This board is composed of aluminum nitride(AlN) in which the liquid phase containing at least one component selected from the group consisting of YAG, YAL and YAM, wherein the YAG, YAL and YAM has an X-ray electron spectroscopic peak height of 20% or less, 15% or less and 6% or less, respectively, based on the maximum peak height of the aluminum nitride. 窒化アルミニウム(AlN)からなり、YAG、YALまたはYAMのうち一種以上の成分を含む液相が存在する窒化アルミニウム基板において、液相成分が、X線電子分光法による窒化アルミニウムのピーク最大高さを100とした場合に、YAGのピーク高さは20以下、YALのピーク高さは15以下、YAMのピーク高さは6以下であることを特徴とする。 - 特許庁
The aluminum nitride sintered compact has grain boundary phases which are formed in the crystal structure of aluminum nitride and each of which contains at least one of YAG, YAM and YAL and has ≤1 μm maximum diameter and ≥188 W/m.K thermal conductivity. 本発明に係る窒化アルミニウム焼結体は、窒化アルミニウム結晶組織にYAG,YAMおよびYALの少なくとも一種を含む粒界相が形成され、粒界相の最大径が1μm以下であり、かつ熱伝導率が188W/m・K以上であることを特徴とする。 - 特許庁