)の探針及びその製作方法を提供する。 - 特許庁
Fourthly, charges can be measured at a relatively far distance as compared with an existing SPM and the sensitivity is enhanced when the charges are measured at a short distance. 第4に、既存のSPMと比較して比較的遠い距離で電荷の測定が可能であり、また近く接近させて測定する場合には感度がすぐれて良くなる。 - 特許庁
To provide a scanning probe microscope which can correlatively evaluate both a SPM image and a light microscopic image with its resolution lower than that of the SPM image. SPM像とこれに比べて低分解能の光学顕微鏡像とを互いに関連づけて評価し得る走査型プローブ顕微鏡を提供する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a scanning tip and a mark of an SPM sensor. SPMセンサの走査尖端部及び目印の製造方法の提供。 - 特許庁
SPM supplied to the surface of the wafer W is heated by the wafer W to reach the first temperature at which the SPM is capable of displaying its resist separating capacity fully. ウエハWに供給されたSPMはウエハWによって加熱され、レジスト剥離能力を十分に発揮できる前記第1温度に昇温される。 - 特許庁
A start control circuit 123 starts the SPM 11 by controlling the drive circuit 127 to which high voltage is applied during the SPM starting mode. 起動制御回路123はSPM起動モードの期間、高電圧が印加された駆動回路127を制御することでSPM11を起動させる。 - 特許庁
To smoothly switch between each of objective lenses and an SPM unit by a simple configuration without affecting the SPM unit. 簡単な構成で、対物レンズ及びSPMユニットの切り替えするときにSPMユニットに影響を及ぼすことがなくスムーズに切り替え動作をすること。 - 特許庁
METHOD OF MEASURING MOUNTING ANGLE OF PROBE FOR SCANNING PROBE MICROSCOPE(SPM) 走査型プローブ顕微鏡(SPM)用プローブの取り付け角度測定方法 - 特許庁
A main spot SPm and side spots SPs1 and SPs2 are formed on a disk 101. ディスク101上にメインスポットSPmと、サイドスポットSPs1,SPs2とを形成する。 - 特許庁
An SPM probe includes: an SPM cantilever 1; a heat resistance 2 formed in a probe part of the SPM cantilever; an insulator film 3 formed on the heat resistance 2; and one filament 4 formed on the insulator film 3 for converting micro-scale energy sources into heat. SPMカンチレバー1と、SPMカンチレバーの探針部に形成された熱抵抗2と、熱抵抗2の上に形成された絶縁膜3と、絶縁膜3の上に形成された微小スケールエネルギー源を熱に変換する1本の細線4とを備えた。 - 特許庁
An audio signal which is convolved with a designated transfer function is supplied to the speakers SP1 to SPm respectively and wave-front composition of sounds outputted from the speakers SP1 to SPm is carried out. スピーカSP1〜SPmに、所定の伝達関数を畳み込んだオーディオ信号をそれぞれ供給してスピーカSP1〜SPmから出力される音響の波面合成を行う。 - 特許庁