AEOLOTROPIC HEATING SHEET AND ITS MANUFACTURE 異方性伝熱シートおよびその製造方法 - 特許庁
Furthermore, it is mounted on a reaction ion etching device capable of performing aeolotropic etching, and the SiO2 film 43g is etched until a surface of an Al film 42g is exposed (f). 更に、異方性エッチングが可能な反応性イオンエッチング装置に装着し、SiO_2膜43gをAl膜42gの表面が露出するまでエッチングする(f)。 - 特許庁