ATOMICLAYER DEPOSITION DEVICE AND ATOMICLAYER DEPOSITION METHOD 原子層堆積装置及び原子層堆積方法 - 特許庁
The interface consists of a silicon atomiclayer, a nitrogen atomiclayer and a metal atomiclayer in the form of an MSiN2. インタフェースは、MSiN_2の形で、シリコン,窒素および金属の原子層からなる。 - 特許庁
ATOMICLAYER GROWTH APPARATUS AND METHOD OF GROWING ATOMICLAYER 原子層成長装置および原子層成長方法 - 特許庁
CHEMICAL FOR ATOMICLAYER DEPOSITION METHOD, AND ATOMICLAYER THIN FILM DEPOSITION METHOD 原子層堆積法用薬剤及び原子層薄膜堆積法 - 特許庁
ATOMICLAYER DEPOSITION APPARATUS AND PROCESS 原子層堆積装置及び方法 - 特許庁
ATOMICLAYER GROWTH METHOD FOR DEPOSITING LAYER 層を堆積させるための原子層成長法 - 特許庁
APPARATUS FOR FORMING ATOMICLAYER DEPOSITION FILM 原子層堆積膜の形成装置 - 特許庁
ATOMICLAYER DEPOSITION APPARATUS AND METHOD 原子層成長装置および方法 - 特許庁
METHOD FOR DEPOSITING ATOMICLAYER AND APPARATUS THEREFOR 原子層堆積方法及び装置 - 特許庁
ATOMICLAYER DEPOSITION DEVICE AND METHOD THEREFOR 原子層成長装置および方法 - 特許庁
ATOMICLAYER DEPOSITION PROCESS FOR TUNGSTEN MATERIAL タングステン材料の原子層堆積法 - 特許庁
ATOMICLAYER DEPOSITION CHAMBER AND COMPONENT 原子層堆積チャンバ及び構成部品 - 特許庁
METHOD FOR FORMING ATOMICLAYER CONTROL THIN FILM 原子層制御薄膜の形成方法 - 特許庁
METHOD AND APPARATUS FOR ATOMICLAYER DEPOSITION 原子層堆積のための方法と装置。 - 特許庁
The apparatus 200 for forming atomiclayer deposition film forms an atomiclayer deposition film on a base body according to an atomiclayer deposition method. 原子層堆積法によって基体上に原子層堆積膜を形成する原子層堆積膜の形成装置200である。 - 特許庁
In this medium, a composition of atoms for forming the recording layer has a specific atomic ratio represented by formula (I) AgaInbSbcTexGey, (II) AgaGebSbyTez, (III) AgaGebSbyMATez, (IV) AgaGebSbyMATez or (V) AgaGebSbyZnATez. AgaInbSbcTexGey (I) AgaGebSbyTez (II) AgaGebSbyMATez (III) AgaGebSbyMATez (IV) AgaGebSbyZnATez (V) - 特許庁
ATOMICLAYER DEPOSITION USING METAL AMIDINATE 金属アミジナートを用いる原子層の析出 - 特許庁
PROCESSING CHAMBER FOR ATOMICLAYER DEPOSITION PROCESS 原子層成長プロセスのための処理チャンバ - 特許庁
METHOD AND APPARATUS OF GROWING PLASMA ATOMICLAYER プラズマ原子層成長方法及び装置 - 特許庁
The seed layer can be formed by an atomiclayer deposition technique. シード層は、原子層堆積法によって形成され得る。 - 特許庁
ROTARY DRUM IN FILM DEPOSITION APPARATUS FOR ATOMICLAYER CHEMICAL VAPOR DEPOSITION AND FILM DEPOSITION APPARATUS FOR ATOMICLAYER CHEMICAL VAPOR DEPOSITION 原子層堆積法成膜装置における回転ドラムおよび原子層堆積法成膜装置 - 特許庁
THIN FILM FORMING METHOD USING ATOMICLAYER DEPOSITION 原子層蒸着を用いた薄膜形成方法 - 特許庁
In an SOI substrate 12, an SOI active layer 3 is formed on a buried oxide film 2, and at least a part of the layer 3 is formed by ALE (atomic layer epitaxy: atomiclayer epitaxial growth). 埋め込み酸化膜2上に、SOI活性層3が形成され、この少なくとも一部がALE(Atomic Layer Epitaxy:原子層エピタキシャル成長)によって形成されているSOI基板12。 - 特許庁
ATOMICLAYER DEPOSITION APPARATUS, AND METHOD OF FORMING THIN FILM 原子層堆積装置及び薄膜形成方法 - 特許庁
ATOMIC-LAYER DEPOSITION APPARATUS AND METHOD FOR FORMING THIN FILM 原子層堆積装置及び薄膜形成方法 - 特許庁
ATOMICLAYER GROWING APPARATUS AND THIN FILM FORMING METHOD 原子層成長装置および薄膜形成方法 - 特許庁
METHOD AND APPARATUS FOR HIGH SPEED ATOMICLAYER DEPOSITION 高速原子層めっきのための方法及び装置 - 特許庁
ATOMICLAYER VAPOR DEPOSITION APPARATUS UTILIZING NEUTRAL BEAM AND ATOMICLAYER VAPOR DEPOSITION METHOD UTILIZING THE APPARATUS 中性ビームを利用した原子層蒸着装置及びこの装置を利用した原子層蒸着方法 - 特許庁
THIN FILM DEPOSITION METHOD USING ATOMICLAYER DEPOSITION METHOD 原子層蒸着法を用いた薄膜製造方法 - 特許庁
METHOD FOR FORMING FILM BY ATOMICLAYER EPITAXIAL GROWING METHOD 原子層エピタキシャル成長法による成膜方法 - 特許庁
THIN FILM FORMING METHOD USING ATOMICLAYER EVAPORATION METHOD 原子層蒸着法を用いた薄膜形成方法 - 特許庁
THIN FILM FORMING METHOD USING ATOMICLAYER DEPOSITION METHOD 原子層蒸着法を用いた薄膜形成方法 - 特許庁
The silicon nitride layer 39 is formed in an atomiclayer deposition method. また、窒化シリコン層39は、原子層堆積法により形成されている。 - 特許庁
The multilayered barrier layer 200 has a structure constructed by successively laminating a barrier layer 201 composed of AlN9 atomiclayer, a well layer 206 composed of a GaN2 atomiclayer, and another barrier layer 202 composed of an AlN9 atomiclayer upon another in this order. また、多重障壁層200は、AlN9原子層からなる障壁層201、GaN2原子層からなる井戸層206、及びAlN9原子層からなる障壁層202が順に積層された構造を有する。 - 特許庁
METHOD OF FORMING THIN FILM USING ATOMIC-LAYER VACUUM DEPOSITION 原子層蒸着法を用いた薄膜形成方法 - 特許庁
METHOD AND DEVICE FOR FORMING MATERIAL LAYER FROM ATOMIC GAS 原子ガスから材料層を形成する方法と装置 - 特許庁
VARIABLE TEMPERATURE AND DOSE ATOMICLAYER DEPOSITION 温度および投与量が調節可能な原子層堆積 - 特許庁
ATOMICLAYER DEPOSITION OF Ta2O5 AND HIGH-k DIELECTRIC Ta2O5および高k誘電体の原子層堆積 - 特許庁
To provide a high-k silicate atomiclayer deposition method in ALD. 高-kケイ酸塩原子層堆積法を提供する。 - 特許庁
METHOD OF DEPOSITING SILICON DIOXIDE LAYER ON SUBSTRATE BY ATOMICLAYER DEPOSITION METHOD 原子層堆積法によって基板に二酸化シリコン層を堆積する方法 - 特許庁
The seed layer can be formed by an atomiclayer deposition (ALD) method (102). シード層は原子層堆積法によって形成されることが出来る(102)。 - 特許庁