To realize analysis of particles covering broad mass ranges from a light atomic to heavy particle cluster and amicron, at a high detection efficiency, at a high resolving power and at a high SIN(signal to noise) ratio. 軽い原子から重い粒子であるクラスターや超微粒子までの広い質量範囲に亘る粒子の分析を高い検出効率、高い質量分解能と高いS/N比で実現すること。 - 特許庁