To provide a wave guiding method and an exciting method of plasmon polariton by which propagation direction dependence of propagation efficiency can be reduced and the degree of freedom of its constitution can be enhanced or the constitution which is hardly constructed conventionally can be easily constructed, to provide a waveguide and to provide an element using these. 伝播効率の伝播方向による依存性を低減することができ、構成の自由度を向上させ、あるいは従来においては作製困難な構成を容易に作製することが可能となるプラズモンポラリトンの導波方法及び励起法、導波路、これらによる素子等を提供する。 - 特許庁
The optical waveguide circuit comprises a first side face substantially orthogonal to an optical axis; a second side face facing the first side face substantially parallel to the same; and a third side face, arranged so as to form an internal angle with the second side face of 90° to 180°. 本発明にかかる光導波回路は、光軸と略直交する第一の側面と、第一の側面に略平行に対向する第二の側面と、第二の側面と90°より大きく180°より小さい内角を持つように配置される第三の側面とを含む。 - 特許庁
The antenna part 40 has one or more slot holes 41 in a wall 40a whose cross section makes a short side, and converts the processing gas supplied into the rectangular waveguide 22 placed in an atmospheric pressure state to plasma by the microwave to emit the converted plasma from the slot holes 41 toward a processed object on the outside. アンテナ部40は、その断面において短辺をなす壁40aに1又は複数のスロット孔41を有しており、大気圧状態の矩形導波管22内に供給された処理ガスをマイクロ波によってプラズマ化し、スロット孔41から外部の被処理体へ向けて放出する。 - 特許庁
The extremely small optical waveguide is formed of an oxide film which is partially buried in a metallic substrate and has a width and a height equal to or less than the wavelength of light and is characterized by that the metallic substrate is formed of a composite laminated film of different kinds of metals such as titanium, aluminum, and silver. 本発明による 極微小光導波路は、金属基板中に部分的に埋め込まれ、光の波長以下の幅と高さを有する酸化膜よりなるとともに、金属基板がチタン、アルミニウム、銀等の異種金属の複合積層膜より形成されることを特徴とする。 - 特許庁
To provide a ridge waveguide type semiconductor laser of a constitution, wherein an electrode can be formed at a prescribed position with good accuracy even in the case where a deviation is generated in the electrode formation position, a good current constriction can be realized and the adhesion of a semiconductor layer to an insulating film is good. 電極を精度良く所定の位置に形成することができ、電極形成位置にずれが生じた場合であっても良好な電流狭窄が実現することができ、半導体層や絶縁膜との密着性が良好な、リッジ導波路型半導体レーザを提供すること。 - 特許庁
To prevent a beveling part from breaking and to reduce a laser output loss caused by a beveling on an outgoing surface by designing the beveling at corners between the outgoing surface and a reflecting surface of a waveguide as strength equalizing means for equalizing in one direction in a laser annealing device. レーザアニール装置において、一方向に均一化する強度均一化手段として導波路の出射面と反射面との間の角部に面取りを設計して、面取り部の欠損を防止しながら且つ出射面での面取りに起因してレーザ出力損失を軽減する。 - 特許庁
To provide an optical module substrate which facilitates alignment (optical axis alignment) between an optical pin and photoelectric device and optical waveguide to be optically connected thereto in a technology of changing the optical path by using the optical pin in particular, and provide its manufacturing method, optical module, and electronic equipment. 特に光ピンを用いて光路の変更を行う技術において、光ピンとこれに光学的に接続する光電気デバイスや光導波路との間の位置合わせ(光軸合わせ)を容易にした、光モジュール基板とその製造方法、光モジュール、及び電子機器を提供する。 - 特許庁
The optical modulating element 101 has a grating layer 3 where grating members 5 are cyclically arranged, and a first conductive member 2 and a second conductive member 4 to which a voltage is applied at right angles to a waveguide direction of the grating layer 3, on a substrate. 本発明の光変調素子101は、基板1上に、格子部材5が周期的に配置される格子層3と、格子層3における導波方向に対して垂直の方向に電圧を印加するようになっている第1の導電性部材2と第2の導電性部材4とを備えている。 - 特許庁
A core 103 of the optical waveguide 100 is provided with a spot size conversion part 103b, formed so that the width and the height are gradually reduced, toward an edge part 105 and formed so that a cross-sectional height is gradually reduced, toward the height direction. 光導波路100のコア103は、幅および高さが先端部105に向かって徐々に小さくなるように形成されているとともに、断面幅が高さ方向に向けて徐々に小さくなるように形成されているスポットサイズ変換部103bを備えている。 - 特許庁
In this way, an n-type semiconductor whose electric conductivity is comparatively high, light absorptivity is comparatively low and impurities are hardly diffused, is used as the clad layers formed on and under the optical waveguide layer 103, further a semi-insulating layer is provided between the n-type clad layers 102 and 104. このように、光導波路層103の上下に形成するクラッド層として、導電率が比較的高く、光吸収が比較的小さく、不純物が比較的拡散しにくいn型の半導体を用い、更にn型クラッド層102及び104間に半絶縁性の層を設ける。 - 特許庁
To provide an infrared temperature sensor that can be reduced further in size, can be attached to the front end of a measuring probe, because the sensor can be used without attaching any sensor frame nor waveguide to the sensor, and can measure the body temperature of the user of the sensor with high accuracy, without being affected by the ambient temperature. より一層小型化できると共に、センサーフレームや導波管を付加することなしに使用でき、それにより、測定プローブの先端に取り付けることを可能にし、もって、環境温度に影響されない、高精度な体温測定を可能にする赤外線温度センサーを提供する。 - 特許庁
A waveguide type wave guide line 1 has a dielectric substrate 10, a pair of conductor layers 11, 12 counterposed mutually so as to interpose the dielectric substrate 10 in between, and a plurality of first and second through holes 13A, 13B for making the pair of conductor layers 11, 12 in continuity with each other. 導波管型導波路1は、誘電体基板10と、誘電体基板10を挟持するように互いに対向配置された一対の導体層11,12と、一対の導体層11,12間を導通する複数の第1および第2のスルーホール13A,13Bとを有している。 - 特許庁
By adjusting the timing of the display light 5 and the control light 6 on the waveguide 1, conventional two-dimension light source and/or control is made unnecessary, and display on a flat or curved surface display is made possible, by one-dimensional control (time and intensity) of the display light 5 and the control light 6. 導波路上1において、表示光5と制御光6のタイミングを調整することにより、従来の二次元の光源および/または制御を不要とし、表示光5と制御光6の1次元制御(時間と強度)によって平面や曲面ディスプレイでの表示を可能とする。 - 特許庁
The optical waveguide substrate 15A has a substrate main body 2 which is made of an optoelectronic material, and has a main face 2a and an opposing face 2b opposite to each other, optical waveguides 4A, 4B, and electrodes 3A, 3B and 3C for applying an electric signal to the optical waveguides. 光導波路基板15Aが、電気光学材料からなり、相対向する一方の主面2aと対向面2bとを備えている基板本体2、光導波路4A、4B、および光導波路に電気信号を印加可能な電極3A、3B、3Cを備えている。 - 特許庁
Besides, a dimension L in the lengthwise direction of a dielectric board 2 in the form of rectangle is set to about 1/2 wavelength of a guide wavelength λg as well and by fitting the long side of this dielectric board 3 to a recessed groove 2a, inside the waveguide 1, the dielectric board 3 is fixed to both the ridges 2. また、長方体形状にした誘電体板3の長手方向の寸法Lも管内波長λgの約1/2波長に設定し、この誘電体板3の長辺側を凹溝2aに嵌合することにより、導波管1の内部で誘電体板3を両リッジ2に固定した。 - 特許庁
The switch parts 2A through 2D have a plane waveguide 4 including optical waveguides for connection 5a through 5d and optical waveguides for input 6 and reflection mirrors 8a through 8d which reflect the light emitted from the optical waveguides for input 6 to the optical waveguides for connection 5a through 5d. スイッチ部2A〜2Dは、接続用光導波路5a〜5d及び入力用光導波路6を含む平面導波路4と、入力用光導波路6からの光を接続用光導波路5a〜5dに反射させる反射ミラー8a〜8dとを有している。 - 特許庁
The radiotherapy system 1 comprises free waveguides 74, 75, 86 and 87 deforming a part of waveguides for transmitting high-frequency waves from a high-frequency source 5 to an acceleration tube 64, and an irreversible circuit element 77 interposed between the acceleration tube 64 and the free waveguide 74, 75, 86 or 87 among the waveguides. 高周波源5から加速管64に高周波を伝送する導波路の一部を変形する自由導波管74、75、86、87と、導波路のうちの加速管64と自由導波管74、75、86、87との間に介設される非可逆回路素子77とを備えている。 - 特許庁
The center contact 13 of the coaxial waveguide converter is connected electrically to the internal conductor of the coaxial cable 2, and is arranged as electrically insulated from the converter body 10 and projected toward the inside of the converter chamber 12A of the converter body 10. 同軸導波管変換器の中心コンタクト13は同軸ケーブル2の内部導体に電気的に接続されており、変換器本体10とは電気的に絶縁された状態で変換器本体10の電波/電気信号変換室12A内に突出配置されている。 - 特許庁
To achieve stable, high-efficiency optical coupling by enhancing stabilization of optical coupling in a hybrid integrated optical module in which at least two optical circuit boards each having at least either one of an optical waveguide board and an optical function element are mounted on an optical component mounting board. 光導波路基板と光機能素子の少なくとも1つを有する光回路基板の少なくとも2つを光部品搭載基板上に搭載するハイブリッド集積光モジュールにおいて光結合の安定化を向上させ、安定で高効率な光結合を実現する。 - 特許庁
To provide a novel optical transmission material having low transmission loss (at 850 nm) on a practical level, solder heat resistance (high Tg), low CTE, low birefringence, full flexibility and solution workability together, and contains alicyclic polyimide, and to provide an optical waveguide that uses the optical transmission material. 本発明は実用レベルの低伝送損失(@850nm)、ハンダ耐熱性(高Tg)、低CTE、低複屈折、十分な柔軟性および溶液加工性を併せ持つ、脂環式ポリイミドを含有してなる新規な光伝送材料およびこれを用いた光導波路を提供する。 - 特許庁
This optical waveguide is composed of a cladding part 2 formed on a substrate 1 and a core part formed in the cladding part 2, and the core part is formed by connecting the part between the curved core parts 3a, 3b whose radius of curvature are 5 to 50 mm with the linear core part 4 whose length L is 0.4-0.5 mm. 基板1上に形成されたクラッド部2とクラッド部2中に形成されたコア部とから成り、コア部は、曲率半径Rが5〜50mmの曲線状コア部3a・3b間を長さLが0.4 〜0.5 mmの直線状コア部4で接続して形成されている光導波路である。 - 特許庁
To provide a device and a method for automatically inserting and fixing a thin multi-layered film filter having a thickness as small as 15 μm and a large warpage into a fine groove having 20-25 (μm) width which is formed so as to cut the waveguide of a PLC element without creating flaws at a stable depth in a short time. 厚さ15μmと薄く反りの大きい多層膜フィルタをPLC素子の導波路を分断するように形成した20〜25(μm)巾の微細な溝にキズを付けず安定した深さで短時間に自動挿入固定する装置及び吸着把持挿入方法を提供する。 - 特許庁
The formation of the synchronized unevenness periodic structure is easily realized by forming a ridge shape after the unevenness periodic structure as the diffraction grating is uniformly formed in a surface, and the optical waveguide which has the high wavelength selection ratio can be provided by the easy method. また回折格子となる凹凸周期構造を一様に面内に形成した後にリッジ形状を作製することで、前記同期した凹凸周期構造の形成を容易に実現し、簡便な手法で高い波長選択比を有する光導波路を提供することが可能となる。 - 特許庁
To prevent lowering of wavelength conversion efficiency due to deterioration of a periodic polarization reversal structure in a miniaturized harmonic wave generator in which a wavelength conversion layer including a channel type optical waveguide provided with a periodic polarization reversal structure is held between a support substrate and an upper substrate. 支持基板と上側基板との間に、周期分極反転構造が設けられたチャンネル型光導波路を備える波長変換層が挟まれた形態の小型化された高調波発生素子において、周期分極反転構造の劣化による波長変換効率の低下を防止する。 - 特許庁
This waveguide integrated laser gain medium comprises a core formed of monocrystalline or low scattering polycrystalline ceramics doped with laser active ions, and a single layer clad or a multi-clad having two or more layers laminated on the perimeter of this core and consisting of non-doped low scattering polycrystalline ceramics. 本導波路一体型レーザ利得媒質は、単結晶または低散乱多結晶セラミックスにレーザ活性イオンをドープしたコアと、このコアの外周に積層し、ノンドープの低散乱多結晶セラミックスからなる単層のクラッド、もしくは2層以上のマルチクラッドを具備する。 - 特許庁
A waveguide grating router is used as a filter for frequency control, and two paths slightly different in length at each selected frequency are configured for the router, forming a DiDomenico type laser which uses a pair of coupled cavities for frequency control. 本発明の多重周波数レーザ装置は、周波数制御用に導波路グレーティングルータをフィルタとして用い、このルータを各選択された周波数で若干異なる長さの2本のパスを構成して周波数制御用に一対の結合されたキャビティを利用するDiDomenico型のレーザを形成する。 - 特許庁
The optical component 120 is connected to the second port 112 of the optical circulator 110 and includes an optical waveguide type diffraction grating element provided with a plurality of refractive index modulation formation areas for performing Bragg reflection of a guided wave of a particular wavelength along the longitudinal direction of an optical fiber. 光部品120は、光サーキュレータ110の第2端112と接続されており、光ファイバの長手方向に沿って特定波長の導波光をブラッグ反射する複数の屈折率変調形成領域が設けられている光導波路型回折格子素子を含む。 - 特許庁
In a substrate 1 with electrooptic effect, a Mach-Zehnder type 1st optical waveguide is formed and after a buffer layer 36 is formed on the substrate 1, a signal electrode 4 and ground electrodes 5-1 and 5-2 are formed to constitute the optical modulation part 10. 電気光学効果を有する基板1内にマッハツエンダー型の第1の光導波路2を形成し、さらに基板1上にバッファ層36を形成した後、信号電極4並びに接地電極5−1及び5−2を形成することによって、光変調部10を構成する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing an optical sensor module which eliminates the need for the operation of alignment between a core in an optical waveguide unit and an optical element in a substrate unit and which does not deteriorate the accuracy of alignment even when the thickness of a protruding portion is less than 50 μm, and to provide the optical sensor module obtained thereby. 光導波路ユニットのコアと基板ユニットの光学素子との調芯作業が不要となるとともに、突起部の厚みが50μm未満であっても、調芯精度を悪化させることがない光センサモジュールの製法およびそれによって得られた光センサモジュールを提供する。 - 特許庁
To provide a bonding structure in which a gap or strain does not occur between laminated plates, so that the laminated plates are tightly bonded together even in an environment where vibration shock acts on the laminated plates and the temperature changes, thereby a waveguide including the laminated plates including a plate-like member exhibits a desired function. 平板状部材よりなる積層板で構成した導波路が所望の性能を発揮するには、積層板に振動衝撃が作用し、温度変化がある環境においても積層板同士が密着しておく必要があり、積層板間に隙間や歪が生じない接合構造を得る。 - 特許庁
To provide an opto-electric hybrid module capable of shortening the distance between a light-emitting section or a light-receiving section of a semiconductor chip and a reflecting surface formed in a core to reduce optical losses between an opto-electric conversion substrate section and an optical waveguide section, and to provide a method of manufacturing the opto-electric hybrid module. 半導体チップの発光部または受光部とコアに形成された反射面との間の距離を短縮し、光電変換基板部分と光導波路部分との間の光損失を小さくすることができる光電気混載モジュールおよびその製造方法を提供する。 - 特許庁
A silicon core 101a of a monitor waveguide is also separated by the groove 107, and in the separated part, a silicon core 111a and a silicon core 111b are provided which are separated from each other and respectively connected to two end parts of the silicon core 101a, the two end parts being formed resulting from separation of the silicon core 101a by the groove 107. また、溝部107により、モニター導波路のシリコンコア101aも分離されるが、この分離された間に、溝部107によるシリコンコア101aの2つの端部の各々に接続し、互いに離間するシリコンコア111aおよびシリコンコア111bを備える。 - 特許庁
The optical connector part is manufactured in a self-formed optical waveguide and includes a core 507 composed of a shaft-like curable composition component which is cured by the radiation of near-infrared light, and a clad 508 composed of a curable composition component which is provided at outside of the core and has a refractive index smaller than that of the core. 光接続部は自己形成光導波路にて製造され、近赤外光の照射で硬化する軸状の硬化性組成物成分にて構成されたコア部507と、コア部の外側にコア部より屈折率の小さな硬化性組成物成分で構成されたクラッド部508とを有する。 - 特許庁
The power-feed antenna 90 has: an antenna body 91 that has a first pole 92 connected to the coaxial line 56 and a second pole 93 connected to the inner conductor 53 of the waveguide 44; and a reflecting section 94 that extends from both sides of the antenna body 91 and is formed in a ring shape. 給電アンテナ90は、同軸線路56に接続された第1の極92と、導波路44の内側導体53に接触する第2の極93とを有するアンテナ本体91と、前記アンテナ本体91の両側から延びリング状に形成された反射部94とを有する。 - 特許庁
An optical waveguides 3 is mounted on a whole surface of a protective body 5 by exchangeably mounting the intrusion detection panel 1 having a panel body 2 detachably mounted on the surface of the existed protective body 5 and the optical waveguide 3 mounted on the panel body 2 on the protective body 5. 既設の防護体5の表面に着脱可能に取り付けられるパネル体2と、パネル体2に取り付けられる光導波路3とを有する侵入検知パネル1を防護体5に交換可能に取り付けることにより、光導波路3を防護体1の全体に取り付ける。 - 特許庁
In such a case, a rectangular opening 8 of a conductor pattern 5 formed on the surface (lower part of drawing) of the multilayer dielectric substrate 1 is provided at the position being approximately λ/4 (λ: free space wavelength of transmission wave) from an E surface edge of an inner wall conductor 9 formed in the first waveguide 1a. このとき、多層誘電体基板1の表面(図の下部)に形成された導体パターン5aの矩形の開口部8を、第1の導波管1aに形成された内壁導体9のE面端から略λ/4(λ:伝送波の自由空間波長)の位置に設ける。 - 特許庁
The photonic crystal has a first defect forming a resonator 110, a second defect forming a waveguide path 120 through which light generated from the resonator is taken out, and a third defect forming a heat radiation part 130 emitting heat generated from the resonator to the outside. 該フォトニック結晶は、共振器110を形成する第1の欠陥、該共振器で発生した光を外部へ取り出す導波路120を形成する第2の欠陥および該共振器で発生した熱を外部へ放出する放熱部130を形成する第3の欠陥を有する。 - 特許庁
This photosensitivity profile W(r) is configured such that, for a given SBG writing angle θ, the coupling of the fundamental mode into itself as counterpropagation in the waveguide, K(θ), is substantially zero and such that its derivative K'(θ) with respect to the angle θ is also substantially equal to zero. この感光度プロファイルW(r)は、所与のSBG書込み角度θに対して、導波路中の逆伝搬としての基本モードの基本モード自身への結合K(θ)が実質的にゼロであり、かつ、角度θに対するその導関数K’(θ)も同じく実質的にゼロに等しいプロファイルである。 - 特許庁
A photonic crystal 31, in which holes having predetermined size are arranged with a predetermined spacing in a transparent thin film 4 on a substrate 2, and a part of the photonic crystal is provided, with holes non-forming areas thereby a photonic crystal waveguide 30 is formed. 基板2上の透明薄膜4中に所定の間隔で所定の大きさの孔を配列したフォトニック結晶31が形成され、フォトニック結晶導波路30はこのフォトニック結晶の一部分に孔を形成しない領域を設けることによって形成されている。 - 特許庁
The first package further includes a first lens mounted on the end of the optical waveguide of the planar light wave circuit, a part of the bottom face of the outside of a housing has a notched part on which the second package is mounted, and an opening penetrating through the housing is provided on the notched part. 第1のパッケージは、平面光波回路の光導波路端に取り付けられた第1のレンズをさらに含み、筐体外部の底面の一部に、第2のパッケージが取り付けられる切り欠き部を有し、切り欠き部に筐体を貫通する開口部が設けられている。 - 特許庁
In the electromagnetic wave whose frequency changes in time between an upper limit frequency and a lower limit frequency, a choke groove having a depth corresponding to a predetermined position from the waveguide is provided at a position corresponding to the wavelength of a frequency to be selected from a range from the upper limit frequency to the lower limit frequency. 上限周波数と下限周波数との間で時間的に周波数が変わる電磁波において、上限周波数から下限周波数までの範囲から選択される周波数の波長に応じた位置で、導波管から所定の位置に対応した深さを有するチョーク溝を設ける。 - 特許庁
The terahertz spectroscopic device is equipped with a plurality of pore parts (through-pores 12) piercing a substrate 10 and a photonic crystal type waveguide 14 circumferential surrounded by a plurality of the pore parts so as to propagate the terahertz waves between an input terminal 11 and an output terminal 13 in the substrate 10. 基板10を貫通する複数の孔部(空孔12)と、基板10において、入力端11と出力端13との間でテラヘルツ波が伝搬されるように、周囲が複数の孔部に囲まれることによって形成されたフォトニック結晶型の導波路14とを備える。 - 特許庁
Because the second core 103 is tapered toward the beginning end of the spot size transformation region 112, the reflection and the loss of guided light occurring at the boundary between the waveguide region 111 and the spot size transformation region 112 are reduced. このように、第2コア103が、スポットサイズ変換領域112の開始端にかけて先細りに形成されているので、導波領域111かとスポットサイズ変換領域112との界面で生じる、導波光の反射および損失をより小さくすることができるようになる。 - 特許庁
To provide an optical integrated element such as an integrated DFB laser in which a DFB laser element and an optical element are integrated, having a structure capable of reducing internal reflection generated between elements without using a new manufacturing step of an inclined waveguide or the like. DFBレーザ素子と光学素子を集積した集積型DFBレーザなどの光集積素子において素子間に生じる内部反射を、斜め導波路などの新たな作製工程を用いずに低減させることができる構造の光集積素子を提供する。 - 特許庁
The head comprises: a magnetic pole to generate a write-in magnetic field; the waveguide propagating a light for exciting surface plasmon; and a near-field-light-generating element for generating the near-field-light from its end surface located adjacent to the magnetic pole end surface facing a medium. このヘッドは、書き込み磁界を発生させる磁極と、表面プラズモンを励起するための光が伝播する導波路と、磁極の媒体対向面側の端面の近傍に位置する近接場光発生端面から近接場光を発生させる近接場光発生素子とを備えている。 - 特許庁
Also, the corresponding optical signal passes through the first film layer, the semiconductor substrate, and the second film layer, and enters the optical waveguide structure, and is transmitted therethrough, or the optical signal is transmitted in a reverse direction, received by the optical/electrical signal conversion device, and converted into a corresponding electrical signal. また、対応光信号は、第1膜層と、半導体基板と、第2膜層とを通り抜け、光導波路構造に入って伝送され、または光信号は逆方向で伝送されて光電気信号変換デバイスにより受信され対応電気信号に変換される。 - 特許庁
The substrate processing apparatus includes a chamber for processing a wafer; a wafer holding boat provided in the processing chamber; a gas inlet section provided down below the wafer held by the boat for introducing a gas toward the backside of this wafer; and a waveguide part provided over the wafer held by the boat for introducing an electromagnetic wave. ウエハを処理する処理室と、処理室内に設けられウエハを保持するボートと、ボートに保持されたウエハよりも下方に設けられ、このウエハの裏面に向かってガスを導入するガス導入部と、ボートに保持されたウエハよりも上方に設けられ、電磁波を導入する導波口と、を有する。 - 特許庁
The optical waveguide converges light after expanding the mode of propagating light and condenses light so that the center of the crossing part becomes a light-condensing position, and the respective mode distributions of light of the two optical waveguides disposed while interposing the crossing part in-between become symmetrical or asymmetrical about the light-condensing position. 光導波路は、伝搬する光のモードを広げた後に絞って、交差部の中心が集光位置となるように集光させ、交差部を挟んで配置された2つの光導波路の光の各モード分布が、この集光位置を中心として対称又は非対称となるように構成する。 - 特許庁
To provide a method for mounting a multilayer film filter with high accuracy, in an optical filter module having the multilayer film filter inserted and mounted to the passage of an optical waveguide so that adjustment of the optical axes between input and output optical fibers is reduced and that the multilayer film filter to be inserted is little displaced. 光導波路の経路に多層膜フィルタを挿入実装した光フィルタモジュールに関して、入出力光ファイバ間の光軸調整を低減し、挿入する多層膜フィルタの位置ずれの少ない高精度な実装方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a photosensitive siloxane composition having high heat resistance, high transparency and a low dielectric constant, capable of forming a cured film with a pattern having high chemical resistance and good resolution, and being used for forming a planarizing film for a TFT substrate, an interlayer insulation film or a core or cladding material of an optical waveguide. 高耐熱性、高透明性、低誘電率性の特性を併せ持ち、かつ耐薬品性が高く、良好な解像度のパターンを有する、TFT基板用平坦化膜、層間絶縁膜、あるいは光導波路のコアやクラッド材の形成に用いられる感光性シロキサン組成物を提供する - 特許庁