A strong and stable piezoelectric actuator is configured by applying an almost constant high pressure to a layered piezoelectric element as a preload independently of the displacement and a high degree of freedom to the utmost in the structural design around the CCD including an XY table can solve the problems above. 積層圧電素子に変位に依存しないほとんど一定の強い与圧をかけることによって、強くて安定した圧電アクチュエータを構成し、XYテーブルを含むCCD回りの構造設計にできる限りの自由度を与えることによって解決した。 - 特許庁
To solve the problems, wherein in an envelope mode, since only the maximum value and minimum value data of a measuring signal in a prescribed section determined by a time-base set value are preserved, data processing requiring equal time interval data, such as XY display or FFT, cannot be performed. エンベロープモードでは、時間軸設定値で決まる所定区間の測定信号の最大値、最小値データしか保存していなかったので、XY表示、FFTなどの等時間間隔データを必要とするデータ処理を行うことができなかったという課題を解決する。 - 特許庁