In irradiating the excimer laser, the surface of the cesium iodide film is flattened by irradiating the excimer laser in a circular form like a convolution by circular motion for rotating an input surface 5 from its center toward its periphery by an XYZθ stage. エキシマレーザの照射に際しては、XYZθステージにより入力面5を中心から周辺に向けて回転させる円運動により渦巻のように円の線状に照射して平坦化させる。 - 特許庁