The method includes: a setting process in which one of a plurality of driving waveforms, which drive the driving elements, is set to the driving elements which are provided in the nozzles in accordance with the discharging characteristics of the nozzles; and a scanning process in which the driving elements are driven by the set driving waveforms to discharge the liquid to the substrate from the nozzles. ノズルの吐出特性に応じてノズルに設けられた駆動素子に、駆動素子を駆動する複数の駆動波形のうちの一つを設定する設定工程と、設定した駆動波形で駆動素子を駆動して、ノズルから液状体を基板に吐出させる走査工程とを有する。 - 特許庁
This method is configured such that, after scanning the whole inner wall of the borehole, the shape of the inner wall of the borehole, and the position, the size and the shape of the cavity 9 formed in the hole wall of the borehole are detected based on acquired sectional shape data of the inner wall of the borehole. ボーリング孔の内壁全体を走査して、得られたボーリング孔の内壁の断面形状データに基づいて、ボーリング孔の内壁の形状ならびにボーリング孔の内壁に形成された空洞9の位置、大きさおよび形状を検出するように構成されている。 - 特許庁
A method for inspecting the printed circuit board makes the printed circuit board for mounting the semiconductor integrated circuit coping with boundary scanning, pass through a thermal impact chamber 2 to give thermal impact so as to push a probe 37 for a wiring pattern in the printed circuit board connected to an input terminal and an output terminal of the semiconductor integrated circuit. バウンダリスキャン対応の半導体集積回路が実装されたプリント基板を熱衝撃室2を通過させて熱衝撃を与え、半導体集積回路の入力端子及び出力端子に接続されるプリント基板内配線パターンに対してプローブ37を押し当てる。 - 特許庁
The polishing method is used to polish a workpiece such that a polishing tool press-contacts the workpiece having an aspheric surface while it is being rotated, and scans the work piece along a scanning line passing its rotation center. 非球面形状をもつ被加工物を回転させながら研磨工具を圧接させ、被加工物の回転中心を通る走査線に沿って走査させることで被加工物を研磨加工する研磨加工方法において、まず、ダミーワークを用いて工具の単位時間当りの除去形状を取得する。 - 特許庁
To provide a method of using a discount price barcode label for preventing a salesclerk from forgetting to reduce the price of discount goods (clearance goods) at a check-out counter, allowing easy scanning of a barcode including information on the discount price, and allowing easy pasting of the barcode label onto the goods for indicating the discount price. 値下げ商品(見切商品)についてレジにおける値引き忘れを防止すると共に、値下げ価格情報を含んだバーコードのスキャンが容易であり、かつ、値下げの表示をするための商品への貼付が容易となる値下げ価格バーコードラベルの使用方法を提供する。 - 特許庁
To reconstitute tomographic images at higher speed without increasing an exposure dosage to a subject when using an imaging method of reconstituting the tomographic image by performing scanning while repeatedly switching an X-ray tube voltage to a plurality of set tube voltages by the unit of one view or several views. X線管電圧を複数の設定管電圧に1または数ビュー単位にて繰り返し切り換えながらスキャンして断層像を再構成する撮像方法を用いる場合において、被検体への被曝量を増大させることなく、断層像をより高速に再構成する。 - 特許庁
By controlling the surface electric field intensity of a specimen and the scanningmethod of primary electron beam during image acquisition, charge produced by primary electron beam irradiation is mitigated or stabilize and the effects of dynamic charge produced by primary electron beam irradiation are made hardly occur. 試料の表面電界強度や画像取得時の一次電子ビームの走査方法を制御する事で、一次電子ビーム照射によって生成される帯電を緩和若しくは安定化し、一次電子ビームの照射によって生成される動的な帯電の影響を受けにくくする。 - 特許庁
To provide a radio communication system, a terminal station, a radio communication method, a program, and a recording medium, efficiently performing active scanning, accelerating the connection establishment of radio communication, appropriately determining radar detection and improving the quality of the radio communication. アクティブスキャンを効率的に行って無線通信の接続確立の高速化を図ると共に、適切にレーダ検出を判断して無線通信の品質を向上することが可能な無線通信システム、端末局、無線通信方法、プログラム、および記録媒体を提供すること。 - 特許庁
To provide a CDSEM (Scanning Electron Microscope) capable of highly accurately evaluating and presenting the length measurement reproducibility of the device without being affected by fluctuations of a fine shape, which tend to increase with the miniaturization of semiconductor patterns, and provide a reproducibility evaluation method as a device. 半導体パターンの微細化に伴なって増加傾向にある微細形状揺らぎに影響されずに、装置の測長再現性能を高精度で評価して提示することができるCDSEM(走査型電子顕微鏡装置)及び装置としての再現性能評価方法を提供することにある。 - 特許庁
To provide a surface treatment method of a film-like object capable of selectively performing surface treatment by a fine cutting action by non-contactly and easily finishing a smooth surface of a prescribed pattern by a conventional procedure without requiring a special scanning operation. 非接触で微細な削り作用による表面処理を選択的に行うことができ、特別な走査動作は必要なく一般的な手順により所定パターンの平滑面を容易に仕上げることができるフィルム状の対象物の表面処理方法を提供すること - 特許庁
To provide a radio wave detection device and a radio wave detection method capable of detecting the azimuth even when a scanning frequency of a radio wave emission source is long and a radio wave emission time is short and a pulse repeating interval is long, concerning azimuth detection of the radio wave emission source such as a radar. レーダ等の電波発射源の方位探知に関し、電波発射源のスキャン周期が長く、電波照射時間が短く、パルス繰り返し間隔が長い場合であっても方位検出を行うことができる電波探知装置及び電波探知方法を提供する。 - 特許庁
The method for producing exterior parts of electronic equipment includes injection molding a polylactic acid (component A) having a ratio of melting peak of ≥195°C of ≥80% in melting peaks in a temperature rising process in (A) differential scanning calorimeter (DSC) measurement at a mold temperature of 80-130°C. (A)示差走査熱量計(DSC)測定において、昇温過程における融解ピークのうち、195℃以上の融解ピークの割合が80%以上であるポリ乳酸(A成分)を、金型温度80〜130℃の範囲で射出成形して得られる電子機器外装部品の製造方法。 - 特許庁
To provide a silver halide emulsion comprising silver chlorobromide or silver chloroiodobromide, having high sensitivity and low fog, and excellent in latent image stability, and to provide a silver halide photographic sensitive material using the silver halide emulsion and an image forming method in which the photographic sensitive material is subjected to scanning exposure. 塩臭化銀または塩沃臭化銀から成る、高感度で低カブリで、潜像安定性に優れたハロゲン化銀乳剤、該ハロゲン化銀乳剤を用いたハロゲン化銀写真感光材料ならびに該写真感光材料を走査露光する画像形成方法を提供する。 - 特許庁
To enable an ink jet printer executing so-called multi-path recording to simplify or speed up a formation process of a mask table and also to reduce a memory capacity for a head driving method such as a block dispersion driving which drives thinned positions only per each scanning (path). 所謂マルチパス記録を行うインクジェット記録装置において、各走査(パス)毎に間引かれた位置だけを限定して駆動するブロック分散分割駆動などのヘッド駆動方式に対し、マスクテーブルの生成処理の簡略化ないし高速化とメモリ容量の削減とを可能にする。 - 特許庁
the values of the critical dimensions of the die can be obtained from a scan image of low resolution obtained at a relatively high scanning speed, so the method can obtain values of critical dimensions of respective dies in the whole wafer within an acceptable inspection time to monitor uniformity of a semiconductor manufacturing process. ダイの限界寸法の値は、相対して高いスキャン速度により得られる低解像度の走査像から得られるので、上述の方法は、受け入れ可能な検査時間内で、ウェハ全体中の各ダイの限界寸法の値を得て、半導体製造プロセスの均一性を監視することができる。 - 特許庁
To obtain a scanning optical device which is small in deviation of irradiation position due to the plane tilt of a deflection surface and which is suitable for recording the image of a high quality by improving a plane tilt compensation function while satisfying the curvature of image in subscanning cross section by an easy and simple method, and an image forming apparatus using it. 容易でかつ簡易な方法で副走査断面内の像面湾曲を満足しつつ面倒れ補正機能を向上させ、偏向面の面倒れによる照射位置ずれの少ない高品位な画像記録に適した走査光学装置及びそれを用いた画像形成装置を得ること。 - 特許庁
To provide a method and an instrument for measuring a surface shape of a sample, capable of lowering a needle pressure of a probe to avoid deformation of the measured sample, and capable of solving the problem of deformation, moreover, even if the scanning speed of the probe is set high, and allowing accurate measurement in a short time. 探針の針圧を低くして被測定試料の変形を避け、しかも探針の走査速度を高くしても上記の問題を解決して正確な測定を比較的短い時間で行うことのできる試料の表面形状の測定方法及び装置を提供する。 - 特許庁
The semiconductive belt includes an elastic layer made of a semiconductive rubber and a surface layer, wherein the surface layer is composed of a resin layer, containing a polytetrafluoroethylene resin fine powder, and a hardness-corresponding peak voltage value of the surface layer measured by an SPM (scanning probe microscope) method is ≤-6.35 V. 半導電性ゴムからなる弾性層と表面層からなり,表面層はポリ四フッ化エチレン樹脂微粉末を含有する樹脂層からなり,表面層のSPM法(走査型プローブ顕微鏡)で測定した硬度対応ピーク電圧値が−6.35V以下である半導電性ベルトとする。 - 特許庁
The droplet imparting method is carried out using the droplet discharge apparatus 100 in which a discharge scanning for discharging the droplets to a plurality of sections to be the color element from a nozzle of a droplet discharge means 103 while relatively moving the substrate on which the sections are formed and the droplet discharge means 103 in the minor axial direction is carried out. 本発明の液滴付与方法は、液滴吐出装置100を用いて実施され、色要素となるべき複数の区画が形成された基体と、液滴吐出手段103とを区画の短軸方向に相対的に移動させつつノズルより液滴を吐出する。 - 特許庁
To improve the quality of a hole and the reproducibility thereof and to enable concurrent perforation in an object to be machined, in a laser micro-machining system and a method of operating this device that makes a high-precision and controlled form of a hole in an object to be machined by using a scanning mirror with a milling cutting algorithm. 走査ミラー及びフライス加工アルゴリズムを使用して加工物に高精度かつ制御された孔形状を形成するレーザ微細加工装置及びその装置を操作する方法において、孔の品質と再現性を向上させるとともに、加工物の並行孔あけを可能にする。 - 特許庁
To provide a measuring device and method attaining appropriate measurement to each measuring object to shorten a measuring time by suitably controlling a measuring mode based on determination of the presence/absence of the measuring object held by a shape maintaining member in a scanning region of a probe. 探触子の走査領域において形状維持部材で保持された測定対象の有無の判定に基づき適宜に測定態様の制御を行い、各測定対象に対して適切な測定を可能として測定時間の短縮を可能とした測定装置及び方法を提供する。 - 特許庁
In the coating method for coating the inside of the partition with the paste composed of the fluorescent substance and an organic material or an inorganic material by scanning the nozzle along the partition on a substrate while discharging the paste from the nozzle, the fluorescent paste is applied while the sedimentation rate of the fluorescent substance particles in the paste is measured. 蛍光体と有機物あるいは無機物からなるペーストをノズルから吐出させながら基板上の隔壁にそって走査させ隔壁内に塗布する塗布方法において前記ペースト中の蛍光体粒子の沈降速度を計測しながら塗布する蛍光体ペースト塗布方法である。 - 特許庁
To provide a vibration-proof performance evaluation chart, a vibration-proof performance evaluation method for a film scanner and a vibration-proof performance evaluation apparatus capable of quantitatively evaluating the effect of a shock or vibration exerted to the film scanner on an input image, that is, the scanning performance so as to enhance the vibration-proof performance. フィルムスキャナに加えられる衝撃や振動による入力画像への影響、つまりスキャン性能を定量的に評価でき、耐振性能を向上させるための耐振性能評価チャート、フィルムスキャナの耐振性能評価方法及びフィルムスキャナの耐振性能評価装置を提供する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing an array substrate in which a protecting circuit is formed in a small number of photolithography stages simultaneously with the switching element, to connect scanning wirings and/or signal wirings to each other so as to prevent a switching element etc., from breaking electrostatically. 静電気からスイッチング素子などの破壊を防止するために走査配線同士及び/又は信号配線同士を接続する保護回路を、少ないフォトリソグラフィ工程でスイッチング素子と同時に形成することができるアレイ基板の製造方法を提供することである。 - 特許庁
The linewidth measuring method is provided with a first step of reading a line image by scanning an optical reading means with linear reflectivity in the linewidth direction, a second step of determining a maximum value and a minimum value of an integrated value of read data, and a third step of determining a threshold by a specified function. 線幅方向に反射率リニアな光学的読取手段を走査して線画像を読み取る第1の工程と、読み取られたデータの積分値の最大値、最小値を決定する第2の工程と、特定関数により閾値を決定する第3の工程を有する線幅測定方法。 - 特許庁
To provide a method for preventing a dry core that becomes a starting point, when a dry region is formed on a substrate from being generated at least at two locations near the center of the substrate, when discharging cleaning liquid to the surface of the substrate from a discharge nozzle and performing scanning with the discharge nozzle for spin-drying the substrate. 基板の表面へ吐出ノズルから洗浄液を吐出させつつ吐出ノズルを走査して基板をスピン乾燥させるときに、基板に乾燥領域が形成されるときの始点となる乾燥コアが基板の中心付近に2つ以上発生することを防止できる方法を提供する。 - 特許庁
In this method, in a scanning operation with a recording head in step 1, a reaction liquid is applied to a recording medium in such a way that the number of impacted reaction liquid dots per unit area to the recording medium is gradually decreased toward a recording ending point (b) from a recording starting point (a). ステップ1の記録ヘッドの走査によって、記録媒体への反応液の記録開始地点(図3中a)から記録終了地点(図3中b)に向かうに従って、記録媒体への単位面積あたりの反応液ドットの打ち込み数が小さくなるように反応液を記録媒体へ付与する。 - 特許庁
To provide an apparatus for oscillating excimer laser which can reduce the load on the lens material and its surface, can simplify the mirror or laser scanning control system, and is satisfactorily used in mass production since the service life of an excimer laser can be sufficiently prolonged, to provide an method for oscillating the excimer laser, and to provide an aligner. レンズ材料やその表面への負荷が少なく、かつ、ミラーもしくはレンズスキャンの制御系を簡略にすることができ、かつエキシマレーザ の寿命が十分長くなって量産の使用に耐えるエキシマレーザ 発振装置及び発振方法並びに露光装置を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a film thickness measuring method useful for acquiring a film product having an excellent thickness distribution by adjusting measurement errors at each thickness measuring point on the scanning position to be in the range of 1/5-1/30 of a statistical fluctuation value held by a thickness meter, in online film thickness measurement. オンラインでのフィルムの厚み測定において、走査位置における厚み測定点毎の測定誤差を厚み計の持つ統計変動値の1/5〜1/30にすることによって、良好な厚み分布のフィルム製品を得るのに有用なフィルムの厚み測定方法を提供する。 - 特許庁
A scanningmethod is provided for a display panel which provides display while the display panel is divided into 1st and 2nd areas, wherein a counter is actuated in timing to driving of a 1st row electrode of the 1st area and each time the value of the counter change, a 1st row electrode of the 2nd area is driven. 表示パネルを第1及び第2の領域に分割して表示をする表示パネルのスキャン方法であって、第1の領域の第1番目のロウ電極を駆動するタイミングに同期して、カウンタを起動させ、カウンタの値が変わるごとに、第2の領域の第1番目のロウ電極を駆動する。 - 特許庁
An edge detection method detects the second edge orthogonal to the edge to be detected, and sets a final scan range inside the second edge by scanning an image area which is slightly larger, including the edge of the semiconductor pattern among observed images. 本発明に係るエッジ部分検出方法では、観察画像のうち半導体パターンのエッジ部分を含む大きめの画像領域を走査することにより、検出対象のエッジ部分と直交する第2エッジ部分を検出し、最終的な走査範囲を第2エッジ部分よりも内側に設定する。 - 特許庁
The method includes comparing information derivable from a scanning interferometry signal for a first surface location of a test object to information corresponding to multiple models of the test object, wherein the multiple models are parameterized by a series of characteristics for the test object. 試験対象物の第1の表面箇所に対する走査干渉分光信号から導出可能な情報と試験対象物の複数のモデルに対応する情報とを比較することを含む方法であって、複数のモデルは、試験対象物に対する一連の特性によってパラメータ化される方法。 - 特許庁
To quantitatively and accurately measure the carrier concentration of a measured sample such as a semiconductor substrate by a semiconductor measuring device using a scanning capacitance microscope, and to provide a method for measuring the carrier concentration inexpensively without increasing the scale nor cost of a measurement system. 走査型容量顕微鏡を用いた半導体測定装置において、半導体基板などの測定サンプルのキャリア濃度を定量的に正確に測定することができ、しかもこのようなキャリア濃度の測定を、測定システムの規模の増大やコストアップを招くことなく低コストで行う方法の提供。 - 特許庁
In a method which includes comparing information derivable from a scanning interferometry signal for a first surface location of a test object to information corresponding to multiple models of the test object, the multiple models are parameterized by a series of characteristics for the test object. 試験対象物の第1の表面箇所に対する走査干渉分光信号から導出可能な情報と試験対象物の複数のモデルに対応する情報とを比較することを含む方法であって、複数のモデルは、試験対象物に対する一連の特性によってパラメータ化される方法。 - 特許庁
To provide a method and a device for adjusting automatic axis of an electron lens of a scanning electron microscope capable of automatically adjusting an axis of the electron lens in high precision. 本発明は走査型電子顕微鏡における電子レンズの自動軸調整方法及び装置に関し、電子レンズの軸調整を高精度で高速に自動で行なうことができる電子顕微鏡における電子レンズの自動軸調整方法及び装置を提供することを目的としている。 - 特許庁
To provide a scanning probe microscope having a space resolution up to the periphery centered at 10 nm, capable of acquiring quantitatively information on a film thickness or its distribution of a dielectric thin film, and an (extremely thin dielectric) film thickness distribution measuring method using the microscope. 誘電体薄膜の膜厚もしくはその分布に関わる情報を定量的に取得可能な、10nmを中心としてその近傍までの空間分解能を持つ走査型プローブ顕微鏡及びそれを用いた(極薄誘電体)膜厚分布測定方法を提供する。 - 特許庁
By this method, image data are systematized, and a film having a plurality of frames and provided with a plurality of magnetic tracks related to each frame is prepared, and the image whose resolution is low is prepared by scanning the film and is displayed so that the systematizing sequence of the frame can be selected. イメージデータを系統化する方法であって、複数のフレームを有し、各フレームに関連した複数の磁気トラックが設けられているフィルムが準備され、そのフィルムをスキャンすることによって低解像度イメージが生成され、フレームの系統化シーケンスが選択できるように表示される。 - 特許庁
To provide a scanning electron microscope device having a function to produce precisely and rapidly an imaging recipe having an equal or better performance than an imaging recipe produced manually by SEM operators based on their own unique know-how, and to provide an imaging method using the same. SEMオペレータが独自のノウハウに基づきマニュアルで生成した撮像レシピと同等あるいはそれ以上の性能をもつ撮像レシピを正確にかつ高速に生成する機能を備えた走査型電子顕微鏡装置ならびにそれを用いた撮像方法を提供する。 - 特許庁
To provide an imaging apparatus and its control method having excellent reliability in which a high quality image of good finish can be formed constantly by automatically adjusting the position of a laser beam optimally at all times in the direction orthogonal to the scanning direction. 走査の方向と直行する方向におけるレーザビームの位置を常に最適な位置に自動的に調整することができ、これにより常に良好な仕上がり具合の高品位な画像形成が可能な信頼性にすぐれた画像形成装置およびその制御方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method and an equipment for measuring the shape of a plane having area larger than that of a measuring aperture while splitting by scanning the aperture in which the error is not increased at a joint even if the number of synthesizing times is increased. 本発明は、測定開口より大きな面積を有する平面に測定開口を走査させて分割測定する面形状測定方法及び装置に関し、合成回数を多くしても繋ぎ合わせの誤差が増大しない面形状測定方法及び装置を提供することを目的とする。 - 特許庁
This aluminum alloy sheet excellent in coating/baking hardenability and workability is characterized by having the total heating value in the range of 150 to 250°C in all heat generating parts of ≥0.1 cal/g by differential scanning calorimetry at a temperature rising rate of 20°C/min, and a producing method of the same is provided. 昇温速度20℃/minの示差走査熱量測定において、150〜250℃の範囲がすべて発熱部で、150〜250℃の合計の発熱量が0.1cal/g以上であることを特徴とする塗装焼付け硬化性および加工性に優れるアルミニウム合金板およびその製造方法。 - 特許庁
To provide an image processor which makes a subsequent processing efficient and reduces execution time when continuous processing is to be performed by using image data obtained by scanning an original image and can perform the subsequent processing even if the image data is eliminated, and to provide a method, a program, and a recording medium. 原稿画像をスキャニングした画像データを利用して連続処理を行う場合に、後続の処理を効率化して実行時間を削減すると共に、画像データが消失した場合でも、後続の処理を実行可能な画像処理装置、方法、プログラムおよび記録媒体を提供すること。 - 特許庁
To provide an inkjet recorder which enables changing of a method for binarizing multi-value image data according to a transfer rate by reducing a recording scanning interval weight caused by a difference of data transfer capabilities to the selective connection of a plurality of computer interfaces of different transfer capabilities. 転送能力の異なる複数のコンピュータインタフェースの選択接続に対して、データ転送能力の差異が引き起こす記録走査間ウエイトを少なくし、転送速度に応じて、多値画像データを2値化する方法を変更することを可能にするインクジェット記録装置を提供する。 - 特許庁
The wood-based material-compounded resin composition comprises a composition composed of 10-90 pts.wt. propylene-based resin (X) having 110-150°C melting point (Tp) measured by differential scanning calorimeter (DSC) method and 90-10 pts.wt. lignocellulose or cellulosic substance (Y) as a major raw material. 示差走査熱量計(DSC)法で測定した融点(Tp)が110〜150℃のプロピレン系樹脂(X)10〜90重量部と、リグノセルロース系又はセルロース系物質(Y)90〜10重量部とからなる組成物を主要な原料とすることを特徴とする木質系材料配合樹脂組成物。 - 特許庁
The electron scanning microscope is provided with a plurality of apertures through which electron beams are capable of passing through and a mechanism in which the plurality of apertures are changed from one to another with the electron beams, and the method of static charge control of the sample is carried out by the changeover of the apertures. 上記目的を達成するために、電子ビームが通過可能な開口を複数備え、前記電子ビームに対して前記複数の開口を切り替える機構を備えた走査電子顕微鏡、及び開口の切り替えによって、試料の帯電を制御する方法を提案する。 - 特許庁
To provide a code detection program, a code detection method, and an image forming apparatus, capable of detecting simply and surely a one-dimensional code and a two-dimensional code from a printed matter, even when scanning diagonally the printed matter mixed with image information such as a photograph and text information. 写真等の画像情報やテキスト情報が混在する印刷物が斜めにスキャンされた場合であっても、印刷物から1次元バーコードや2次元コードを簡単かつ確実に検出することができるコード検出プログラム及びコード検出方法並びに画像形成装置の提供。 - 特許庁
To provide a multi-beam exposure method for recording stable halftones by using a two-dimensional optical modulator, increasing the number of dots that can be exposed in a direction orthogonal to the scanning direction, using a rectangular beam spot and using an FM screen, and to provide its device. 2次元光変調器を用いて、走査方向と直交する方向に対して一度に露光可能なドットの数を増加し、矩形のビームスポットを利用して、FMスクリーンを用い安定した中間調の表現を記録できるマルチビーム露光方法及び装置を提供する。 - 特許庁
To provide a plate making method for an original plate of a planographic printing plate by which plate making is attained by image recording by laser scanning exposure based on a digital signal and simple developing operation and disadvantage such as the contamination of a non-image area and the occurrence of pores in an image area due to a developing step are not caused. デジタル信号に基づいたレーザー走査露光による画像記録と、簡易な現像処理操作による製版が可能であり、現像工程に起因する非画像部の汚れや画像部のすぬけ等の不都合を生じない平版印刷版原版の製版方法を提供する。 - 特許庁
Further, a beam irradiation area or a deflector scanning area at magnified image observation is set up by an irradiation adjustment mechanism 201 so that an image size in using the magnified image in the phase retrieval method is in constant relation with an image size decided by a pixel size of the diffraction image, a camera length, and a wavelength of the irradiation beams. また拡大像を位相回復法に用いる際の画像サイズを回折像の画素サイズ、カメラ長、照射ビームの波長により決まる画像サイズと一定関係になるよう、拡大像観察時のビーム照射領域もしくは偏向器走査領域を照射調整機構201で設定する。 - 特許庁
A two-dimensional area 5 on a substrate 3 and a two-dimensional area 6 on a tilt plane 4 are scanned by the probe of a scanning probe microscope to calculate the angle formed by the two 2 dimensional areas 5 and 6 in this measuring method of the tilt angle 2 of the tilt plane 4 formed on the substrate 3. 基板3上に形成された傾斜面4の傾斜角2の計測手法において、基板3上の2次元領域5と傾斜面4上の2次元領域6とを走査プローブ顕微鏡のプローブにより走査し、2つの2次元領域5と6のなす角を算出する。 - 特許庁