The second semiconductor region is formed of SiGe or SiGeC. 第2の半導体領域はSiGe若しくはSiGeCで形成する。 - 特許庁
The composition of the thin film 2 is SiGe, for example. 薄膜2の組成としては、例えばSiGeである。 - 特許庁
The p-type dopant can be added to a gate electrode material coated on the layer of silicon or SiGe, and can diffuse toward the layer of silicon or SiGe. p型ドーパントは、シリコン又はSiGe層に被覆するゲート電極材料に付加され得、シリコン又はSiGe層に向かって拡散し得る。 - 特許庁
METHOD FOR ETCHING SiGe FILM SiGe膜のエッチング方法 - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING RELAXED SiGe LAYER 緩和SiGe基板の製造方法 - 特許庁
GROWTH METHOD OF SiGe THIN FILM SiGe薄膜の成長方法 - 特許庁
METHOD OF FORMING RELAXED SiGe LAYER 緩和SiGe層の形成方法 - 特許庁
METHOD FOR DEPOSITING SiGe FILM SiGe膜の形成方法 - 特許庁
The SiGe layer comprises a polycrystalline Si region and an SiGe base region. SiGe層は多結晶Si領域及びSiGeベース領域を含む。 - 特許庁
The smaller the diffusion coefficient of B in the SiGe layer is the higher the Ge compsn. is. SiGe層中のBの拡散係数はGe組成が高いほど小さくなる。 - 特許庁
The dopant can have its peak concentration within the layer of silicon or SiGe near an interface with the underlying layer of the gate electrolyte material. このドーパントは、シリコン又はSiGe層の、下にあるゲート誘電体材料の層との界面近くのシリコン又はSiGe層内でピーク濃度を有し得る。 - 特許庁
An SiGe layer is formed on an Si substrate 1, and an Si layer 5 having a selection ratio smaller than that of the SiGe layer is formed on the SiGe layer. Si基板1上にSiGe層を形成し、SiGe層よりもエッチングの選択比が小さなSi層5をSiGe層上に形成する。 - 特許庁
To suppress variations sof Ge concentration in a SiGe film and film thickness of the SiGe film in FET where the SiGe film is used for a channel region. SiGe膜をチャネル領域に用いるFETにおいて、このSiGe膜中のGe濃度及びSiGe膜の膜厚のばらつきを抑制する。 - 特許庁
An SiGe layer 3 is formed on an Si substrate 1, and an Si layer 5 is formed on the SiGe layer 3. Si基板1上にSiGe層3を形成し、SiGe層3上にSi層5を形成する。 - 特許庁
SiGe DEVICE INCLUDING SiGe-EMBEDDED DUMMY PATTERN FOR REDUCING MICRO LOADING EFFECT マイクロローディング効果を軽減するためのSiGe埋め込みダミーパターンを備えたSiGe装置 - 特許庁
A high-power, high frequency (1-100 GHz) power amplifier (18) is made using SiGe transistors. 大電力・高周波(1〜100GHz)の電力増幅器(18)は、SiGeトランジスタを使用して形成される。 - 特許庁
Preferably, the SiGe layer comprises carbon. SiGe層は、炭素を含むことが好ましい。 - 特許庁
CMOS OF SiGe/SOI AND ITS MANUFACTURING METHOD SiGe/SOIのCMOSおよびその製造方法 - 特許庁
The layer of silicon or SiGe can be formed in the thickness of about 5 to 120nm, and is doped by a dopant such as, for instance, indium (In) in order to prevent the p-type dopant from passing through the layer of silicon or SiGe. シリコン又はSiGeの層は、約5から120ナノメートルの厚みに形成され得、p型ドーパントがシリコン又はSiGe層を通り抜けることを阻止するように、例えば、インジウム(In)などのドーパントでドープされる。 - 特許庁
SiGe CRYSTAL AND MANUFACTURING METHOD THEREOF SiGe結晶およびその製造方法 - 特許庁
To provide an improved SiGe device including an SiGe-embedded dummy pattern which surrounds the SiGe device and is specially designed so as to reduce micro loading effect during epitaxial growth of SiGe. SiGe装置を取り囲んで、SiGeのエピタキシャル成長時にマイクロローディング効果を軽減できるように特別に設計されたSiGe埋め込みダミーパターンを備えた改良されたSiGe装置を提供する。 - 特許庁
An SiGe layer 24 is formed in a P-type silicon layer 12. P型シリコン層21内にSiGe層24を形成する。 - 特許庁
SiGe BASE BIPOLAR TRANSISTOR SiGeベースバイポーラトランジスタ - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING STRAIN RELAXING SiGe SUBSTRATE 歪み緩和SiGe基板の製造方法 - 特許庁
An SiGe layer 9 is selectively grown in the groove 8. 溝8内にSiGe層9を選択成長させる。 - 特許庁
An SiGe layer 10 is grown in the groove 9. 溝9内にSiGe層10を成長させる。 - 特許庁
SiGe-ON-INSULATOR SUBSTRATE MATERIAL SiGeオンインシュレータ基板材料 - 特許庁
The first base semiconductor layer 40 is made of SiGe. 第1ベース半導体層40はSiGe層よりなる。 - 特許庁
POLYCRYSTALLINE SiGe JUNCTION FOR ADVANCED DEVICE 最新デバイス用の多結晶SiGe接合 - 特許庁
C IMPLANTING FOR IMPROVING YIELD OF SiGe BIPOLAR SiGeバイポーラの歩留りを向上させるC打込み - 特許庁
RESISTIVE MEMORY USING SiGe MATERIAL SiGe材料を使用する抵抗性メモリー - 特許庁
To minimize defect density in an SiGe layer. SiGe層中の欠陥密度を最小化することができる。 - 特許庁
To control the work function of n+SiGe. n^+SiGeの仕事関数を制御できるようにする。 - 特許庁
The photodetecting element comprises an SiGe graded buffer layer 2 of an n-conductivity disposed on an Si layer 1, an i-SiGe layer 3 which is an intrinsic semiconductor absorbing light disposed on the SiGe graded buffer layer, and an SiGe layer 4 of a p-conductivity disposed on the i-SiGe layer. Si層1上に位置するn導電型のSiGeグレーデッドバッファ層2と、SiGeグレーデッドバッファ層上に位置し、光吸収を行なう真性半導体であるi-SiGe層3と、そのi-SiGe層上に位置するp導電型のSiGe層4とを備える。 - 特許庁
The SiGe film 18 is composed of an SiGe buffer layer 18x, an SiGe gradient composition layer 18a and an upper SiGe layer 18b, with which a Ge content is almost fixed or change in the Ge content is smaller than that of the SiGe gradient composition layer 18a. SiGe膜18は、SiGeバッファ層18xと、SiGe傾斜組成層18aと、Ge含有率がほぼ一定又はGe含有率の変化がSiGe傾斜組成層18aよりも小さいSiGe上部層18bとによって構成されている。 - 特許庁
In a method for manufacturing an Si substrate for forming a MOS transistor, an SiGe film is formed as lattice-matching it to an Si substrate surface, an Si film is formed as lattice-matching it on the SiGe film, Ge ions and hydrogen ions are injected to an area where an NMOS transistor is formed, and heat treatment is performed to reduce distortion of only the SiGe film in the area. MOSトランジスタを形成するためのSi基板の製造方法において、SiGe膜をSi基板表面に格子整合させながら形成し、Si膜をSiGe膜上に格子整合させながら形成し、nMOSトランジスタを形成する領域にGeイオンと水素イオンを注入し、熱処理を施して、前記領域のSiGe膜のみの歪みを緩和する。 - 特許庁
To provide a method to selectively form a SiGe perpendicular optical path and SiGe perpendicular optical path structure for IR photodetection. SiGe垂直光路と、IR光検出用のSiGe光路垂直構造を選択的に形成する方法とを提供すること。 - 特許庁
The transistors Tr_1 and Tr_2, resistors R_1 and R_2, and a constant current source I can be manufactured easily using Si semiconductors and/or SiGe semiconductors. トランジスタTr_1,Tr_2,抵抗R_1,R_2,定電流源Iは、Si半導体及び/又はSiGe半導体で容易に作製可能である。 - 特許庁
SiGe-HBT is provided with an SiGe film 18 and an Si film 19 by sequential epitaxial growth. SiGe−HBTには、SiGe膜18と、Si膜19とを順次エピタキシャル成長により設けられている。 - 特許庁
A layer of SiGe is deposited on a substrate and implanted with ions to form a depletion region within a SiGe material below its surface. SiGe層は、基板上に堆積され、イオンが注入されて、その表面の下のSiGe材料内に欠乏領域を形成する。 - 特許庁
The p-type polycrystalline SiGe film 3 is subjected to hydrogenation by hydrogen plasma to obtain (c) an n-type polycrystalline SiGe film 4. 水素プラズマにより、p型の多結晶SiGe膜3に水素処理を施して、n型の多結晶SiGe膜4を得る(c)。 - 特許庁
A first multilayered structure 10 of a strained Si layer 14 and tensile strain SiGe alloy layer 16 constitute on a relaxation SiGe alloy layer 12. 緩和SiGe合金層12上に歪みSi層14及び引っ張り歪みSiGe合金層16の第一多層化構造10を構成する。 - 特許庁
To provide a relaxed SiGe substrate at reduced cost by shortening the time required for implanting hydrogen ions into a strained SiGe substrate for relaxation. 水素イオン注入による歪SiGeへの緩和の際のイオン注入処理時間を低減してコスト低減する. - 特許庁
To provide a method of manufacturing an SiGe heterojunction bipolar transistor which reduces the SiGe base resistance. SiGeベース抵抗が低減されるSiGeヘテロ接合バイポーラ・トランジスタを形成する方法を提供すること。 - 特許庁
Further, a p-type SiGe mixed crystal layer 49c is formed on the SiGe mixed crystal layer 49b by epitaxial growth. 更に、SiGe混晶層49b上にp型のSiGe混晶層49cがエピタキシャル成長法により形成されている。 - 特許庁
An SiGe layer 11 is formed on an Si substrate 1 and an Si layer 13 is formed on the SiGe layer 11. Si基板1上にSiGe層11を形成し、SiGe層11上にSi層13を形成する。 - 特許庁
Furthermore, the Ge density in the SiGe mixed crystals 49a and 49c is less than the Ge density in the SiGe mixed crystal layer 49b. 更に、SiGe混晶層49a及び49c中のGe濃度は、SiGe混晶層49b中のGe濃度より低い。 - 特許庁
The SiO_2 film 21 is etched partially for forming an SiGe removal hole H exposing the sides of the SiGe layer 11 and the Si layer. そして、SiO_2膜21を部分的にエッチングして、SiGe層11及びSi層の側面を露出させるSiGe除去穴Hを形成する。 - 特許庁
To provide a method capable of not only manufacturing an SiGe hetero junction bipolar transistor but also improving the yield of an SiGe bipolar. SiGeヘテロ接合バイポーラ・トランジスタを製造するだけでなく、SiGeバイポーラの歩留まりも向上させる方法を提供すること。 - 特許庁