Then, an adhesion layer is deposited under a condition having high conformality. この後、接着層を高いコンフォマリティーを有する条件で成膜する。 - 特許庁
To form a sealing layer before a high conformality ALD layer is formed on a porous layer in an integrated circuit. 集積回路において、多孔層上の高いコンホーマリティALD層前にシーリング層を形成する。 - 特許庁
To provide a vapor deposition method wherein an ALD gives superior conformality, film formation speed, and uniformity in comparison with a CVD. ALDがCVDに比べて優れたコンフォーミティ(coformality)、成膜速度及び均一性を備えた気相堆積方法を提供する。 - 特許庁
The nitride film obtained by the method has an etching-resistant property and high conformality, and an excellent barrier layer can be provided without changing the structure and processes of a conventional semiconductor device. この方法によって得られた窒化膜は、耐エッチング性を有し、高いコンフォーマリティを有し、従来の半導体デバイスの構造およびプロセスを変更することなく、優れたバリア層を提供することができる。 - 特許庁