PATTERN FORMING METHOD AND DEVELOPINGSOLUTION CONTROL SYSTEM パターン形成方法および現像液管理システム - 特許庁
A developingsolution tank 33 reserving a developingsolution that is fed to a substrate S is arranged below a developing tank 30. 基板Sに供給すべき現像液が貯留されている現像液タンク33は、現像槽30の下方に配置されている。 - 特許庁
A semiconductor pH sensor 60 which measures the pH of the developingsolution is put in the developingsolution in the developing tank 5. そして現像槽5内の現像液中に、現像液のpHを測定する半導体式pHセンサ60が浸漬されている。 - 特許庁
METHOD FOR PREVENTING DETERIORATION IN DEVELOPINGSOLUTION AND APPARATUS THEREFOR 現像液の劣化防止方法およびその装置 - 特許庁
METHOD FOR REMOVING CARBONATE IN RESIST DEVELOPINGSOLUTION, REMOVING DEVICE, AND METHOD FOR CONTROLLING CONCENTRATION OF RESIST DEVELOPINGSOLUTION レジスト現像液中の炭酸塩の除去方法、除去装置、及びレジスト現像液の濃度管理方法 - 特許庁
To provide a photosensitive resin composition facilitating control of a developingsolution or a stripping solution and having excellent dispersibility in a developingsolution. 現像液、剥離液の管理が容易であり、さらに優れた現像液分散性を備えた感光性樹脂組成物の提供。 - 特許庁
PROCESSING AGENT COMPOSITION FOR SILVER HALIDE PHOTOGRAPHIC SENSITIVE MATERIAL, COLOR DEVELOPINGSOLUTION, BLEACHING SOLUTION, BLEACHING FIXING SOLUTION, FIXING SOLUTION AND STABILIZING SOLUTION ハロゲン化銀写真感光材料用処理剤組成物、発色現像液、漂白液、漂白定着液、定着液及び安定液 - 特許庁
METHOD FOR ESTIMATING ALKALI CONCENTRATION OF DEVELOPINGSOLUTION, AND EQUIPMENT THEREFOR 現像液のアルカリ濃度推定方法及び装置 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING COLOR FILTER, DEVELOPING METHOD, DEVELOPING DEVICE AND DEVELOPER SOLUTION カラーフィルター製造方法,現像処理方法,現像処理装置および現像液 - 特許庁
Temperature adjusting structures 74, 75 and 76, which adjust the temperature of a developingsolution, are provided respectively on the storing part 73, where the developingsolution is stored, of a developingsolution supply nozzle 67. 現像液供給ノズル67の現像液を貯留する貯留部73に現像液の温度を調整する温度調整機構74,75,76を夫々設ける。 - 特許庁
Developingsolution 16 is supplied from a developingsolution supplying nozzle 15 on a photoresist film 12 formed on a glass substrate 10, and is subjected to mounting of the developingsolution 16. ガラス基板10上に形成されたフォトレジスト膜12の上に現像液供給ノズル15から現像液16を供給して、現像液16を液盛りする。 - 特許庁
A developingsolution supplied from a developingsolution discharging nozzle is piled up on a substrate held in a standstill state (S101). 静止保持された基板に現像液吐出ノズルから供給される現像液を液盛りする(S101)。 - 特許庁
PIGMENT DISPERSION RESIST DEVELOPINGSOLUTION FOR LCD COLOR FILTER LCDカラーフィルター用顔料分散レジスト現像液 - 特許庁
PHOTOGRAPHIC PROCESSING DEVICE AND DEVELOPING PROCESSING SOLUTION CONTROL METHOD 写真処理装置および現像処理液の管理方法 - 特許庁
To improve a developingsolution for a color negative photographic film. カラーネガ写真フィルム用現像液を改良すること。 - 特許庁
DEVELOPINGSOLUTION COMPOSITION FOR SILVER HALIDE PHOTOGRAPHIC SENSITIVE MATERIAL ハロゲン化銀写真感光材料用現像液組成物 - 特許庁
A solvent which is soluble with the developing undiluted solution and does not neutralize the developing undiluted solution is used for the organic solvent. 有機溶剤には、現像原液に可溶であり、且つ現像原液と中和反応しないものが用いられる。 - 特許庁
This preferably uniformizes the developing reaction starting immediately after the filling of the developingsolution. これにより、液盛り直後から始まる現像反応をなるべく均一化する。 - 特許庁
To provide a developing device and a developing method which achieve both of reduction in a flow amount of a developingsolution and regeneration and usage of a used developingsolution. 現像液の流量の減少と、使用済現像液の再生使用を同時に達成することを可能とする現像装置及び現像方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a developingsolution superior in low corrosion property and developing property on a conductive material and to provide a lithography process that uses the developingsolution. 導電性材料に対する低腐蝕性、現像性に優れた現像液、及び当該現像液を用いたリソグラフィープロセスを提供する。 - 特許庁
The developing apparatus 5 includes: a developing tank 511 for containing a developingsolution for developing an exposed sheet; a replenishing tank 512 for replenishing the developing tank 511 with a developingsolution; and a first pipe 515 for guiding the developingsolution from the replenishing tank 512 to the developing tank 511. 現像装置5は、露光された用紙に対する現像処理を行うための現像処理液を収容する現像処理タンク511と、現像処理タンク511に現像処理液を補充する補充タンク512と、補充タンク512から現像処理タンク511に現像処理液を案内する第1パイプ515とを備えている。 - 特許庁
DEVELOPINGSOLUTION AND DEVELOPING METHOD FOR NEGATIVE TYPE PHOTOSENSITIVE PLANOGRAPHIC PRINTING PLATE FOR INFRARED LASER 赤外線レーザー用ネガ型感光性平版印刷版の現像液および現像方法 - 特許庁
DEVELOPINGSOLUTION FOR PHOTOSENSITIVE RESIN, DEVELOPING METHOD AND METHOD FOR PRODUCING OPTICAL COLOR FILTER 感光性樹脂用現像液、現像方法、および光学的カラーフィルターの製造方法 - 特許庁
photographic equipment consisting of a chemical solution for developing film
フィルムを現像するための化学溶液から成る写真機材 - 日本語WordNet
METHOD FOR CONTROLLING DEVELOPINGSOLUTION FOR PHOTORESIST, DEAERATION APPARATUS AND CONTROL DEVICE フォトレジスト用現像液管理方法、脱気装置、管理装置 - 特許庁
The development replenishing method includes: measuring the conductivity of a developingsolution; comparing the conductivity of the developingsolution with a predetermined conductivity reference; and replenishing the developingsolution with a development replenisher when the conductivity of the developingsolution is lower than the conductivity reference, wherein the difference between the conductivity of the developingsolution and the conductivity reference is calculated and displayed as an activity of the developingsolution. 現像液の電導度を測定し、該現像液電導度値を予め定めた電導度基準値と比較して、該現像液電導度値が該電導度基準値より低い場合に該現像液に現像補充液を補充する現像補充方法であって、該現像液電導度値と該電導度基準値との差異値を演算し現像液活性度として表示するようにした。 - 特許庁
In the development processing, a mixed solution prepared by mixing a developingsolution and a solution having a smaller specific gravity than the developingsolution has with each other is supplied to the surface of a substrate, and the substrate is left as it is for a fixed period of time. 現像処理時、現像液と現像液より比重の小さい溶液とが撹拌されてなる混合液を基板表面に供給し、一定時間放置する。 - 特許庁
DEVELOPINGSOLUTION COMPOSITION FOR RESIST AND METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN レジスト用現像液組成物およびレジストパターンの形成方法 - 特許庁
The developing solution-sucking device 51 includes a floating member 60 and a developing solution-sucking member 61 connected to the floating member 60. 現像液吸引装置51は、フロート部材60と、フロート部材60に接続された現像液吸引部材61を有する。 - 特許庁
METHOD FOR DISPOSITION OF PHOTOSENSITIVE RESIN DEVELOPINGSOLUTION FOR PRINTING PLATE 印刷版用感光性樹脂現像液の廃棄処理方法 - 特許庁
WASHING SOLUTION FOR DEVELOPING BATH OF AUTOMATIC PROCESSING MACHINE AND WASHING METHOD 自動現像機の現像浴の洗浄液及び洗浄方法 - 特許庁
DEVELOPINGSOLUTION FOR PHOTOSENSITIVE POLYIMIDE PRECURSOR AND METHOD FOR PRODUCING PATTERN 感光性ポリイミド前駆体用現像液及びパターンの製造法 - 特許庁
After supplying the developingsolution, the developing nozzle can be received in the second washing tank, and the developingsolution adhering to the developing nozzle can be removed by a washing solution in the second washing tank. 前記現像液を供給した後、前記現像ノズルは、前記第2洗浄タンクに収容されることが可能であり、前記現像ノズルについている現像液は前記第2洗浄タンク内で洗浄液によって除去することができる。 - 特許庁
After supplying the developingsolution, the developing nozzle can be received in the second washing tank, and the developingsolution adhered to the developing nozzle can be removed by a washing solution in the second washing tank. 前記現像液を供給した後、前記現像ノズルは、前記第2洗浄タンクに収容されることが可能であり、前記現像ノズルについている現像液は前記第2洗浄タンク内で洗浄液によって除去することができる。 - 特許庁
The upper resist layer 6 is then exposed, 1st stage development is carried out with a developingsolution and 2nd stage development is carried out with a diluted developingsolution whose concentration is about 80% of that of the above developingsolution. 上部レジスト層6を露光した後、現像液で第1段の現像を実施し、続いて、前述した現像液の略80%の濃度の希釈現像液で試料に第2段の現像を実施する。 - 特許庁
To provide a method of supplying a liquid developer (developing solution) to an image forming apparatus using the developingsolution, which is capable of satisfactorily supplying and circulating the developingsolution. 液体現像剤(現像液)を用いる画像形成装置において、現像液を良好に供給でき、かつ、循環させることのできる、画像形成装置への現像液供給方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a method for controlling a developingsolution for a photoresist by which the characteristic values as the basics of controlling the concentration of a developingsolution can be accurately measured, while eliminating the influence of bubbles included in the developingsolution. 現像液中に含まれる気泡の影響を排除して、精確に現像液の濃度管理の基礎となる特性値を測定することができるフォトレジスト用現像液管理方法を提供する。 - 特許庁
The developing-solution-discharging time and the expansion of the predetermined volume of the developingsolution 16 over the wafer WF to be processed after the elapse of the developing-solution-filling time are completed without preferably biasing the thickness. そして、現像液盛り時間と現像液盛り時間経過後に及ぶ所定量の現像液16の被処理ウェハWF上への拡張を、なるべく厚みを片寄らせずに達成させる。 - 特許庁
To provide an automatic developing apparatus capable of reducing a waste liquid and maintaining the temperature of a developingsolution, thereby stabilizing a developing process. 廃液を削減し、現像液の温度を維持して現像処理を安定させることができる自動現像装置を提供する。 - 特許庁
The developing apparatus has a fresh liquid tank 21 for storing an unused developingsolution, and a used liquid tank 22 for storing the used developingsolution recovered from materials after treatment. 現像装置は未使用の現像液を貯留する新液タンク21と被処理物から回収した使用済みの現像液を貯留する旧液タンク22とを備えている。 - 特許庁
The photoresist is developed with the developingsolution. また、このような組成のフォトレジスト用現像液を用いて現像する。 - 特許庁
To suppress the fluctuation of toner density of a developingsolution in a container. 容器内の現像液のトナー濃度が変動するのを抑制する。 - 特許庁
PROCESSING METHOD AND DEVELOPINGSOLUTION FOR PHOTOSENSITIVE PLANOGRAPHIC PRINTING PLATE MATERIAL 感光性平版印刷版材料の処理方法および現像液 - 特許庁
In the developing apparatus 5, a developing tank 511 for containing a color developingsolution for developing an exposed sheet and a replenishing tank 512 for replenishing the developing tank 511 with a color developingsolution are integrally formed. 現像装置5においては、露光された用紙に対する現像処理を行うための発色現像処理液を収容する現像処理タンク511と、現像処理タンク511に発色現像処理液を補充する補充タンク512とが一体的に形成されている。 - 特許庁
In the plan view, the discharge direction of the first developingsolution being discharged obliquely downward from the first developingsolution nozzle 151, and the discharge direction of the second developingsolution being discharged obliquely downward from the second developingsolution nozzle 152 are the same direction as the rotational direction of the wafer W. 第1の現像液ノズル161から斜め下方に吐出される第1の現像液の吐出方向と第2の現像液ノズル162から斜め下方に吐出される第2の現像液の吐出方向は、平面視において、それぞれウェハWの回転方向と同一方向である。 - 特許庁
To provide a developingsolution for photosensitive resin having improved power of infiltrating into the photosensitive resin, enhanced solvent power in development and property of suppressing the abnormal occurrence of foreign matter in the developingsolution and to provide a developing method using the developingsolution and a method for producing an optical color filter by the developing method 感光性樹脂への浸透性を改良し、現像溶解性を高め、現像液中での異物の異常発生を大幅に低減した感光性樹脂用現像液、現像方法、およびこの現像方法によった光学的カラーフィルターの製造方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a developing apparatus wherein the amount of the developingsolution is decreased without a deterioration in developing precision, and to provide a development method. 現像精度を低下することなく使用する現像液の量を削減できる現像装置および現像方法を提供する。 - 特許庁
When the developingsolution 16 is filled during the developing-solution-filling time, the wafer WF to be processed is rotated at the predetermined number of revolutions SP1. 現像液盛り時間において現像液16が盛られている際、被処理ウェハWFは所定の回転数SP1で回転している。 - 特許庁
DEVELOPINGSOLUTION FOR SILVER HALIDE PHOTOGRAPHIC SENSITIVE MATERIAL AND PROCESSING METHOD FOR THE SAME ハロゲン化銀写真感光材料用現像液及びその処理方法 - 特許庁
METHOD FOR DEVELOPING HEAT-SENSITIVE LITHOGRAPHIC PRINTING PLATE PRECURSOR USING GUM SOLUTION ゴム溶液を用いる感熱性平版印刷版前駆体の現像法 - 特許庁