The heating temp. of a viscoelastic body 17 by a heating coil 16 at the time of retract coarse motion separating a probe 10 from the surface of a sample is made higher than that at a time of approach coarse motion allowing the probe 10 to approach the surface of the sample. 加熱コイル16による粘弾性体17の加熱温度を、探針10を試料19表面から引き離すリトラクト粗動時の方が、該探針10を該試料19表面に近付けるアプローチ粗動時より高くなるようにした。 - 特許庁