To provide a reflection high-energy electron diffraction apparatus that can generate a reflection electron imagediffractionpattern by using an electron beam having an extremely small current value at a nanoampere level. nAレベルのきわめて小さい電流値の電子線を利用して反射電子像回析パターンを生成することができる反射高速電子回析装置を提供する。 - 特許庁