To provide a control method of atomic beam and device therefor allowing the prevention of extension of an atomic beam, the separation and removal of a cluster from the atomic beam, the separation and removal of an isotope from the atomic beam and the control of the isotope. 原子ビームの広がりの抑止、原子ビームからのクラスターの分離除去、原子ビームからの同位体の分離除去ならびに同位体の制御を可能にした原子ビームの制御方法およびその装置を提供する。 - 特許庁
To more easily perform the cleaning of an atomic layer growth device. 原子層成長装置の洗浄がより容易に行えるようにする。 - 特許庁
A storage device (100) using the atomic resolution storage technique is arranged. アトミック・レゾリューション・ストレージ技術を採用するメモリ装置(100)が設けられる。 - 特許庁
FILM FORMING METHOD USING ATOMIC LAYER DEPOSITION METHOD AND ITS FILM FORMING DEVICE 原子層成長法を用いた成膜方法及びその成膜装置 - 特許庁
ATOMIC LAYER VAPOR DEPOSITION DEVICE CAPABLE OF VAPOR- DEPOSITING THIN FILM ON PLURAL SUBSTRATE 複数枚の基板に薄膜を蒸着可能な原子層蒸着装置 - 特許庁
To realize the miniaturization of an atomic oscillating device and the improvement of phase noise characteristics. 原子発振装置の小型化及び位相雑音特性の改善を図る。 - 特許庁