Variations of the basic method and system can provide, for example, the generation of complex particle size distribution profiles, and the selective deposition of a multi-modal particle size distribution on a single substrate. 基本的方法及びシステムの変形形態により、例えば複雑な粒度分布プロフィールの生成、及び単一基板上での選択的な多峰性粒度分布の堆積を得ることができる。 - 特許庁