CURRENTBEAM POSITION MEASUREMENT SYSTEM ビーム位置測定システム - 特許庁
DIRECT CURRENT ELECTRON BEAM ACCELERATION DEVICE AND METHOD OF DIRECT CURRENT ELECTRON BEAM ACCELERATION 直流電子ビーム加速装置およびその直流電子ビーム加速方法 - 特許庁
BEAMCURRENT LIMITING METHOD, BEAMCURRENT LIMITER AND IMAGE DISPLAY UNIT ビーム電流制限方法とビーム電流制限装置及び画像表示装置 - 特許庁
To enlarge a variable range of a beamcurrent of an ion beam. イオンビームのビーム電流の可変範囲を拡大する。 - 特許庁
BEAM PROFILE MONITOR HAVING BEAMCURRENT DETECTING FUNCTION ビーム電流検出機能付きビームプロファイルモニタ - 特許庁
DEVICE FOR MEASURING BEAMCURRENT FOR ELECTRON BEAM IRRADIATOR 電子線照射装置用ビーム電流計測装置 - 特許庁
The currentbeam is switched to either the best beam or an intermediate beam in accordance with the separation between the best beam and the currentbeam. 現在のビームは、最良のビームと現在のビームとの間隔に応じて、最良のビームか、または、中間のビームのいずれかに切り替えられる。 - 特許庁
STABILIZATION METHOD OF ION BEAMCURRENT USING WIRE TYPE BEAM ADJUSTER ワイヤー型ビーム調整器を用いたイオンビーム電流の安定化法 - 特許庁
ELECTRON BEAM DRAWING DEVICE AND CURRENT DENSITY ADJUSTMENT METHOD FOR ELECTRON BEAM 電子ビーム描画装置及び電子ビームの電流密度調整方法 - 特許庁
ELECTRON BEAM DETECTOR AND ELECTRON BEAMCURRENT MEASURING METHOD 電子ビーム検出器および電子ビーム電流計測方法 - 特許庁
METHOD OF MEASURING ELECTRON BEAMCURRENT, METHOD AND APPARATUS OF ELECTRON BEAM DRAWING 電子ビーム電流計測方法、電子ビーム描画方法および装置 - 特許庁
METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING BEAMCURRENT OF ELECTRON-BEAM PLOTTING APPARATUS 電子ビーム描画装置のビーム電流測定方法及び装置 - 特許庁
ELECTRONIC BEAMCURRENT MEASURING TECHNOLOGY AND ELECTRONIC BEAM APPLICATION DEVICE USING IT 電子ビーム電流計測方法及びそれを用いた電子ビーム応用装置 - 特許庁
A factor optimizing means 16 optimizes the beam correction factor based on a beamcurrent density value measured by a beamcurrent density measuring means 14 and a beamcurrent value measured by a beamcurrent measuring means 15. 係数最適化手段16は、ビーム電流密度測定手段14により測定されたビーム電流密度値、及びビーム電流測定手段15により測定されたビーム電流値に基づきビーム補正係数を最適化する。 - 特許庁
ELECTRON BEAM ABSORBED CURRENT ANALYZING METHOD AND ELECTRON BEAM ABSORBED CURRENT ANALYZER 電子ビーム吸収電流解析方法及び電子ビーム吸収電流解析器 - 特許庁
ELECTRON BEAM APPARATUS HAVING ELECTRON BEAMCURRENT DETECTOR AND ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE 電子ビーム電流検出器を備えた電子ビーム装置および電子ビーム露光装置 - 特許庁
ELECTRON BEAMCURRENT MEASURING METHOD, ELECTRON BEAM DRAWING APPARATUS, AND ELECTRON BEAM DETECTOR 電子ビーム電流計測方法、電子ビーム描画装置および電子ビーム検出器 - 特許庁
METHOD FOR ESTIMATING CURRENT DENSITY OF ELECTRON BEAM IN ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE, AND ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE 電子線露光装置における電子線の電流密度の推定方法、及び電子線露光装置 - 特許庁
To provide a focused ion beam device capable of thinly focusing a beam diameter and changing an ion beamcurrent in a wide range. ビーム径を細く絞ることができ、しかも、イオンビーム電流を広い範囲にわたって変える。 - 特許庁
The sample current includes a current induced by the radiation of an electron beam. 試料電流は、電子線照射により誘起された電流を含む。 - 特許庁
ION SOURCE DEVICE AND ION-BEAM CURRENT CONTROLLING METHOD イオン源装置及びイオンビーム電流制御方法 - 特許庁
NONCONTACT TYPE ION BEAMCURRENT INTENSITY MEASURING DEVICE 非接触型イオンビーム電流強度測定装置 - 特許庁
STRUCTURE OF ION BEAMCURRENT MEASURING APPARATUS イオンビーム電流計測装置の構造 - 特許庁
BEAMCURRENT LIMIT CIRCUIT FOR VIDEO PROJECTOR ビデオプロジェクタのビーム電流制限回路 - 特許庁
BEAMCURRENT MEASURING DEVICE IN ION IMPLANTER イオン注入装置におけるビーム電流測定装置 - 特許庁
ION BEAMCURRENT STRENGTH-MEASURING APPARATUS イオンビーム電流強度測定装置 - 特許庁
DEVICE THAT MEASURE ELECTRONIC BEAMCURRENT INSIDE ACCELERATOR 加速器内の電子ビームの電流を測定するデバイス - 特許庁
METHOD AND INSTRUMENT FOR MEASURING BEAMCURRENT WAVEFORM ビーム電流波形の測定方法および測定装置 - 特許庁
DIRECT CURRENT HIGH-VOLTAGE POWER SOURCE DEVICE FOR ELECTRON BEAM IRRADIATING EQUIPMENT 電子線照射装置用の直流高圧電源装置 - 特許庁
DEVICE FOR CONTROLLING BEAMCURRENT AND IMAGE DISPLAY DEVICE ビーム電流制御装置および画像表示装置 - 特許庁
The current value of an electron beam is measured. 電子ビームの電流値を測定する。 - 特許庁
BEAMCURRENT CALIBRATION SYSTEM ビーム電流キャリブレーションシステム - 特許庁
HIGH CURRENT-DENSITY PARTICLE BEAM SYSTEM 高電流密度粒子ビームシステム - 特許庁
To provide an electron beam generator that can generate a stable electron beam as the current accompanying the production of larger current electron gun, in an electron beam irradiator. 電子線照射装置の電子銃の大電流化に伴い、安定した電子ビームを発生することができる電子線発生装置を提供する。 - 特許庁
An electron beamcurrent is measured, and the intensity of the photon beam is adjusted based on the measured electron beamcurrent. 電子ビーム電流を測定し、測定した電子ビーム電流に基づいて光子ビームの強度を調整する。 - 特許庁
An orbital position of the ion beam L is detected based on an observed value of the beamcurrent by the beamcurrent measurement means. これにより,測定されたビーム電流を電流計測器等でモニタリングしながらイオンビームLの軌道調整を行うことが可能となる。 - 特許庁
In the calculation step, a beamcurrent density, which is the beamcurrent per unit area, is calculated based on the beam shape and the beamcurrent detected in the detection step. 算出工程では、前記検出工程によって検出された前記ビーム形状および前記ビーム電流に基づき、単位面積あたりの前記ビーム電流であるビーム電流密度を算出する。 - 特許庁
Optimized ion beamcurrent and the current (accumulated value) generated by the direct current generator are measured in an ion beamcurrent measuring part 4 before radiation of the ion beam 1 upon the wafer 3 placed on the platen 2. イオンビーム1がプラテン2上のウエハ3に照射される前に、最適なイオンビーム電流値を直流電流発生器6により発生した電流値(積算値)のみを、イオンビーム電流計測部4で計測する。 - 特許庁
A current transformer 5 for detecting pulses that detects a pulse current flowing in the beam duct 205 is set up, and the beamcurrent and a reversed-polarity pulse current P2 flowing in the beam duct 205 are passed from a pulse current supply circuit 7 through the beam duct 205. ビームダクト205を流れるパルス電流を検出するパルス検出用変流器5を設け、ビームダクト内を流れるビーム電流と逆極性のパルス電流P2 をパルス電流供給回路7からビームダクト205を通して流す。 - 特許庁
MULTIPLE ELECTRON BEAM SYSTEM, AND MULTIPLE ELECTRON BEAMCURRENT MEASURING AND DISPLAYING METHOD USED THEREWITH マルチ電子ビーム装置およびそれに用いられるマルチ電子ビーム電流の計測・表示方法 - 特許庁
To uniformize a beamcurrent of an ion beam in a short time by an automatic control. 自動制御により短時間でイオンビームのビーム電流を均一化する。 - 特許庁
To provide an electron beam radiation device capable of lowering a current value for generating an electron beam. 電子線発生の電流値を低くすることができる電子線放出装置を提供する。 - 特許庁
The method and device allow individual control of beamcurrent and beam radiation. この方法および装置は、ビーム電流とビーム放射の個別制御を可能にする。 - 特許庁
Current detecting circuits 61L and 61R detect beam currents corresponding to the current detection signals. 電流検出回路61L,61Rは、電流検出用信号に対応するビーム電流を検出する。 - 特許庁
The laser diode 31 emits a laser beam when a current exceeding a threshold current Ith is applied. レーザダイオード31はしきい値電流Ithを超える電流が流れるとレーザ光を出射する。 - 特許庁