「batch processing monitor」を含む例文一覧(1)
- To provide a processing system and a processing method, which are capable of automatically effecting an interchanging work of several sheets among a plurality of sheets of wafers into monitor wafers, in a batch type processing system.
バッチ式の処理システムにおいて，複数枚のウェハのうち数枚をモニターウェハに交換する作業を自動的に行うことができる処理システム及び処理方法を提供する。 - 特許庁
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