「alignment accuracy」を含む例文一覧(685)
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 .... 13 14 次へ＞- To improve alignment accuracy.
アライメント精度を高める。 - 特許庁 - To provide a microscope enhanced in the alignment accuracy of a substrate.
基板のアライメント精度を高める。 - 特許庁 - To improve accuracy of alignment measurement.
位置合わせ測定の精度を向上する。 - 特許庁 - METHOD FOR CONTROLLING ALIGNMENT ACCURACY IN ALIGNER AND ALIGNMENT ACCURACY MEASURING INSTRUMENT
露光装置における重ね合わせ精度制御方法及び重ね合わせ精度測定器 - 特許庁 - To form a pattern with high alignment accuracy.
高いアライメント精度でパターンを形成する。 - 特許庁 - To improve alignment accuracy by enhancing the read accuracy to optically read alignment marks.
アライメントマークを光学的に読み取る読み取り精度を高め、アライメント精度の向上を図る。 - 特許庁 - To further enhance the alignment accuracy of a sheet rear end.
シート後端の整合精度を高めること。 - 特許庁 - METHOD OF EVALUATING ALIGNMENT ACCURACY OF FLIP-CHIP CONNECTION
フリップチップ接続アライメント精度評価方法 - 特許庁 - To enhance accuracy of reading alignment mark position.
アライメントマーク位置読み取り精度を向上させる。 - 特許庁 - To provide an alignment method in which alignment can be performed with higher accuracy.
より高精度にアライメントすることができるアライメント方法を提供する。 - 特許庁 - To improve alignment accuracy by securely detecting an alignment mark.
アライメントマークの確実な検出を可能にしてアライメント精度を向上させる。 - 特許庁 - To improve aligning accuracy of an alignment apparatus.
アラインメント装置の位置合わせ精度を向上させる。 - 特許庁 - To execute alignment between two images with high accuracy.
２画像間の位置合わせを精度良く行うこと。 - 特許庁 - To improve positioning accuracy of an alignment device.
アラインメント装置の位置合わせ精度を向上させる。 - 特許庁 - ALIGNMENT MARK, AND METHOD AND DEVICE FOR MEASURING ALIGNMENT ACCURACY USING THE SAME
アライメントマーク、及びこれを用いたアライメント精度測定方法並びに測定装置 - 特許庁 - To raise contrast between an alignment mark and a colored resist and to raise alignment accuracy.
アライメントマークと着色レジストとのコントラストを高め、アライメントの精度を高める。 - 特許庁 - To solve the problem in multiple exposure, that is, poor accuracy in alignment accuracy measurement and low efficiency.
多重露光ではアライメント精度測定の精度が悪く、効率も低い。 - 特許庁 - To improve alignment accuracy between a wafer and a template.
ウェハとテンプレートとの位置合わせの精度を向上する。 - 特許庁 - To provide an optical lens system having high alignment accuracy.
アラインメント精度の高い光学レンズシステムを提供する。 - 特許庁 - To realize alignment of a mask and a wafer with high accuracy.
マスクとウエハとの位置合わせを高精度で実現する。 - 特許庁 - To provide alignment marks which improve the alignment of wafers with high accuracy.
ウェハの位置合わせの精度を向上させることができるアライメントマークを提供すること。 - 特許庁 - For this, there is formed no step on the alignment mark 8 that is a factor of deterioration of alignment accuracy.
そのため、アライメント精度の劣化の要因となるアライメントマーク８の段差は生じない。 - 特許庁 - To improve the alignment accuracy of an exposure device.
露光装置のアライメント精度を改善することを目的とする。 - 特許庁 - Since alignment is performed using only the alignment mark of high contrast, accuracy in positioning by alignment is improved.
高コントラストのアライメントマークのみを用いて位置合わせを行うので、アライメントによる位置合わせの精度を向上できる。 - 特許庁 - To enhance uniformity in a gap surface, gap accuracy and alignment accuracy of a liquid crystal display element.
液晶表示素子のギャップ面内均一性、ギャップ精度、アライメント精度を高める。 - 特許庁 - To adhere closely a substrate and a mask with high alignment accuracy.
基板とマスクを高いアライメント精度で互いに密着させる。 - 特許庁 - METHOD AND DEVICE FOR MEASURING END FACE ALIGNMENT ACCURACY OF BUNDLE OF LAMINATION SHEET
シート積層束の端面揃い精度測定方法及び装置 - 特許庁 - To achieve relatively high alignment accuracy of an electrode and a liquid chamber.
電極と液体室との位置合わせの精度が比較的高い。 - 特許庁 - To efficiently form an alignment mark having excellent shape accuracy.
形状精度に優れたアライメントマークを効率良く形成させる。 - 特許庁 - ALIGNMENT METHOD, OVERLAPPING ACCURACY MEASUREMENT METHOD, EXPOSURE METHOD, ALIGNMENT APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, AND OVERLAPPING ACCURACY MEASUREMENT APPARATUS
位置合わせ方法、重ね合わせ精度計測方法、露光方法、位置合わせ装置、露光装置、及び重ね合わせ精度計測装置 - 特許庁 - To provide an alignment method for joining, which improves alignment accuracy.
アライメント精度を向上させることができるアライメント接合方法を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide a means for detecting alignment accuracy with high accuracy, in an ion implantation process.
イオン注入工程におけるアライメント精度を、高精度に検出する手段を提供すること。 - 特許庁 - To suppress heat generation at fiber tip parts requiring alignment accuracy to secure the alignment accuracy without being influenced by a linear expansion coefficient.
アライメント精度が必要なファイバ先端部の発熱を抑制し、線膨張係数による影響を受けず、アライメント精度を確保する。 - 特許庁 - MASK, METHOD FOR TRANSFERRING PATTERN, METHOD FOR MEASURING ALIGNMENT ACCURACY, AND APPARATUS
マスク、パターンの転写方法、アライメント精度測定方法、および装置 - 特許庁 - To perform alignment with high accuracy.
本発明の課題の一つは高精度な位置合わせを行うことにある。 - 特許庁 - To improve an accuracy of alignment between a substrate and a mask for film forming.
成膜用の基板とマスクとの位置合わせ精度を向上させる。 - 特許庁 - Difference between the basic mode diameters improves alignment accuracy when assembling.
基本モード径の差が、組み立て時の調心精度向上につながる。 - 特許庁 - To improve an alignment mark detection accuracy in an electron beam exposure.
電子ビーム露光における、アライメントマーク検出精度を向上する。 - 特許庁 - To provide a multicore fiber having satisfactory roundness and alignment accuracy of core.
コアの真円度及び整列精度の良いマルチコアファイバを提供する。 - 特許庁 - To improve an alignment accuracy of a piezoresistive part and its contact hole.
ピエゾ抵抗部とそのコンタクトホールとのアライメント精度を向上させる。 - 特許庁 - To improve the alignment accuracy of alignment marks by securing the level differences of the marks at the time of manufacturing a semiconductor device.
半導体装置の製造において、アラインメントマークの段差を確保しアラインメント精度を向上させる。 - 特許庁 - To provide an alignment system for a lithographic apparatus in which alignment accuracy and/or durability is improved.
アライメント精度および／または耐久性の改良されたリソグラフィ装置用アライメント・システムを提供すること。 - 特許庁 - To provide an alignment apparatus in which a stick-slip phenomenon is not generated and by which a high-accuracy alignment can be performed.
スティックスリップ現象が発生せず、しかも高精度のアライメントが可能なアライメント装置を提供する。 - 特許庁 - To largely shorten an alignment time and a mounting time and largely improve alignment accuracy.
アライメント時間、ひいては実装時間の大幅な短縮とともに、アライメント精度を大幅に向上する。 - 特許庁 - To improve alignment accuracy by selecting alignment marks for alignment measurement correspondingly to a decrease in shot number, etc., caused by an increase in viewing angle.
大画角化によるショット数減少等に対応したアライメント計測用のアライメントマークの選択によりアライメント精度を向上させる。 - 特許庁 - To provide an optical axis alignment tool capable of saving labor of alignment work and improving an alignment accuracy; and to provide an optical axis alignment device and a method for aligning an optical axis.
調芯作業の手間を省くことができかつ調芯精度を向上させる光軸調芯用治具、光軸調芯装置、および、光軸調芯方法を提供する。 - 特許庁 - To effect alignment (centering) in a short time without lowering aligning accuracy.
調芯精度を落とすことなく、調芯（芯出し）を短時間で行う。 - 特許庁 - To provide a method for arranging a device performing high-accuracy alignment.
精度の高い位置合わせが可能なデバイスの配置方法を提供する。 - 特許庁 - To realize alignment of a mask and a wafer with high throughput and high accuracy.
マスクとウエハとの位置合わせを高スループットかつ高精度で実現する。 - 特許庁 - To form an alignment mark having high accuracy.
本発明は、精度の高い位置決めマークを形成することを目的とする。 - 特許庁
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