「alignment method」を含む例文一覧(3368)
＜前へ 1 2 .... 55 56 57 58 59 60 61 62 63 .... 67 68 次へ＞- A plasma CVD device 1 introduces reaction gas in a vacuum treatment chamber 2 and forms a film on the substrate 10 arranged on a susceptor 4 through the mask 7 by a CVD method, and includes a mask support mechanism 58, a drive part 53, a CCD camera 51, and an alignment control part 6.
プラズマCVD装置1は、真空処理槽2内に反応ガスを導入し、サセプタ4上に配置された基板10上にマスク7を介してCVD法で成膜するもので、マスク支持機構58と、駆動部53と、CCDカメラ51と、アライメント制御部6とを備える。 - 特許庁 - To provide an apparatus and method of a wafer alignment capable of detecting crystal orientation of a semiconductor wafer without forming any orientation flat nor V-notch and accurately aligning even for elliptic wafer.
オリフラ又はＶノッチを形成することなく半導体ウエハの結晶方位を検出することができ、ウエハの形状が楕円化しても正確な位置決めを行うことができるウエハアライメント装置及びウエハアライメント方法を提供する。 - 特許庁 - The method for manufacturing a color filter includes the steps of forming projections for division alignment by using a photosensitive resin composition, containing not only a resin having a phenolic hydroxyl group capped with a capping agent, but also an ethylenically unsaturated compound and a photopolymerizable initiator.
なお、分割配向のための突起を、フェノール性水酸基をキャップ剤でキャップした樹脂の他にエチレン性不飽和化合物、光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物を用いて形成することも含まれる。 - 特許庁 - To obtain a projection aligner and a method for fabricating a semiconductor element suitable for fabrication of such a semiconductor element as high resolution projection alignment is ensured by selecting an optimal illumination system depending on the direction, line width, and the like, of a pattern shape.
パターン形状の方向や線幅等により最適な照明系を選択して高解像力の投影露光が可能な半導体素子の製造に好適な投影露光装置及び半導体素子の製造方法を得ること。 - 特許庁 - To provide an apparatus for manufacturing a semiconductor device and a method of manufacturing the semiconductor device, which can avoid the influence of even an adhesive layer remaining on an alignment stage on a subsequent semiconductor chip while shortening an index time.
インデックスタイムの短縮を図りつつ、アライメントステージ上に接着層が残った場合でも、それが後続の半導体チップに影響しないようにした半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method capable of reducing membrane stress by a nitride film and protecting a semiconductor substrate from damage by preventing an etching stop film from disappearing, when forming source/drain contact holes by a self-alignment process.
ソース/ドレインコンタクトホールを自己整列工程で形成する際に、窒化膜による膜ストレスを減らすことができ、エッチング停止膜の消失を防ぐことにより半導体基板を損傷から保護することができる製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method of a semiconductor device in which a self-alignment structure of high precision is formed, and an impurity element forming a diffusion layer is ion-implanted in a semiconductor layer, to improve characteristics.
高精度のセルフアライメント構造を形成して半導体層に拡散層を形成する不純物元素のイオン注入を行うことにより、特性の向上を図る半導体装置を製造する半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a substrate for liquid crystal alignment which allows quick spray-bend transition of liquid crystal in an OCB (Optically Compensated Bend) cell which doesn't have a chiral agent added, with a normal driving voltage and is easily manufactured in a normal process, and a manufacturing method thereof.
ＯＣＢセル内のカイラル剤無添加の液晶を通常の駆動電圧で高速にスプレイ‐ベンド転移させることができ、かつ、通常のプロセスでの製造が容易である液晶配向用基板及びその製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a polarizer in which unevenness of polarizing axes of metal particles is easily suppressed, a manufacturing method thereof, and an optical isolator capable of simplifying an alignment step and improving a contrast ratio by incorporating the polarizer thereto.
金属粒子の偏光軸のばらつきを簡単に抑制した偏光子とその製造方法の提供、並びにその偏光子を組み込むことでアライメント工程の簡略化とコントラスト比の改善が可能な光アイソレータの提供。 - 特許庁 - To improve a test pattern that is printed to distinguish the displacement of the alignment of print heads from a print head property that affects the ejection of ink from the print heads, and to provide a method for analyzing image data corresponding to the printed test pattern.
プリントヘッド配向のずれと、プリントヘッドからのインクの射出に影響を与えるプリントヘッド特性と、を識別するため、印刷されるテストパターンを改良、および印刷されるテストパターンに対応する画像データの分析法を提供する。 - 特許庁 - To provide a method and device for correcting an error in a defect coordinate output from an inspection device to make it easy to select a visual field size for defect search of a defect review device and a defect for fine alignment.
検査装置から出力された欠陥座標の誤差を補正し、欠陥レビュー装置における欠陥探索用の視野サイズ及びファインアライメント用の欠陥を容易に選定することができる方法及び装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a self alignment method wherein a semiconductor memory array of floating gate memory cells is formed on a semiconductor substrate which has a plurality of insulting regions which are arranged being isolated and has active regions which are arranged on the substrate in parallel practically with each other in a row direction.
隔置された複数の絶縁区域及び基板上に設けられる行方向で実質的に互いに平行な能動区域を有する、半導体基板に浮動ゲートメモリセルの半導体メモリアレイを形成する自己整列方法。 - 特許庁 - The present invention relates to an alignment mark and a forming method thereof, wherein a plating electricity feeding film 13 is formed on a surface of a substrate 12, and a photoresist pattern is formed on the plating electricity feeding film 13 and then patterned by electric plating.
基板１２の表面にメッキ給電用膜１３を形成し、次いで当該メッキ給電用膜１３にフォトレジストパターンを形成して、その後電気メッキによりパターン形成されるアライメントマーク及びその作成方法である。 - 特許庁 - To provide an insulator shape which secures an alignment property of a coil end laminated in a first layer and in multiple layers in a usual winding method of an inner type nozzle winding system with a common slot shape.
一般的なスロット形状でインナー型ノズル巻線方式という通常の巻線方法において、第１層目および多層に積層されるコイルエンドの整列性が確保でき収納性の高い巻線の実現できる絶縁物形状。 - 特許庁 - To provide an electrooptic device which is aligned by enabling the position of an alignment mark to be easily specified and which therefore is efficient and high assembly accuracy, and also to provide electronic equipment which uses the electrooptic device, and a method for manufacturing the electrooptic device.
容易にアライメントマークの位置を特定しアライメントでき、効率的で組み立て精度の高い電気光学装置、その電気光学装置を用いた電子機器及びその電気光学装置の製造方法を提供すること。 - 特許庁 - In a method for calculating an electric or magnetic field on different points from the electric or magnetic field sampled inside an opening 3, sampling points are aligned complying with an alignment rule having a non- translational symmetry.
開口３内でサンプリングされた電場あるいは磁場から、異なる地点の電場あるいは磁場を計算する方法において、サンプリング点は、非並進対称性を持つ配列規則に従って配列されている電磁場シミュレーション法。 - 特許庁 - To provide a method of manufacturing semiconductor device, by which reliable wafer burn-in tests can be performed at law cost with a certain degree of alignment accuracy, even if the number of terminals which are brought into contact with conductive members in the state of a wafer increases.
ウェハ状態で一括して接触する端子数が多くなっても、ある程度の位置合わせ精度で信頼性のあるウェハバーンイン試験が実施でき、安価なテストコストで済む半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing a liquid crystal display element, with which a thin and uniform alignment layer is formed, and further dust remaining on a substrate surface after rubbing treatment is certainly removed, and a sealing speed of a liquid crystal is improved.
薄くかつ均一な配向膜を形成でき、また、ラビング処理後に基板の表面に残存する塵を確実に除去し、液晶の封入速度を向上させることができる液晶表示素子の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing a semiconductor device in which the generation of chip notches, chip cracks and package cracks can be prevented at the time of carrying chips or packages between processes, chip alignment at the time of cutting an adhesive layer is high and manufacturing efficiency is high.
工程間の搬送時にチップの欠け、チップクラックおよびパッケージクラックの発生を防止でき、かつ接着剤層の切断時におけるチップの整列性が良好で、生産効率の良い半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁 - The method for manufacturing an optical member is characterized in that after a photosensitive thin film is irradiated with polarized or non-polarized radiation to obtain a liquid crystal alignment film, a liquid crystal substance is aligned on the film and the aligned state is fixed.
感光性薄膜に偏光または無偏光の放射線を照射してなる液晶配向膜上で液晶物質を配向させた後、配向状態を固定することを特徴とする、光学部材の作製方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a semiconductor device and a wafer burn-in method, wherein wafer burn-in test having reliability can be executed with alignment precision to some degree, in the case that the number of terminals which make contact in batch in the state of wafer is increased, and the cost for test is low.
ウェハ状態で一括して接触する端子数が多くなっても、ある程度の位置合わせ精度で信頼性のあるウェハバーンイン試験が実施でき、安価なテストコストで済む半導体装置及びウェハバーンイン方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a projection aligner capable of selecting an optimum illumination system by the direction and line width, etc., of a pattern shape, and performing the projection alignment of a high resolution and suitable for manufacturing a semiconductor element, and to provide a method for manufacturing the semiconductor element.
パターン形状の方向や線幅等により最適な照明系を選択して高解像力の投影露光が可能な半導体素子の製造に好適な投影露光装置及び半導体素子の製造方法を得ること。 - 特許庁 - To provide a local SONOS type memory device in which the length of the ONO films of cells are made equal to each other and the cells can be contracted advantageously, and to provide a method of manufacturing local SONOS type memory device by which the problem of erroneous alignment caused by photolithography can be eliminated.
各セルのＯＮＯ膜の長さが均一でありセル縮少に有利であるローカルＳＯＮＯＳ型メモリ素子と、フォトリソグラフィによる誤整列問題のないローカルＳＯＮＯＳ型メモリ素子の製造方法とを提供する。 - 特許庁 - To provide a liquid crystal device which can be improved in a contrast characteristic by properly making an alignment state of the liquid crystal, and further limiting an angle range of incident light, and to provide a manufacturing method therefor, and a projection display device.
液晶の配向状態の適正化、さらには入射光の角度範囲の限定により、コントラスト特性を向上することのできる液晶装置、液晶装置の製造方法、および投射型表示装置を提供すること。 - 特許庁 - To provide a semiconductor package that is high in connection reliability for face-down mounting, and to provide a method of manufacturing the semiconductor package that can simplify the alignment of wiring boards and a semiconductor chip at the time of face-down mounting the boards and chip on the package.
フェイスダウン実装における接続信頼性の高い半導体パッケージを提供し、またフェイスダウン実装における配線基板と半導体チップとのアライメントの簡略化が可能な半導体パッケージの製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing an optical module in which an optical fiber may be inserted into an insertion hole without forming shavings and accuracy in alignment between the optical fiber and an optical element may be stably kept.
光ファイバを挿入孔へ挿入する際に削りカスを発生させることがなく、かつ、光ファイバの光素子に対する位置決め精度を高精度に安定して維持することのできる光モジュールの製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a charge-orbital alignment perovskite manganese oxide thin film with which switching characteristic equal to that of a bulk single crystal can be obtained by a polycrystalline thin film; and to provide a switching element having the same and a method for producing the thin film.
バルク単結晶に匹敵するスイッチング特性を多結晶薄膜で得られる、電荷軌道整列ペロブスカイトマンガン酸化物薄膜及び該薄膜を備えてなるスイッチング素子、並びに該薄膜の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an image sensor capable of obtaining the ohmic contact of the interconnection of a readout circuit and an image sensing part without the need of wafer alignment for the connection of the image sensing part at the upper part and the readout circuit, and to provide a method of manufacturing the same.
本発明は、上部のイメージ感知部とリードアウト回路の接続のためにウェハアラインメントを必要とせず、リードアウト回路の配線とイメージ感知部のオーミックコンタクトを得ることができるイメージセンサ及びその製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for fabricating a semiconductor device, a reticle and a semiconductor wafer in which a necessary and sufficient alignment mark can be provided without having any effect on the space factor of an integrated circuit chip for a pattern of single exposure shot.
露光１ショット分のパターンの集積回路チップ占有率に影響を及ぼさずに必要十分なアライメントマークを設けることのできる半導体装置の製造方法及びレチクル及び半導体ウェハを提供する。 - 特許庁 - The method for detecting the missing nozzle of the inkjet printer prints a rectangular test pattern with each nozzle of a print head or with a nozzle belonging to one group, scans the test pattern with an optical sensor being an automatic alignment sensor, and detects the missing nozzle.
プリントヘッドの各ノズルまたは１つのグループに属するノズルで矩形状のテストパターンを印刷し，自動整列センサである光センサで前記テストパターンをスキャンしてミッシングノズルを検出するインクジェットプリンタのミッシングノズル検出方法。 - 特許庁 - To provide a substrate bonding method for confirming in advance positional deviation caused by mechanical accuracy in bonding substrates after the alignment and re-executing bonding of the substrates when a positional deviation amount reaches a permissible value or larger.
アライメント実施後の基板貼り合わせ時の機械精度による位置ずれを、事前に直接確認して、位置ずれ量が許容値以上であった場合、基板の貼り合わせをやり直すことができる基板貼り合わせ方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a suspended attachment mounting device and its method for saving energy and improving working safety by allowing easy alignment of a cargo handling attachment without being held by a worker.
荷役用アタッチメントの芯合わせを、荷役用アタッチメントを作業員が保持しておくことなく容易に行え、もって省力化、作業の安全性の向上が達成できる吊下式アタッチメントの取付け装置と取付け方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an apparatus and a method adapted to a space limit and a round surface of a paper reel by preventing dropping of a web, forming of a wrinkle or tearing and cutting, and assisting relative alignment of a triangle member to a desired web route.
ウェブの脱落、皺形成、または裂断を防止し、所望のウェブ経路に対するトライアングル部材の相対的な整列を助成し、しかもスペース限界およびペーパーリールの丸い表面に適合する装置および方法を提供する。 - 特許庁 - To accurately inspect an inspection target at each region by an inspection method of a pixel, making it unnecessary to perform positional alignment in a pixel unit and causing no false report, even if there is optical or mechanical shift.
ピクセル単位の位置合わせを行う必要がなく、また、光学的なずれや機械的なずれが存在していても虚報を生じさせないような検査方法において、検査対象物の各部位毎に正確な検査を行えるようにする。 - 特許庁 - To prevent the thickness of an element isolation film from decreasing in a method for manufacturing a stack-type non-volatile semiconductor storage with a contact electrode that is connected in self alignment manner between stack cell electrodes.
スタックセル電極同士の間に不純物拡散層と自己整合的に接続されるコンタクト電極を有するスタック型不揮発性半導体記憶装置の製造方法において、素子分離膜の膜減りを防止できるようにする。 - 特許庁 - To obtain a Solvent-soluble polyimide suitable for use as a material for an alignment layer of LCD, having low electrical conductivity, high transparency, readily storable and usable and to provide a method for preparing the polyimide.
ＬＣＤのアライメント層の材料として使用するのに適した、低電気伝導度且つ高透明度で、保存及び利用が容易であるような、溶剤可溶性のポリイミド、及びその調製方法を、提供することを課題とする。 - 特許庁 - To provide an optical wavelength conversion element and a fabrication method of the element that prevents decrease in the efficiency of exiting laser light regardless of variations in alignment between the wavelength conversion element using a thick ferroelectric crystal substrate and incident laser light.
厚い強誘電体結晶基板を用いた波長変換素子と入射レーザとの位置合わせのばらつきによらず出射レーザ光の効率が低下することのない光波長変換素子およびその作製方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a method and an apparatus for manufacturing a laminate which facilitate alignment and uniform heating pressurization of a cut substrate having rigidity and a synthetic resin film printed with a pattern and having flexibility.
剛性を有する裁断された基材と、図柄が印刷された可撓性を有する合成樹脂フィルムとの、位置合わせ及び均一な加熱加圧を行なうことが容易となる、積層体の製造方法および製造装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a lens spacer which is easily manufactured and automatically performs an alignment of itself and a single lens without complicating the structure of a lens barrel, and to provide a lens unit equipped with the lens spacer and a lens unit manufacturing method.
製造が容易で、鏡筒の構造を複雑化することがなく、レンズスペーサ及び単体レンズの芯出しを自動的に行うことができるレンズスペーサ及びそれを備えたレンズユニット、及びレンズユニット製造方法を提供する。 - 特許庁 - Employing the positioning rods 25 enables the spectroscope 1A to be easily and precisely connected to other components in the measuring apparatus by using a passive alignment method, when the spectroscope 1A is applied to the measuring apparatus.
この位置決めロッド２５を用いることにより、分光器１Ａを測定装置に適用する際に、分光器１Ａと測定装置の他の構成要素とをパッシブアライメント方式によって容易かつ精度良く接続することが可能となる。 - 特許庁 - This shifting warp rendering method for a volume data set having a voxel provided according to an object coordinate system is performed by dividing the volume data set into a plurality of voxels of an axial alignment set according to an object coordinate system 111.
オブジェクト座標系１１１に従ってボリューム・データ・セットを複数の軸整列セットのボクセルに分割することにより、オブジェクト座標系に従って設けられたボクセルを有するボリューム・データ・セットのずらし−ワープ・レンダリングが行われる。 - 特許庁 - In addition, the method includes determining a position of inspection data acquired for the wafer by the inspection system in the design data space based on the positions of the alignment sites on the wafer in the design data space.
それに加えて、この方法は、設計データ空間におけるウェハ上のアライメント部位の位置に基づいて設計データ空間における検査システムによりそのウェハについて取り込まれた検査データの位置を決定することを含む。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method which individually manufactures a plurality of bulk type wavelength conversion elements having each different wavelength alignment made in order that wavelength conversion elements are made to correspond to a plurality of wavelengths and in which it is unnecessary to array the wavelength conversion elements.
波長変換素子を複数の波長に対応させるために、それぞれ異なるの波長整合を持たせた複数のバルク型の波長変換素子を個別に製造し、それを並べる必要がない製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an inkjet recording head and a method for manufacturing the inkjet recording head which can shorten the time required for the positional adjustment between the electrical connection of an ink discharge device and an inner lead and can improve accuracy for the alignment.
インク吐出デバイスの電気接続部とインナーリードとの位置調整に要する時間を短縮可能で、かつ位置合わせ精度を向上させることが可能なインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。 - 特許庁 - To prevent the occurrence of delamination by keeping adhesion between an alignment layer and an optical anisotropic layer, to facilitate a laminating step with a polarizing film and a laminating step with a liquid crystal cell compared to a conventional method, and to improve the yield.
配向膜と光学異方層間の密着を確保することで、層間剥離の発生を防ぎ、偏光膜との貼り合せ工程及び液晶セルとの貼り合わせ工程を従来よりも容易にして、歩留まりを向上させること。 - 特許庁 - To provide a suction and alignment method for very be metal spheres in which the very small metal spheres can be sucked and aligned quickly and by reducing a suction defect while the very small metal spheres are not discolored to be black.
微小金属球を黒色に変色させることなく、迅速にかつ吸着不良を大幅になくして微小金属球の吸着整列を行うことのできる微小金属球の吸着配列方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an optically anisotropic substance usable as an optical retardation film excellent in durability by a simple and easy method by avoiding contamination in rubbing thereby solving the problem that only alignment parallel to the traveling direction of a film is imparted.
ラビング処理時の汚染を回避し、フィルムの走行方向に平行な配向しか付与できないという問題を解決し、耐久性に優れる位相差膜として使用可能な光学異方体を、簡便な方法で提供すること。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method for a liquid crystal display element having high contrast, excellent reliability at high temperature and excellent liquid crystal alignment uniformity, in a polymer stabilized ferroelectric liquid crystal display element wherein halftone display can be achieved.
中間調表示が可能な高分子安定化強誘電性液晶表示素子において、コントラストが高く、高温での信頼性に優れ、かつ液晶配向の均一性に優れた液晶表示素子の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To realize a method of forming a grooved element isolation region which surely enables formation, with higher accuracy and on the self-alignment basis, of a grooved element isolation region having the region including impurity only at the upper part of the sidewall of the groove.
溝部の側壁の上部にのみ不純物含有領域を有する溝型素子分離領域を確実に且つ高い精度で、しかも自己整合的に形成すること可能とする溝型素子分離領域の形成方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a vertical hall element for carrying out magnetic detection with much higher precision by suppressing the generation of any offset voltage due to position deviation(alignment deviation) due to a mask matching error at the time of manufacturing elements, and to provide a method for manufacturing it.
素子作製時のマスク合わせ誤差による位置ずれ（アライメントずれ）に起因するオフセット電圧の発生を抑制して、より高い精度での磁気検出を可能とする縦型ホール素子およびその製造方法を提供する。 - 特許庁
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