「alg1」に関連した英語例文の一覧と使い方

「alg1」を含む例文一覧(1)

In the patterning method, marks on a wafer W are detected by mark detection systems ALG1, ALG2, patterning for the wafer W is started using the detection results, marks on the wafer W are also detected by the mark detection systems ALG1, ALG2 even after starting the patterning, and the detection results are used in the patterning.
パターン形成方法では、ウエハＷ上のマークをマーク検出系ＡＬＧ１、ＡＬＧ２で検出し、その検出結果を用いてウエハＷに対するパターン形成を開始するとともに、パターン形成開始後もマーク検出系ＡＬＧ１、ＡＬＧ２でウエハＷ上のマークを検出し、パターン形成でその検出結果を用いる。 - 特許庁