FINISHING TOOL OF CHEMICAL/MECHANICAL FLATTING TECHNOLOGY PAD OF GRID-LIKE DIAMONDARRAY グリッド状ダイヤモンド配列の化学的機械的平坦化技術パッド仕上げ用具 - 特許庁
In grooving a lens array die 10 using a machine 1, the distance between a single crystal diamondtool 4 and an abrasive grains tool 5 is measured, the abrasive grains tool 5 is moved to the grooving position of the micro lens array die 10, and further moved in the X-axis direction by a cutting quantity leaving the working margin by the single crystal diamondtool 4. 加工機1を用いたレンズアレイ金型10の溝加工に際して、まず、単結晶ダイヤモンド工具4と砥粒工具5の工具間距離を測定し、砥粒工具5をマイクロレンズアレイ金型10の溝加工位置まで移動させて、単結晶ダイヤモンド工具4での加工代を残した切り込み量分X軸方向に移動させる。 - 特許庁