To provide an evaluation method for cleanliness of high cleanliness steel, having high reliability for high cleanliness. 高清浄度であることの信頼性が高い高清浄度鋼の清浄度の評価方法を提供することを課題とする。 - 特許庁
AIR CLEANLINESS MONITORING METHOD OF CLEAN ROOM AND AIR CLEANLINESS MONITORING DEVICE USED FOR THE METHOD クリーンルームの空気清浄度モニタリング方法及びこれに用いる空気清浄度モニタリング装置 - 特許庁