The susceptor for manufacturing the semiconductor is mainly composed by an aluminum nitride sintered body where the dielectric loss tangent at a microwave frequency band is equal to or more than 10-2 while the average particle diameter of the aluminum nitride particles for composing the aluminum nitride sintered body measured by the Codo method ranges from 2 to 8 μm. マイクロ波周波数帯域における誘電正接値が10^−2以上の主として窒化アルミニウム焼結体より成り、かつその窒化アルミニウム焼結体を構成する窒化アルミニウム粒子のCodo法によって測定された平均粒径が2〜8μmであることを特徴とする半導体製造用サセプタである。 - 特許庁