To provide a reflection high-energy electron diffraction apparatus that can generate a reflection electron imagediffraction pattern by using an electron beam having an extremely small current value at a nanoampere level. nAレベルのきわめて小さい電流値の電子線を利用して反射電子像回析パターンを生成することができる反射高速電子回析装置を提供する。 - 特許庁
Further, the direction of the electron beam diffractionimage is changed with an action of an electromagnetic lens, for instance, by changing current conducted to a plurality of projection lenses. また、例えば、複数の投射レンズに通電する電流を変化させ、電磁レンズの作用によって電子線回折像の方向を変化させる。 - 特許庁