To more favorably reduce the rate of change of a throttle area for a relative angulardisplacement of a valve body and a valve spool and to favorably increase steering assist force at the early stage of steering. バルブボディ及びバルブスプールの相対角変位量に対する絞り面積の変化率をより一層良好に減少させることができるとともに、操舵初期での操舵補助力を良好に高めることができるようにする。 - 特許庁
To provide a rotating electrical machine adjusting a relative angulardisplacement of a rotor in a continuous manner regardless of a torque direction, while avoiding an attractive force between field magnets of a split rotor. 本発明は、分割した回転子の界磁用磁石間の吸引力を回避し、連続的かつトルク方向に関係なく、回転子の相対的な角度変位を調整可能な回転電機を提供することを目的とする。 - 特許庁
A substrate 2 has an outer frame land 3 for supporting a movable part 4 for displacement, driving lands 9 with a vibration generating part 12 and a connecting element 19, and detecting lands 13 with angular velocity detecting parts 17 and 18. 基板2には、可動部4を変位可能に支持する外枠ランド3と、振動発生部12及び接続片19を有する駆動側ランド9と、角速度検出部17,18を有する検出側ランド13とを設ける。 - 特許庁
Displacement detection sections 9 (10) detect the amount of change due to vibration in the direction of an x axis (y axis) that is generated by angular velocity ωy (ωx) around the y axis (x axis) through a change in capacitance. 変位検出部9(,10)は、y軸(,x軸)周りの角速度ωy(,ωx)によって発生するx軸(,y軸)方向の振動にともなう変位の量を、静電容量の変化を通じて検出する。 - 特許庁
This angulardisplacement detector 1 comprises a rotating body 2 rotating about a prescribed rotational axis 2 and a distance sensor 3 for detecting a radial gap d left by the outer circumference of the rotating body 2 in a non-contacting manner. 角度変位検出装置1は、所定の回転軸2まわりに回転する回転体2と、回転体2の外周までの半径方向のギャップdを非接触で検出する距離センサ3とで構成される。 - 特許庁
The angular velocity sensor is provided with an electrode 28 for detecting the amount of displacement of a first electrode and an electrode 29 for detecting the amount of displacement of a second electrode at locations in the second oscillator 23 corresponding to locations provided with a first driving electrode 25 and a second driving electrode 26 in the first oscillator 22. 本発明の角速度センサは、第2の振動体23における第1の振動体22の第1の駆動電極25および第2の駆動電極26を設けた位置と対応する箇所に、第1の電極ズレ量検出電極28および第2の電極ズレ量検出電極29を設けたものである。 - 特許庁
A vehicle brake is of caliper type to electrically operate an active adjustment of the operational play of brake linings 26 and 34, wherein an axial direction displacement of tappets 22 and 24 inside the brake is generated by an angulardisplacement of a rotary member 14 of the brake caused by an external actuator, and the actuator input load is transmitted to the brake linings 26 and 34. ブレーキライニング26、34の動作遊隙の能動調整を電気的に作動させるキャリパタイプの車両ブレーキであって、外部アクチュエータによるブレーキの回転部材14の角変位によってブレーキ内のタペット体22、24の軸方向変位をもたらし、アクチュエータ入力負荷をブレーキのブレーキライニング26、34に伝達する。 - 特許庁
A vibration direction of a vibration body 103 in the angular velocity sensor chip is made not to be conformed with a displacement direction of a movable body 207 in the acceleration sensor chip 200, and an angle formed by the vibration direction of the vibration body 103 and the displacement direction of the movable body 207 is preferably within 60°-120°, more preferably 90°. 角速度センサチップの振動体103の駆動方向と加速度センサ200の可動体207の変位方向とを一致させないようし、振動体103の駆動方向と可動体207の変位方向とのなす角度を好ましくは60°〜120°の範囲内、さらに好ましくは90°とする。 - 特許庁
A system control unit supplies position adjusting signals indicating the same lens moving amounts to driver circuits 211A, 211B and supplies position adjusting signals indicating the same lens moving amounts to driver circuits 212A, 212B so as to suppress vibration in an X direction on the basis of an angular velocity calculated by a first angular velocity displacement calculation section 231. システム制御部は、第1の角速度変位算出部231により算出された角速度に基づいて、X方向の振動が抑制されるように、駆動回路211A、211Bに同一のレンズ移動量を示す位置調整信号を供給すると共に、駆動回路212A、212Bに同一のレンズ移動量を示す位置調整信号を供給する。 - 特許庁
In angular velocity detection apparatus having the stopper 11 for controlling the amount of displacement of the vibrator 10 relative to a fixed part 41, an impact reducing means is provided for reducing the impact force of the collision between the stopper 11 and the vibrator 10. 振動子10の固定部41に対する変位量を規制するストッパ11を備えた角速度検出装置において、ストッパ11と振動子10の衝突の衝撃力を緩衝する衝撃緩衝手段を設けた。 - 特許庁
The locking means 3 comprises a locking shaft 3a swingably protruded from the side surface of the tilting base plate 2a, and a pair of stoppers 3b, 3b which protrude from the locking shaft 3a so as to limit the unnecessary swing motion of the angulardisplacement plate 2b beyond a required limit. ロック手段3は、傾斜ベース板2aの側面に回動自在に突設されたロック軸3aと、該ロック軸3aに突設されて角変位板2bの必要以上の回動を阻止する一対のストッパー3b,3bとを備えている。 - 特許庁
In the connection process of the both terminals 10, 30, the cam follower 33 slides on the groove face of the cam groove 12 and thereby, the both terminals 10, 30 are insertion engaged around the axis in extension direction of the cam groove 12 while making a relative angulardisplacement. 両端子10、30の接続過程では、カム溝12の溝面をカムフォロア33が摺動することにより、両端子10、30がカム溝12の延出方向へ軸周りに相対的に角変位しつつ嵌合される。 - 特許庁
A value indicated by the scale 22 increases, as it moves from one side of an angulardisplacement direction to the other side, for an increase value indicated by the scale 22 per 10 degrees, a regular area 31 is smaller than a maximum area 32 and a minimum area 33. 目盛22が示す値は、角変位方向一方側から他方側に向かうにつれて増加し、10度当たりの目盛22が示す値の増加値は、常用領域31が、最大領域32および最小領域33よりも小さい。 - 特許庁
On the other hand, while the motor is driven, a phase difference Δθ between a phase of a counter electromotive voltage of the motor and a control phase is directly calculated from a parameter, a current detection value, a voltage instruction, and an angular velocity of the motor, so that displacement is corrected. 一方、モータ駆動中には、モータのパラメータ、電流検出値,電圧指令及び角速度とから、モータ逆起電圧の位相と制御位相との間の位相差Δθを直接演算し、位置ずれを補正する。 - 特許庁
Angle velocity detection parts 30, 31 detect the displacement when inside frame bodies 5, 9 of the center mass parts 3, 7 are vibrated in the X-axis direction and simultaneously displaced in the Y-axis direction, as an angular velocity Ω around the Z-axis. また、角速度検出部30,31は、中央質量部3,7の内側枠体5,9がX軸方向に振動しつつ、Y軸方向に変位するときの変位量をZ軸周りの角速度Ωとして検出する。 - 特許庁
To provide a construction machine electrically detecting absorbed torque acting on a rotary shaft of a variable displacement type piston pump connected to an output drive shaft of a motor, and efficiently operating by controlling a swash plate inclination angular position. 原動機の出力駆動軸に結合される可変容量型ピストンポンプの回転軸に作用する吸収トルクを電気的に検出して斜板傾転角位置を制御して効率的運転を可能にする建設機械を提供する。 - 特許庁
A laser beam 3 emitted from a laser autocollimator 10 is emitted to a rotating glass disk 2 surface, and the angulardisplacement data at every revolution are displayed on the axes of the coordinates, and the dynamic tilt amount of the disk is obtained by elliptic approximation. レーザオートコリメータ10から出射したレーザー光3を回転するガラスディスク2の表面に照射させ、回転毎の反射光の角度変位データを座標軸上に表示し、楕円近似によってディスクの動的チルト量を求める。 - 特許庁
A polyethylene pipe with a bending part and with a pipe material itself having flexibility is inserted in the midway of piping so that the bending part and the flexibility of the material itself absorb the angular change according to the vibration and displacement in the coordinates. 配管途中に、管自体の材質が可撓性を有しかつ管に屈曲部を有するポリエチレン管を挿入することで、屈曲部と材料自体の可撓性で振動や座標の変位に応じた角度変化を吸収する。 - 特許庁
The movement estimation curve 5 is added to the image picked up by he camara unit 10 by a parking asssit EUC 6 on the basis of the signals from an angle detecting sensor 12 detecting the angulardisplacement state of a steering shaft 11 and a center position sensor 13. 進行予測曲線5は、ステアリング軸11の角変位状態を検出する角度検出センサ12およびセンタ位置センサ13からの信号に基づいて、駐車アシストECU6がカメラユニット10が撮像する画像に付加する。 - 特許庁
This enables multiple component force measurement of vibration generated in the memory medium driver 10 with the evaluation arithmetic circuit ES and especially accomplishes actual determination of the rotary displacement and angular velocity of a memory medium rotary drive mechanism and a reading head drive part. 評価演算回路ESでは記憶媒体駆動装置10に発生する振動を多分力計測でき、特に記憶媒体回転駆動機構および読取ヘッド駆動部の回転変位および角速度を実際に求めることができる。 - 特許庁
A servo system including integral calculators 44, 45, a feedback signal generation part 46, and a bias addition part 47 acts external force so as to suppress the displacement of the vibrator 4, and detects angular velocity based on the size of the external force. 積分演算器44,45および帰還信号生成部46及びバイアス加算部47からなるサーボ系は、振動体4の変位を抑制するように外力を作用し、その外力の大きさに基づき角速度を検出する。 - 特許庁
In the method of diagnosing a stereo camera for acquiring a stereo image, a feature object is detected from camera images, and the angulardisplacement of a camera is detected based on the displacement in a vertical direction between the detection position of the feature object actually detected, by using the optical axis center as a reference and a position to essentially be detected. この発明は、ステレオ画像を取得するステレオカメラの診断方法において、カメラ画像から特徴物を検出し、光軸中心を基準として実際に検出された特徴物の検出位置と本来検出されるべき位置との垂直方向のずれに基づいてカメラの角度ずれを検出することを特徴とする。 - 特許庁
To constitute an exhaust pipe joint, using a bellows pipe interposed for connecting exhaust pipes located up/down stream, capable of relative angulardisplacement to an exhaust system of an engine, so as to prevent generation of a problem in strength and durability, even if the bellows pipe length is shortened. エンジンの排気系に、上流側排気管と下流側排気管とを相対角変位自在に接続すべく介設するベローズ管を用いた排気管継手を、ベローズ管を短くしても、強度、耐久性の問題は生じないように構成する。 - 特許庁
A first driving means 20 has a first motor 21 for putting the reflecting means 10 in angulardisplacement and a first driving mechanism 200 to transmit the driving force of the first motor 21 to the reflecting means 10, and opens and closes the reflecting means 10. 第一の駆動手段20は、反射手段10を角度変位させるための第一のモーター21と、第一のモーター21が発した駆動力を反射手段10に伝える第一の駆動機構200と、を有し、反射手段10を開閉させる。 - 特許庁
The width W and the depth H of a notch part of a wafer are calculated on the basis of a change in distance of a peripheral line when the peripheral line 40 extending from a central axis line 29 to the peripheral part of the wafer performs angulardisplacement about the central axis line 29. 中心軸線29からウェハの周縁部まで延びる周縁直線40が、中心軸線29まわりを角変位する場合の、周縁直線の距離変化に基づいて、ウェハの切欠き部分の幅Wと、深さHとを算出する。 - 特許庁
The positional information expresses the angulardisplacement of the scanning mirror 11, and a driving means 21 scans the scanning mirrors 11 on the basis of the positional information, so as to make the predetermined position to be irradiated, with the light emitted from a first light source 12. この位置情報は、走査ミラー11の角変位量を表し、駆動手段21は、この位置情報に基づいて走査ミラー11を走査し、第1光源12から出射される光を予め定める照射位置に照射させることができる。 - 特許庁
To provide a dynamic pressure bearing device capable of preventing undesired displacement of a rotating base body against external force working at a position in the specific angular direction against an axis of rotation, a rotational drive furnished with it and a recording device furnished with it. 回転軸線に対して特定角度方向の位置で作用する外力に対して、回転基体の不所望な変位を防止することができる動圧軸受装置、これを備える回転駆動装置およびこれを備える記録装置を提供する。 - 特許庁
Also, a beam-shaped switch driving part 4E is installed near a flexible part 4F installed near the support part of the cover, and the angular change of the cover bending with the flexible part as a fulcrum by pushing the top end of the cover is enlarged as displacement at the top end of the switch driving part. またカバーの支持部寄りに設けられた可撓部4F近傍に竿状のスイッチ駆動部4Eを設け、カバーの先端を押圧することで可撓部を支点として撓むカバーの角度変化をスイッチ駆動部先端で変位として拡大する。 - 特許庁
To certainly protect a movable member and a stopper from damage, in a sensor that displaceably supports the plate-like movable member on a plate-like substrate, detects displacement of the surface direction of the movable member, and thus detects physical quantity such as acceleration and angular velocity. 板状の基板上に板状の可動部材を変位自在に支持し、その可動部材の面方向の変位を検出することで、加速度や角速度などの物理量を検出するようにしたセンサにおいて、可動部材やストッパを、確実に損傷から保護する。 - 特許庁
As the detection part 40, a pressure sensor for detecting pressurizing force to be given from the esophagus wall to an abutting surface 28 or an acceleration sensor for detecting the angular velocity, acceleration and displacement amount, etc., of the distal end 42 abutted on the esophagus wall can be used. 検出部40としては、食道壁から当接面28に与えられる押圧力を検出するための圧力センサ、あるいは、食道壁に当接された先端部42の角速度、加速度、変位量などを検出するための加速度センサを用いてもよい。 - 特許庁
The front face 30 of the ring 26 forms a plane perpendicular to the axis of the carrier, and the ring and bearing are attached to the bearing carrier in order to admit a limited angulardisplacement of the front face from the condition perpendicular to the axis of the carrier. 調心リング26の前面30は軸受キャリアの軸に直角な平面を形成し、調心リングと軸受は、軸受キャリアの中心軸に対して直角な状態から、前面の限定された角方向変位を許容するために、軸受キャリアに取り付けられる。 - 特許庁
A second driving means 30 has a second motor 31 for putting the reflecting means 10 in angulardisplacement and a second driving mechanism 300 to transmit the driving force of the second motor 31 to the reflecting means 10, and adjusts the angle of the reflecting means 10. 第二の駆動手段30は、反射手段10を角度変位させるための第二のモーター31と、第二のモーター31が発した駆動力を反射手段10に伝える第二の駆動機構300と、を有し、反射手段10の角度を調整する。 - 特許庁
To provide a low-cost detector for steering state, having simple structure, which can surely prevent the rotation detection wave form of input/output shafts from shifting by one or more cycle, even when a torsion bar is twisted by a large amount, and which can thereby instantaneously detect the relative angulardisplacement of the input/output shafts. トーションバーが大きく捻れた場合でも、入出力軸の回転検出波形が一周期分以上ずれるのを確実に防ぐことができ、よって入出力軸の相対角変位を瞬時に検出することができる構造簡単でコスト安価な操舵状態検出装置を提供する。 - 特許庁
A controlling circuit 2 as the device for detecting the abnormal conditions in an angulardisplacement finds phase contrast between a sine-phase and a cosine-phase based on sine-signals and cosine-signals output from a resolver 1 and compares it with a threshold to determine presence of the abnormal conditions in the resolver 1. 本発明の角変位センサの異常検出装置としての制御回路2は、レゾルバ1から出力されるsin信号及びcos信号に基づいて、sin相位相及びcos相位相の相互の位相差を求め、これを閾値と比較してレゾルバ1の異常の有無を判定するものである。 - 特許庁
A vertical movement capacitive torque sensor for a rotating shaft such as the steering column of an automobile includes dielectric vanes interposed between capacitor plates which are movable proportional to the angulardisplacement of two shaft portions which are linked by a torsion bar or concentric inner or outer shaft portions. 自動車のステアリングコラムのような回転シャフトのための垂直移動容量性トルクセンサは、ねじり棒又は同軸の内部及び外部シャフト部分によって結合された2つのシャフト部分の角度変位に比例して移動可能なコンデンサ板の間に挟まれた誘電体羽根を含む。 - 特許庁
It is provided with a driving device 7 for rocking the manual handle 75, a detecting means 77 for detecting contact with the manual handle 75 of fine angulardisplacement of the manual handle 75, and a controller 9 for actuating the driving device 7 by a detecting signal of the detecting means 77. 手動ハンドル75の揺動を行う駆動装置7と、手動ハンドル75への接触又は手動ハンドル75の微小な角度変位を検出する検出手段77と、検出手段77の検出信号により駆動装置7とを作動させるコントローラ9とが設けられている。 - 特許庁
Pressure in each space between the paper feeding roller 7 and the friction plate 8 of a paper feeding part 2, between the photosensitive drum 10 and the transcription roller 11 of a transcription part 3, and between the paired fixing rollers 13 and 14 of a fixing part 4, is adjusted while being linked with the angulardisplacement operation of a jam releasing lever 6. ジャム解除レバー6の角変位動作に連動して、給紙部2の給紙ローラ7と摩擦板と8の間、転写部3の感光体ドラム10と転写ローラ11との間、および定着部4の一対の定着ローラ13,14間の圧力が調整される。 - 特許庁
In the failure of the mechanical feedback link between the spool of the flow control valve and the trim control surface 8 of the horizontal stabilizer, the flow control valve 18 is automatically returned to a default fixed flow, and the flow is converted into an angulardisplacement speed of the trim control surface of the horizontal stabilizer. 流量制御バルブのスプールと水平スタビライザのトリム制御表面8との間の機械式フィードバックリンクが故障した場合、流量制御バルブ18は自動的にデフォルト固定流量に復帰し、この流量は水平スタビライザのトリム制御表面の回転角変位速度に変換される。 - 特許庁
Alternatively, when a conversion control to the advantageous game state is made, the shooting information device performs the advantageous shooting annunciation if the angulardisplacement of turning operation angle of the shooting handle is less than shooting increasing/decreasing thresholds required for shooting the game balls to the first ball downstream area or the second ball downstream area. または、有利遊技状態へ変換制御した場合に、発射ハンドルの回動操作角度の角度変位が、第一球流下領域と第二球流下領域へ遊技球を打ち分けるために要する打ち分け増減閾値よりも小さいと、打ち分け報知装置で有利打ち分け報知を実行するようにした構成である。 - 特許庁
For example, movement of the imaging apparatus between shooting two preview images obtained just before shooting the image to be corrected is detected by an angular velocity sensor, on the other hand, face regions are extracted from the two preview images, respectively, and position displacement is detected in the face regions in the preview images. 例えば、補正対象画像の撮影直前に得られた2枚のプレビュー画像の撮影間における撮像装置の動きを角速度センサによって検出する一方で、前記2枚のプレビュー画像の夫々から顔領域を抽出して、各プレビュー画像中の顔領域の位置変位を検出する。 - 特許庁
A first reinforcing member 1 to which the display panel unit is fixed includes a first contact part 1a which comes into contact with a surface of the display panel and a positioning part 1b which is arranged adjacently to the first contact part 1a and can deform through angulardisplacement with respect to the first contact part 1a to position the attached body. 表示パネルユニットが固定される第1補強部材1が、表示パネルの表面に当接する第1当接部1aと、第1当接部1aに隣接して配置されて第1当接部1aに対して角変位変形可能であって付属体が位置決めされる位置決め部1bとを含む。 - 特許庁
A sorting plate is formed to have inner sides adjacent to each other in a line-symmetric truncated chevron shape more apart on one end side than on the other end side, and plural device means which simultaneously make angulardisplacement are combined, so that a simple opening/closing mechanism can be provided, and that signatures can be stacked in favorable styles of packing. 区分板を、互いに隣接する内側辺を一方端側が他方端側より離れた線対称の八字状に形成した形状とするとともに、一斉に角変位させる複数の駆動手段を組み合わせることにより、開閉機構が簡素で、かつ、良好な荷姿で折帳を集積させることができる。 - 特許庁
Moreover, since magnetic flux is formed uniformly and rectilinearly in the opposition gap between the pair of circular magnets 12 and 14 (the disposition position of the element sensor 20), a linear (uniform and linear) output characteristic can be resultantly obtained over a wide range (the angular range of turning displacement of the pair of circular magnets 12 and 14). しかも、一対の円形マグネット12、14の対向間隙(ホール素子センサ20の配置位置)においては、磁束は一様な直線的に形成されており、結果的に、リニアな(一様で直線的な)出力特性を広い範囲(一対の円形マグネット12、14の回転変位の角度範囲)に渡って得ることができる。 - 特許庁
To enable high-accuracy detection by eliminating an influence of peripheral environment in a constitution in which the turning torque applied to a first shaft and a second shaft connected to each other through a torsion element is detected taking the movement of a mover produced in the direction of shaft length according to the relative angulardisplacement of both shafts as a medium. 捩れ要素を介して連結された第1軸及び第2軸に加わる回転トルクを、両軸の相対角変位に応じて軸長方向に生じる移動体の移動を媒介として検出する構成において、周辺環境の影響を排除して高精度の検出を可能とする。 - 特許庁
To provide a belt drive controller, a belt device, and an image forming apparatus which realize image formation even during extraction of the amplitude and phase of a belt AC component of a rotation angle displacement or rotational angular velocity having a frequency corresponding to the periodic variance in thickness of a belt in its peripheral direction. ベルトの周方向の周期的な厚さ変動に対応した周波数を有する回転角変位又は回転角速度のベルト交流成分の振幅及び位相を抽出中であっても、画像形成を行うことができるベルト駆動制御装置、ベルト装置及び画像形成装置を提供すること。 - 特許庁
The angulardisplacement of a drum shaft 24 is measured by an encoder 31, and the rotation of photoreceptive drums 6a, 6b, 6c and 6d is fed back and controlled by a control circuit 32 based on a signal from the encoder 31, and the rotation of a driving motor 25 is controlled by a motor drive circuit 33, so that the eccentric component of a driving system is canceled. エンコーダ31によりドラム軸24の角変位を計測し、エンコーダ31からの信号に基いて、各感光体ドラム6a、6b、6c、6dの回転を制御回路32によりフィードバック制御し、モータドライブ回路33によって駆動モータ25の回転を制御して、駆動系の偏心成分をキャンセルする。 - 特許庁
To shorten the total imaging time and a reconstructing and calculating time, by reducing the number of imaging sheets, while suppressing the reduction of the detailed degree of internal structure data corresponding to the feature of a subject, when the subject, markedly changed in a projection image with respect to angulardisplacement especially by an angle phase, is imaged. 特に角度位相により角度変位に対する投影像の変化が顕著な被検査体を撮像する場合、その被検査体の特徴に応じて、内部構造データの詳細度の低減を押さえつつ、撮像枚数を低減し、それに伴う総撮像時間と再構成計算時間を短縮することを目的とする。 - 特許庁
In this turnover decision method, a vertical acceleration Ao of a trunk of a test subject is calculated on the basis of an angular velocity and an acceleration detected by sensors installed to the trunk of the test subject, and vertical displacement ΔZ of the trunk of the test subject is calculated on the basis of the vertical acceleration Ao of the trunk of the test subject. 本発明に係る転倒判定方法は、被験者の体幹に取り付けたセンサで検知された加速度及び角速度に基づいて被験者の体幹の鉛直加速度Aoを算出し、被験者の体幹の鉛直加速度Aoに基づいて被験者の体幹の鉛直変位ΔZを算出する。 - 特許庁
The board support structure in the vehicle has a vertically movable vehicle-inside partitioning board 20, a support 22 movable between a support position for supporting the board 20 at a predetermined height and a retreat position, and an interlocking mechanism 24 for moving the support 22 to the retreat position from the support position in conjunction with the angulardisplacement of the board supported by the support 22. 車内用ボード支持構造は、上下動可能な車内仕切用のボード20と、ボード20を所定の高さで支持する支持位置と退避位置との間で移動可能な支持部22と、その支持部22に支持されたボードの角度変位に連動して、支持部22を支持位置から退避位置に移動させる連動機構24と、を備える。 - 特許庁
The measuring beam is directed at a rotatable reflective surface of the object and then a stationary measuring retroreflector and then back to the rotatable reflective surface and then to the phase shift detector such that the phase shift detector measures an angulardisplacement of the rotatable reflective surface when the length of the path of the measuring beam changes when the rotatable reflective surface is displaced. 測定ビームは、物体の回転可能な反射面、次いで固定の測定再帰反射器、次いで回転可能な反射面に引き返し、次いで位相シフト検出器に方向付けられ、その結果位相シフト検出器は、回転可能な反射面が変位するときに測定ビームの経路の長さが変わるときの回転可能な反射面の角変位を測定する。 - 特許庁