「Stage Control System」を含む例文一覧(281)
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精密ステージ制御システム - 特許庁 - STAGE DRIVING CONTROL SYSTEM
ステージ駆動制御方式 - 特許庁 - MOTOR CONTROL SYSTEM AND STAGE SYSTEM
モータ制御システムおよびステージシステム - 特許庁 - CONTROL SYSTEM FOR STAGE TRAVEL DEVICE
舞台走行装置の制御システム - 特許庁 - LITHOGRAPHIC DEVICE, STAGE SYSTEM, AND STAGE CONTROL METHOD
リソグラフィ装置、ステージシステムおよびステージ制御方法 - 特許庁 - MICROSCOPE SYSTEM AND STAGE CONTROL METHOD
顕微鏡システム及びステージ制御方法 - 特許庁 - MOBILE TERMINAL FOR STAGE ARRANGEMENT CONTROL SYSTEM, AND STAGE ARRANGEMENT CONTROL SYSTEM USING THE SAME
舞台装置制御システム用携帯端末及びそれを用いた舞台装置制御システム - 特許庁 - LINEAR MOTOR CONTROL METHOD OF GATE TYPE STAGE SYSTEM
門型ステージ装置のリニアモータ制御方法 - 特許庁 - A stage control system (main control system and vibration suppressing control system) is connected to the stage device 1, and residual vibration of the stage is controlled by this control system.
ステージ装置１は、ステージ制御系（主制御系と制振制御系）が接続されており、このステージ制御系の制御により、ステージの残留振動が抑えられる。 - 特許庁 - STAGE DEVICE, CONTROL SYSTEM, EXPOSURE SYSTEM AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
ステージ装置、制御システム、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁 - PID ADJUSTING METHOD FOR STAGE POSITION CONTROL SYSTEM, PI ADJUSTING METHOD FOR STAGE SPEED CONTROL SYSTEM, AND STAGE DEVICE
ステージ位置制御系のＰＩＤ調整方法およびステージ速度制御系のＰＩ調整方法ならびにステージ装置 - 特許庁 - MOTOR-DRIVEN STAGE CONTROL SYSTEM FOR MICROSCOPE, CONTROL DEVICE THEREFOR, AND CONTROL METHOD THEREFOR
顕微鏡用電動ステージ制御システム、該制御装置、及び該制御方法 - 特許庁 - RELEASE STAGE CONTROL SYSTEM OF WEB CONTENT SERVICE
ＷＥＢコンテンツサービスの解放段階制御システム - 特許庁 - MULTI-STAGE SUPERCHARGING SYSTEM FOR INTERNAL COMBUSTION ENGINE AND CONTROL METHOD FOR THE SYSTEM
内燃機関用多段過給システム及びその制御方法 - 特許庁 - OPERATION CONTROL METHOD OF TWO-STAGE WASTE GASIFICATION SYSTEM WASTE
廃棄物の二段ガス化システムの運転制御方法 - 特許庁 - The lithographic device includes the stage system, which in turn includes a moving stage and a stage control system controlling the position of the stage in response to a setting signal.
リソグラフィ装置はステージシステムを含み、ステージシステムは、移動ステージおよび設定信号に応答してこのステージの位置を制御するステージ制御システムを含む。 - 特許庁 - A head position control system for the dual-stage actuation is provided.
デュアルステージ動作用のヘッド位置制御システムが提供される。 - 特許庁 - CONTROL SYSTEM, CONTROL METHOD, AND CONTROL PROGRAM FOR SHIFT-STAGE SWITCHING
変速段切替制御装置、変速段切替制御方法、及び、変速段切替制御プログラム - 特許庁 - CONTROL METHOD FOR STAGE DEVICE, EXPOSURE SYSTEM AND MANUFACTURING METHOD FOR DEVICE
ステージ装置の制御方法、露光装置及びデバイスの製造方法 - 特許庁 - SYSTEM AND METHOD FOR POSITION CONTROL FOR MAGNETIC HARD DISK DRIVE SYSTEM WITH DUAL-STAGE ACTUATION
デュアルステージ動作を具備した磁気的ハードディスクドライブシステム用の位置制御システム及び方法 - 特許庁 - MOBILE POSITION CONTROL SYSTEM AND STAGE DEVICE USING THE SAME
移動体位置制御装置及びこの制御装置を用いたステージ装置 - 特許庁 - To provide a stage system which little disturbs magnetic fields and can improve the position control accuracy of a stage by suppressing the reaction generated when the stage is driven.
磁場の乱れが少なく、ステージ駆動による反力を抑え、ステージの位置制御精度を向上できるステージ装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a control system for stage travel device which can smoothly control the speed of a stage travel device and secures the precision of automatic stop control.
舞台走行装置を円滑に速度制御すると共に、自動停止制御の精度を確立することができる舞台走行装置の制御システムを提供する。 - 特許庁 - A decision part 11 controls a selector 10, to switch the multirate control system and single-rate control system under specific conditions in a control stage.
判定部１１は、制御過程での所定の条件に従って、マルチレート制御系とシングルレート制御系とを、セレクタ１０を制御して切替える。 - 特許庁 - CONTROL SYSTEM FOR PRIMARY DEHYDRATION PROCESS IN TWO- STAGE PRESSING DEHYDRATION TREATMENT APPARATUS FOR SLUDGE
汚泥の二段圧搾脱水処理装置における一次脱水工程の制御システム - 特許庁 - The device includes a stage driving system which drives a stage mounted with the substrate and a control unit which separately controls an inkjet coating control system for inkjet coating.
その装置は、基板を搭載するステージを駆動するステージ駆動系と、インクジェット塗布用のインクジェット塗布制御系とを分離して制御する制御装置を有する。 - 特許庁 - In this method, each system contains a movable workpiece stage and a stroboscopic lighting apparatus which can control the exposure time.
各システムは、可動ワークステージと、露光時間を制御可能なストロボ照明装置を含む。 - 特許庁 - To solve the following problem: the actual position of a substrate stage during pulse light emission does not match the position of the substrate stage that a position control system acquires.
パルス発光時における実際の基板ステージの位置と、位置制御システムが取り込んだ基板ステージの位置とが一致しない。 - 特許庁 - To provide a stage controlling apparatus which is capable of shortening a time required for moving a stage without having an adverse effect such as vibrations even when a travel distance of the stage is short, and to provide an exposure system and a stage control method.
ステージの移動距離が短くとも、振動等の悪影響を生じずに移動に要する時間を短縮することができるステージ制御装置、露光装置、ステージ制御方法を提供する。 - 特許庁 - To control a stage accurately in a scanning aligner of slit scan aligning system.
例えばスリットスキャン露光方式の走査型露光装置におけるステージの制御を正確に行う。 - 特許庁 - To provide an active vibration resistant system capable of controlling vibration of a vibration resistant stage from movement of a center of gravity of the whole vibration resistant stage by performing a feed forward control of an air spring and electromagnetic actuator control system of the vibration resistant stage even when movement speed of the stage is high.
ステージの移動速度が大きい場合でも除振台の空気バネと電磁アクチュエータの制御系にフィードフォワード入力することによって、ステージの移動速度が大きい場合でも除振台全体の重心の移動による除振台の揺れを抑圧する能動的除振装置を提供する。 - 特許庁 - A stage control system 21 includes a cogging correction part 22 and a feedback control part 23 which performs usual PID control, and the feedback control part 23 has a PID control operation part 24.
ステージ制御系２１は、コギング補正部２２と通常のＰＩＤ制御を行うフィードバック制御部２３とを有し、フィードバック制御部２３はＰＩＤ制御演算部２４を備える。 - 特許庁 - The stage control system 21 stores the stage position in cogging measurement driving and the control command value calculated with the PID control operation part 24 in a memory of the cogging correction part 22, and generates a correction table of control command values for the stage position from these pieces of data.
ステージ制御系２１は、コギング測定駆動におけるステージ位置とＰＩＤ制御演算部２４で演算された制御指令値とをコギング補正部２２のメモリ内に格納し、これらのデータからステージ位置に対する制御指令値の補正テーブルを作成する。 - 特許庁 - Based on the schedule, control sections (stage control sections 11a and 24a, a coil power source control section 16a, etc.), respectively control the stages 11 and 24 and the charged particle beam optical system.
該スケジュールに基づいて制御部（ステージ制御部１１ａ、２４ａ及びコイル電源制御部１６ａ等）がステージ１１、２４及び荷電粒子線光学系を制御する。 - 特許庁 - In the circulation system, a temperature control system is assembled to lower a return cooling/heating medium to a set value or lower at a cooler 9, to carry out first stage heating control 4 at a storage tank part 1, and to carry out second stage heating control 5 in front of a supply body 6.
循環系において、戻り冷熱媒を冷却器９で一旦設定値以下に下げ、貯槽部１にて１段目の加熱制御４、更に供給体６の手前で、２段目の加熱制御５を行う温度制御系を組む。 - 特許庁 - The exposure apparatus EX includes a stage apparatus ST composed of a wafer stage WST and a measurement stage MST supported so as to have a six degree of freedom and a main control system MC for controlling the stage apparatus ST.
露光装置ＥＸは、６自由度を有するよう支持されたウェハステージＷＳＴ及び計測ステージＭＳＴからなるステージ装置ＳＴ、及びステージ装置ＳＴを制御する主制御系ＭＣを備える。 - 特許庁 - The system is provided with a protection stage number counter 1 that is used for forward and backward protection in common and with a protection stage number discrimination function 2 that generates a control signal outputted to the protection stage number counter 1 and protection stage number discrimination result.
前方・後方共通に用いられる保護段数用カウンタ１と、この保護段数カウンタ１へ出力される制御信号および保護段数判定結果を生成する保護段数判定機能２とを備えている。 - 特許庁 - An optical communication system comprises a photodetector, a preceding stage amplifier circuit, a main amplifier circuit, a gate control circuit 6 and a comparator.
受光素子と前段増幅路とメイン増幅回路とゲート制御回路６とコンパレータからなり。 - 特許庁 - Because the strike stage and hold stage may immobilize by interfering with skeletal muscle control by the target's nervous system, a rest stage may allow the target to take a breath.
攻撃ステージおよび拘束ステージは、目標の神経系による骨格筋制御を妨げて動けなくできるので、休息ステージは、目標が息をつくことを許すことができる。 - 特許庁 - Because the strike stage and hold stage may immobilize by interfering with skeletal muscle control by the target's nervous system, the rest stage may permit the target to take a breath.
攻撃ステージおよび拘束ステージは、目標の神経系による骨格筋制御を妨げて動けなくできるので、休息ステージは、目標が息をつくことを許すことができる。 - 特許庁 - In this stage, the input/output characteristic of the fine motion actuator is calculated with a simple constitution by the two- stage actuator control part 1 in such a manner that the two-stage actuator mechanism part 2 is controlled by a coarse motion one stage servo system control part 10 and a fine motion actuator driving signal generating part 12.
ここで、２段アクチュエータ制御部１は、粗動１段サーボ系制御部１０と微動アクチュエータ駆動信号発生部１２とにより２段アクチュエータ機構部２を制御することで、簡単な構成で微動アクチュエータ入出力特性を計算できる。 - 特許庁 - The control circuit 40 adjusts the relative position between the reticle stage 18 and the wafer stage 27 and a projecting multiples of the optical projecting system 23, based upon the parameters.
制御回路４０は、このパラメータに基づき、レチクルステージ１８とウエハステージ２７との相対位置や投影光学系２３の投影倍率を調整する。 - 特許庁 - To provide a mobile terminal for stage arrangement control systems, and a stage arrangement control system using the same easy to operate by one hand and capable of taking a wide information display space.
片手で操作することが容易で情報表示スペースを広く取ることができる舞台装置制御システム用携帯端末とそれを用いた舞台装置制御システムを提供する。 - 特許庁 - To provide a hydraulic control device for an engine having a two-stage hydraulic system, and to appropriately perform failure determination of the hydraulic control device.
いわゆる２ステージ油圧システムを備えたエンジンの油圧制御装置の提案と、その故障判定を適切に行うことを課題とする。 - 特許庁 - To provide a control device of an internal combustion engine capable of resolving at an early stage the freezing of each control valve in a twin turbo system.
ツインターボシステムにおける各制御弁の氷結を早期に解消することが可能な内燃機関の制御装置を提供する。 - 特許庁 - A sample stage transfer control and a probe transfer control are conducted by using a same coordinate system on an observation image, and a shutdown deviation of the sample stage can be positioned as a probe control transfer amount.
本発明は、試料ステージ移動制御とプローブ移動制御を、観察画像上において同一の座標系を用いて制御することにより、試料ステージの停止誤差をプローブ制御移動量として位置決め可能とする。 - 特許庁 - To provide a monitor control apparatus and an acoustic system for naturally and clearly emitting monitor sound on a stage.
自然かつ明瞭にステージ上のモニタ音声を放音するモニタ制御装置及び音響システムを提供する。 - 特許庁 - The group of the address control signals from the former stage row decoder are signals of a not-increased power source potential VDD system.
前段のロウデコーダからのアドレス制御信号群は、昇圧されていない電源電位VDD系の信号である。 - 特許庁 - To provide an exposure system and an exposure method which carries out positional control on a stage device more precisely.
ステージ装置の位置制御をより精密に行うことが可能な露光装置及び露光方法を提供すること。 - 特許庁 - To reduce costs and simplify a control system and at the same time improve the position controllability of a stage.
コストの低減及び制御系の簡素化を図ることができるとともに、ステージの位置制御性を向上させる。 - 特許庁
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