By the configuration, in the formation of a desired three-dimensional structure pattern on the substrate, the hard mask layer is the material of a high etching selection ratio to the substrate, so that the step of the hard mask layer corresponding to the three-dimensional structure pattern to be formed can be made smaller than the desired three-dimensional structure pattern. 本発明の構成によれば、所望する3次元構造パターンを基板に形成する場合、ハードマスク層は基板に対してエッチング選択比が高い材料であるため、形成する3次元構造パターンに対応するハードマスク層の段差は、所望する3次元構造パターンよりも小さくすることが出来る。 - 特許庁
There provided is a variant diaphorase forming a three-dimensional structure in which a distance between tryptophane at the 60th site from the N-terminal and the first site imino nitrogen of a coenzyme flavin mononucleotide in a three-dimensional structure on the formation of a complex with the coenzyme flavin mononucleotide is larger than the distance in a three-dimensional structure by a wild type diaphorase. 補酵素フラビンモノヌクレオチドとの複合体形成時の立体構造における、N末端から60番目のトリプトファンと前記補酵素フラビンモノヌクレオチドの1位イミノ窒素との距離が、野生型ジアホラーゼがとる立体構造における該距離よりも大きい立体構造をとりうる変異型ジアホラーゼを提供する。 - 特許庁
To provide a composite vapor deposition material and a method of producing a film by which the number of times of film formation operations is reduced, and a film with a multilayer structure having reduced pinholes can be obtained in the production of a composite film of copper and chromium. 銅とクロムの複合膜作製で、製膜作業回数を減らしピンホールの少ない、多層構造の膜が得られる複合蒸着材と膜の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a threshing separator where the front structure of a grain sieve (27) between the left and right sidewalls (39) and (40) of a swing separatory panel (22) is simplified and increased in mechanical strengths, etc., by integral formation of a backward conveyance rack (38). 揺動選別盤(22)の左右側壁(39)(40)間のグレンシーブ(27)前部構造の簡略化及び強度向上などを後方移送ラック(38)の一体形成によって行う。 - 特許庁
Thereby, the oil passage structure can be simplified to reduce machining man-hours for oil passage formation, and the oil filter is commonly used to reduce the number of components. これにより、油路の構成を簡略化し得るので、油路形成のための加工工数を低減できる上、オイルフィルタを共用することによる部品点数の削減が可能となる。 - 特許庁
To provide a connection structure for photovoltaic power generation module that is excellent in flame resistance, heat resistance, and product yield without problems of gas generation during formation resulting from flame retardant. 難燃剤に起因する成形時のガス発生の問題がなく、難燃性及び耐熱性に優れ、かつ製品歩留りに優れた太陽光発電モジュール用接続構造体を提供する。 - 特許庁
To provide a sheet feeder feeding sheets in a favorable attitude at all times by a simple structure and to provide an image formation device with such a sheet feeder. 簡易な構成によって、常に良好な姿勢でシートを供給することのできるシート供給装置、および、そのようなシート供給装置を備える画像形成装置を提供すること。 - 特許庁
To provide a sheet conveying device wherein a support for a roller holder can be formed integrally with a body frame, there is not need for a slide for exclusive use during molding, and formation is practicable through simple mold structure. コロホルダの支持部を本体フレームと一体で形成でき、成型時に専用のスライドを必要とせず、簡単な型構造で形成可能とするシート搬送装置等を提供する。 - 特許庁
To propose the structure of a slab floor allowing the inside of a frame to be used large enough as a living space and facilitating the formation of a drainage slope and a groove at a balcony or a corridor. 架構内部を居住空間として十分に広く利用することができ且つバルコニーや廊下において水勾配や溝を形成することが容易である、スラブ床の構造を提案する。 - 特許庁
To provide an evaporator that prevents the adhesion and frost formation of condensed water to a corrugated fin, can improve heat exchange performance, has a simple structure, and can reduce manufacturing costs. コルゲートフィンに対する凝縮水の付着や着霜を防止し、熱交換性能の向上を図ることができ、構造が簡単で、製造コストの低減化が可能な蒸発器を提供する。 - 特許庁
To provide a transflective liquid crystal display that exhibits satisfactory display performance without the formation of a laminated structure of a solidified liquid crystal layer and an organic insulating layer which are each patterned. 各々がパターニングされた固体化液晶層と有機絶縁層との積層構造を形成することなしに、優れた表示性能を有する半透過型液晶表示装置を実現する。 - 特許庁
To provide a highly bonded structure that can improve the adhesive force between an insulating layer and a semiconductor even when such a forming method that little damages the semiconductor is used for the formation of the insulating layer. 絶縁層の形成に半導体へのダメージが小さい形成方法を用いた場合でも、絶縁層と半導体との接着力が向上する高接着構造を提供する。 - 特許庁
To provide a semiconductor device and its manufacturing method, by which a gate electrode structure provided with an ultra-thin gate oxide film of 3 nm or less can be processed accurately for silicide formation. 3nm以下の極薄ゲート酸化膜を有するゲート電極構造を高精度に加工し、サリサイド形成を可能にする半導体装置ならびにその製造方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a hot dip metal coating device for a band steel which is of simple structure and capable of effectively preventing the formation of dross in a plating bath in a continuous hot dip coating of the band steel. 鋼帯の連続溶融金属めっきにおいて、簡易な装置で、めっき浴中のドロスの生成を効果的に抑制することが可能な鋼帯の溶融金属めっき装置の提供。 - 特許庁
To provide a cold start valve structure for a fuel cell vehicle capable of reducing weight and cost and of saving energy by obviating the need of a separate heating means for eliminating ice formation. 結氷を解消するための別のヒーティング手段を不要にし、重量及び原価の節減と省略エネルギーが図れる燃料電池車両の冷始動バルブ構造を提供する。 - 特許庁
To provide joint structure of a chip part to bus bars in which sufficient solder joint strength is obtained by suppressing the formation of voids in solder fillets, and highly reliable solder joint is realized. はんだフィレット内にボイドの形成を阻止して十分なはんだ接合強度を保持して、信頼性の高いはんだ接合を実現するチップ部品のバスバーの接合構造を提供する。 - 特許庁
According to the structure of the corner drain, a recess is formed in a side plate at an upper portion of an aperture of a cylinder portion in a manner bulging on the other side of the cylinder portion, and by virtue of this formation, the overflow function is imparted to the corner drain. 筒状部の開口部上方における側板部に筒状部の他端側に膨出する凹部を形成することにより、コーナードレインにオーバーフロー機能を備えさせた。 - 特許庁
To provide an optically active polymer which can perform simultaneously the control of the color change as well as the new spiral structureformation, and the spiral winding direction even in a solid state or film state. 固体状態や膜状態でも色彩変化及び新たならせん構造の形成やらせんの巻き方向の制御を同時に行うことができる光学活性ポリマーを提供する。 - 特許庁
To provide a developer storage device and an image formation device that have a structure capable of effectively restraining a heat generation at a bearing part without increasing the sizes of the devices. 装置の大型化を招くことなく、軸受部分における熱の発生を効率良く抑制することのできる構造を備える現像剤収容装置および画像形成装置を提供する。 - 特許庁
To provide a supporting structure of a horizontal wind direction plate of an air conditioner capable of resolving frost formation on an unexpected place, and having high operability and high stability as it can be firmly vertically disposed on a supporting body. 思わぬ場所への露付が解消し、操作性が良く、支持体にしっかり立設できて安定性が良い空気調和機の左右風向板の支持構造を提供する。 - 特許庁
In the movable plate member 98, an elastic membrane part 114 of a single layer structure is used as a formation portion of each small diameter part 112, and an elastic abutting protruding part 118 is protrudedly formed thereon. かかる可動板部材98においては、各小径部112の形成部分を単層構造の弾性膜部114とし、そこに弾性当接突部118を突出形成する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing an epitaxial wafer having a superjunction structure which suppresses formation of a cavity and saves trouble and cost, and to provide a method of manufacturing a semiconductor device. 空洞が生じることを抑制し、かつ手間およびコストを低減したスーパージャンクション構造を有するエピタキシャルウエハの製造方法および半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
A piloerection fabric sheet 1 is lined with a resin sheet 31, but pores are provided on the resin sheet 31 to avoid formation of a hollow duplicate wall structure and to improve a sound absorbing property. 立毛繊維シート1に樹脂シート31を裏打ちするが、中空二重壁構造の形成を回避し、および吸音性を向上させるために該樹脂シート31には多孔を設ける。 - 特許庁
According to this structure, the formation of two or more kinds of exclusive orifices and orifice mount seats matched thereto is dispensed with, and the orifices 7 and 8 can be easily set as designed. 上記構成とすることで、複数種の専用のオリフィスとそれに合ったオリフィス取付座を形成する必要がなくなり、設計通りのオリフィス(7,8)の設置を簡単に行うことができる。 - 特許庁
To provide a plate member and a shaft member engaging structure capable of engaging the shaft member, and allows site work without requiring preliminary formation of an attachment hole in a rail side. 軸部材を係止することができ、且つ事前にレール側に取付穴を形成していなくても現場施工が可能なプレート部材及び軸部材の係止構造を提供する。 - 特許庁
To provide a wiring structure of a semiconductor device, in which formation of a hole due to excessive alloying of an electrode layer and a wiring layer is suppressed while obtaining junction stability by the alloying. 電極層と配線層との合金化による接合安定性が得られつつ、合金化の進みすぎによる空孔の発生が抑制された半導体素子の配線構造を提供する。 - 特許庁
To provide a multiple target sputtering apparatus which allows successive film formation with a plurality of targets while maintaining the atmosphere in a vacuum chamber, has a simple structure, and is excellent in reducing size and cost. 真空チャンバ内の雰囲気を維持しつつ順次複数のターゲットによる成膜が可能であるとともに、構造がシンプルで小型化、低コスト化に優れたマルチターゲットスパッタ装置を提供する。 - 特許庁
In the nanowire, ultrafine particles are linearly arranged in a single particle row by using self-organizing structureformation, and its average width is one to five times of an average diameter of the ultrafine particles. 自己組織的構造形成を利用して、超微粒子を線状に単粒子配列させてなり、その平均幅が超微粒子の平均直径の1〜5倍であるナノワイヤを得る。 - 特許庁
To provide an image forming apparatus in which prompt image formation is achieved by shortening processing time before an image forming operation by simple structure at low cost. 簡易かつ低コストな構成により、画像形成動作の前の処理時間を短縮して、迅速な画像形成を達成することのできる画像形成装置を提供することにある。 - 特許庁
The second nitride semiconductor layer is formed as a fine crystal structure having a high insulating property and is coated with a nitride film, thereby mitigating an increase of the leakage current caused by formation of the nitride film. そして第2の窒化物半導体層を絶縁性の高い微結晶構造とし、窒化膜で被覆することで、窒化膜の形成により生じるリーク電流の増加を緩和する。 - 特許庁
To realize formation of a fine pattern or production of a thin plate shaped pattern by a simple process without using a costly photomask, when forming the fine pattern on a substrate or producing the thin plate shaped pattern structure. 基体上に微細パターン形成し、あるいは薄い板状パターン構造を製作する際に、高価なフォトマスクを使用せずに簡単なプロセスでそれらの製作を実現する。 - 特許庁
A protective layer 52 such as a silicon nitride layer, a silicon oxynitride layer, or the like is separately formed on an MTJ laminate structure 20 before the formation of a silicon oxide layer 53 prior to a CMP process. CMPプロセスに先立つシリコン酸化物層53の形成前に、MTJ積層構造20の上に、シリコン窒化物層またはシリコン酸化窒化物層等の保護層52を別途形成する。 - 特許庁
To provide a sheet metal frame that obtains high rigidity and surface accuracy by removing the distortion caused by the formation of a diaphragm with a simple structure, and an electronic apparatus including the sheet metal frame. 簡易な方法で絞り部の形成により生じた歪みを除去することにより、高い剛性及び面精度を有する板金フレームおよびそれを備えた電子機器を提供する。 - 特許庁
To provide a semiconductor device reducing the thin wire resistor of a gate electrode and having a silicide film formationstructure where the reduction of the bonding leak of a diffusion layer can be achieved, and its manufacturing method. ゲート電極の細線抵抗の低減、及び、拡散層の接合リークの低減が図れるシリサイド膜形成構造を有する半導体装置及びその製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a geopolymer composition which is suitable for building, civil engineering, structureformation, etc., is produced by the geopolymer method, and is an alternative to concrete or mortar; and its production method. 建設用・土木用・構造体形成用などに適し、ジオポリマー法を用いた、コンクリートやモルタルに代わるジオポリマー組成物及びその製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
The composite structure thin film is manufactured, by bringing a sol-gel reactive solution containing the surface-active substance and photochromic compound into a sol-gel reaction, and carrying out thin film formation. この複合構造体薄膜は、前記界面活性物質およびフォトクロミック化合物を含有するゾルゲル反応溶液をゾルゲル反応に供した後、薄膜化することによって製造される。 - 特許庁
To obtain a semiconductor device having such a structure that can suppress the increase, etc., of the manufacturing man-hour regarding the formation of electrodes while the performance of the device as a capacitor is secured. キャパシタとしての性能を確保しつつ、その電極形成にかかる製造工数の増加等を抑制可能な構造を有する半導体装置及びその製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a connection structure of a turn lever capable of suppressing the deformation of a slide shaft part onto an outer peripheral face in the formation of a caulked part of a connection shaft without increasing cost. コストを増大することなく連結軸のカシメ部の形成において摺動軸部の外周面への変形を抑制することができる回動レバーの連結構造を提供する。 - 特許庁
To provide a fine structureformation method, using isotropic etching, by which controllability of etching in fine processing is improved, and even a large-sized substrate can be uniformly processed as a result. 等方性エッチングを用いた微細加工の際にエッチングの制御性を向上し、大型基板においても均一な加工を実現する微細構造形成方法を提供する。 - 特許庁
To provide a coating apparatus having a simple structure while clearly separating start and end of discharge of a coating liquid from a nozzle, and a coating film formation system incorporated with the coating apparatus. ノズルからの塗布液の吐出開始および終了を明確に区切りつつも、簡素な構造の塗布装置および該塗布装置を組み込んだ塗布膜形成システムを提供する。 - 特許庁
As a result, the formation of rainwater puddles is avoided, and the root rod of vegetation and the erosion of the surface of the natural ground are suppressed, which leads to the expectation of avoidance of secondary works such as the construction of a draining concrete structure. 雨水の溜まるのが避けられ、植生の根腐れや地山表層の浸食が抑制されると共に、水切りコンクリート施工等の二次工事の回避がおおいに期待される。 - 特許庁
To provide a high-density chip scale package employing a heat radiation structure that widens solder ball formation effective area for package area and increases a pin count. パッケージ面積に対するソルダーボール形成可能有効面積を広げることができ、ピンカウントを増加させることができる放熱構造を採用した高密度チップスケールパッケージを提供する。 - 特許庁
The second insulating layer is etched, a collar insulating layer is formed on the pad layer structure in the trench and a side wall of the pad oxide layer, and the bottom insulating layer is eliminated in accordance with the formation of the collar insulating layer. 次に第2絶縁層をエッチングして、トレンチ内のパッド層構造及びパッド酸化物層側壁にカラー絶縁層を形成し、これに伴って底部絶縁層を除去する。 - 特許庁
By the formation of the reflection layer 102, a flat part 101b functions as a mirror surface and a reflectance of the uneven structure 101a becomes remarkably lower than that of the flat part 101b. 反射層102の形成により、平坦部101bは鏡面となり、凹凸構造101aの反射率は、平坦部101bの反射率に比べ著しく低くなる。 - 特許庁
To provide a fuel cell capable of, with a simple structure, easily and reliably discharging condensed water from an inside of a seal-integrated metal separator and also preventing formation of blisters as much as possible. 簡単な構成で、シール一体型金属セパレータ内から結露水を容易且つ確実に排出することができ、ブリスターの発生を可及的に阻止することを可能にする。 - 特許庁
According to the structure of the wiping device, a blade member 21 has a distal end portion 21a inclusive of a tip on a straight line, to be abutted on the nozzle formation surface, and a proximal end portion 21b fixed into a holder member 22. ブレード部材21は、ノズル形成面に当接される直線上の先端部を含む先端側部分21aと、ホルダー部材22に固定された基端側部分21bと、を有する。 - 特許庁
The molded frame 52 supports components, such as a process unit 56 and an exposure device 17, of a basic structure mainly related to image formation, common for a copying function, a printing function, and a facsimile-function. モールドフレーム52は、プロセスユニット56、露光装置17など、コピー機能とプリンタ機能とファクシミリ機能とで共通の、主に画像形成にかかわる基本構造の構成部品を支持する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing, in the practical cost, a semiconductor optical device which assures excellent controllability in formation of inclined waveguide structure and includes a light emitting surface of low reflectivity. 斜め導波路構造を形成する際の制御性が良好で、反射率が低い出射端面を備えた半導体光デバイスを実用的なコストで作製する方法を提供する。 - 特許庁
Additionally, the mounting of the other piece 11B of the long member on the sliding door 2 enables the simple formation of the rail plate 12, makes a structure relatively simple, and brings about excellent durability. また、長尺部材の他片11Bを引戸2に取り付けることにより、レール板12を簡便に形成することができ、比較的構造簡易であって、耐久性にも優れたものとなる。 - 特許庁
To provide an airtight structure of an electric cable, which can maintain airtightness of a core wire-exposed part regardless of formation of both a mold and a heat-shrinkable tube by polyolefin resin. モールド及び熱収縮チューブの双方をポリオレフィン系の樹脂で形成した場合にも心線露出部の気密性を保つことのできる電線ケーブルの気密構造を提供する。 - 特許庁