「differential interference microscope」を含む例文一覧(40)
- DIFFERENTIAL INTERFERENCE MICROSCOPE
微分干渉顕微鏡 - 特許庁 - DIFFERENTIAL INTERFERENCE MICROSCOPE DEVICE
微分干渉顕微鏡装置 - 特許庁 - TRANSMITTED ILLUMINATION TYPE DIFFERENTIAL INTERFERENCE MICROSCOPE
透過照明型微分干渉顕微鏡 - 特許庁 - DIFFERENTIAL INTERFERENCE OBSERVATION METHOD AND MICROSCOPE
微分干渉観察方法及び顕微鏡 - 特許庁 - DIFFERENTIAL INTERFERENCE MICROSCOPE AND DEFECT INSPECTING DEVICE
微分干渉顕微鏡及び欠陥検査装置 - 特許庁 - LUMINOUS FLUX CONTROLLER, INTERFERENCE DEVICE AND DIFFERENTIAL INTERFERENCE MICROSCOPE
光束制御装置、干渉装置及び微分干渉顕微鏡装置 - 特許庁 - IMAGE PROCESSOR, DIFFERENTIAL INTERFERENCE MICROSCOPE AND IMAGE PROCESSING METHOD
画像処理装置、微分干渉顕微鏡、および、画像処理方法 - 特許庁 - THREE-DIMENSIONAL PHASE MEASUREMENT METHOD, AND DIFFERENTIAL INTERFERENCE MICROSCOPE USED FOR SAME
３次元位相計測方法とそれに使われる微分干渉顕微鏡 - 特許庁 - To provide a differential interference microscope capable of miniaturizing a device configuration.
装置構成を小型化できる微分干渉顕微鏡装置を提供する。 - 特許庁 - To form the differential interference image of matter without using an exclusive interference device (e.g., a Nomarski microscope or the like).
専用の干渉装置（例えばノマルスキープリズムなど）を用いることなく物体の微分干渉画像を生成する。 - 特許庁 - To provide a device which detects, in a short period of time, a quantity of phase change of an observation object from a differential interference image obtained by a differential interference microscope.
観察物体の位相変化量等を微分干渉顕微鏡により得た微分干渉画像から短時間で検出する装置を提供する。 - 特許庁 - In the differential interference microscope, the differential interference image of a sample is picked up by an imaging apparatus (11) and its video signal is output to an image processing device.
本発明による微分干渉顕微鏡は、試料の微分干渉像を撮像装置(11)により撮像し、その映像信号を画像処理装置に出力する。 - 特許庁 - A differential interference microscope 3 and a CCD camera 4 of the surface defect inspection apparatus 1 image the surface of an information recording medium to be inspected M for acquiring differential interference images.
表面欠陥検査装置１の微分干渉顕微鏡３とＣＣＤカメラ４で検査対象物Ｍの情報記録媒体表面の微分干渉画像を撮像する。 - 特許庁 - To provide a differential interference microscope fabricated by using a birefringent optical member which is simply manufactured and has satisfactory performance.
製造が簡単で性能のよい複屈折光学部材を使用した微分干渉顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide an easy-to-operate differential interference microscope, capable of moving a Nomarski prism to a desired position on an optical axis interlocked with the switching of an objective at observation of differential interference.
微分干渉観察時に対物レンズの切換えに連動させてノマルスキープリズムを光軸上の所望位置に移動させることができる操作の容易な微分干渉顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a position determination method capable of easily determining the position of a measuring object in electron microscope observation from position information or the like of the measuring object acquired by observation by a first microscope such as an optical microscope, a phase contrast microscope, a differential interference microscope or a polarization microscope.
光学顕微鏡、位相差顕微鏡、微分干渉顕微鏡または偏光顕微鏡等の第１の顕微鏡で観察した測定対象物の位置情報等から電子顕微鏡観察における測定対象物の位置を簡単に求めることができる位置決定方法を提供する。 - 特許庁 - The mounted position of the electronic component 2 to the electrode pad 3 is inspected from an observation image of the differential interference microscope 8.
そうして、微分干渉顕微鏡８の観察像から電極パッド３に対する電子部品２の実装位置を検査する。 - 特許庁 - This optical deflection unit 5 is insertably and removably disposed within the optical paths of the vertically illuminating light projection tube, differential interference microscope and polarizing microscope, by which the inexpensive vertically illuminating light projection tube, differential interference microscope and polarizing microscope capable of making the sharp color observation can be achieved without providing the space and mechanical structure for arranging the phase plate 2, such as the sharp color plate.
この光偏向ユニット５を落射投光管、微分干渉顕微鏡、偏光顕微鏡の光路内外に挿脱可能に備えることで、安価で、鋭敏色板等の位相射板を配置するスペースやメカ構造を設けることなく鋭敏色観察を行うことが可能な落射投光管、微分干渉顕微鏡、偏光顕微鏡を達成することができる。 - 特許庁 - To provide a luminous flux controller with which shear is easily, accurately and continuously varied without requiring any mechanical mechanism, and to provide an interference device and a differential interference microscope.
機械的な機構を必要とせずに、容易にシア量を精度良く連続的に変化させることができる光束制御装置、干渉装置及び微分干渉顕微鏡装置を提供する。 - 特許庁 - First of all, an observation image of the electrode pad 3 through a transparent mounting substrate 1 by a differential interference microscope 8 is acquired as electronic image data.
まず、微分干渉顕微鏡８による透明な実装基板１を介した電極パッド３の観察像を、電子画像データとして得る。 - 特許庁 - To provide a differential interference microscope which permits easy changing of observation conditions without requiring intricate operations, such as mechanical actions.
機械的な動作などの煩雑な操作を必要とすることなく、観察条件を容易に変更できる微分干渉顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a differential interference microscope capable of picking up the image of a defect without depending on the directivity of the defect even when it is the defect having the directivity.
方向性を有する欠陥であっても、欠陥の方向性に依存することなく欠陥像を撮像できる微分干渉顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To rapidly and accurately set an optimum retardation position in adjustment of retardation for an optical microscope having a differential interference observation function.
微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡のリタデーション調整において、最適なリタデーション位置を迅速かつ精度良く設定できるようにする。 - 特許庁 - To enable switching of at least two of the observation methods in an optical microscope system for e.g. bright field observation, dark field observation, and differential interference observation.
例えば明視野観察、暗視野観察又は微分干渉観察などの光学顕微鏡系の観察法の少なくとも２種の観察法を切り替え可能とすること。 - 特許庁 - In this inspection method, an observation image of the electrode pad 10a through a transparent mounting substrate 10 by the differential interference microscope 1 is acquired as electronic image data.
本発明に係る検査方法では、微分干渉顕微鏡１による、透明な実装基板１０を介した電極パッド１０ａの観察像を電子画像データとして得る。 - 特許庁 - To allow an optical microscope system to be switched to at least two observation methods such as bright field observation, dark field observation, and differential interference observation.
例えば明視野観察、暗視野観察又は微分干渉観察などの光学顕微鏡系の観察法の少なくとも２種の観察法を切り替え可能とすること。 - 特許庁 - In the defect inspection method, the surface of a wafer 7 is photographed by a differential interference microscope, and the number of defects observed on the surface is counted by image processing.
ウェーハ７の表面を微分干渉顕微鏡で撮影し、画像処理によって表面に観察される欠陥の個数を計数する欠陥検査方法である。 - 特許庁 - The shape of the surface of a disk 10 is captured as an image due to interference by using a differential interference microscope constituted of an optical detection head 16 and an analyser 22 and this image is converted to an electric signal by a photodiode 28.
光学検出ヘッド１６〜検光子２２で構成される微分干渉顕微鏡を用いてディスク１０表面の形状を干渉による画像として捕らえ、この画像をホトダイオード２８で電気信号に変換する。 - 特許庁 - To provide a device for detecting the concrete physical quantity of an observed object such as the inclination of the observed object, the minute planer part, the edge part, the level difference and the phase variation, etc., in a short time from the differential interference image of the observed object obtained through a differential interference microscope.
観察物体の勾配，微小平面部，エッジ部，段差，位相変化量等の具体的な物理量を微分干渉顕微鏡によって得られる観察物体の微分干渉画像から短時間で検出するための装置とこれを用いた検出方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a scanning microscope by which the quality of an observation image in observation using polarization such as differential interference observation is improved by making the polarization state of illumination light better.
照明光の偏光状態を良好にして、微分干渉観察など偏光を用いた観察時の観察画像の質を向上させた走査型顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a focus detector by which the good accuracy of focusing can be easily and rapidly obtained even in the focusing operation during differential interference observation and a microscope into which this detector is built.
微分干渉観察時の合焦動作においても簡単且つ迅速に良好な合焦精度を得ることの出来る焦点検出装置とそれを組込んだ顕微鏡を提供すること。 - 特許庁 - To provide an automatic focusing microscope capable of detecting a focus at the time of differential interference observation and realizing accurate detection by eliminating influence by the reflection of an internal optical system to the utmost.
微分干渉観察時に焦点検出が可能であり、かつ内部光学系の反射による影響を極力無くし、高精度な検出が可能な自動焦点顕微鏡を提供すること。 - 特許庁 - To provide a microscope sample which makes it efficient and accurate to evaluate the performance of a microscope using a differential interference contract method and a phase difference contrast method and also measure the size of the microstructure of a transparent living body sample as an object to be observed, and its manufacturing method.
微分干渉コントラスト法や位相差コントラスト法を用いた顕微鏡の性能の評価や、観察対象である透明な生物標本の微細構造の大きさ測定を効率良くかつ正確に行うことができる顕微鏡標本、およびその製造方法を提供する。 - 特許庁 - A differential interference microscope 1 includes: a light source 2; and a lateral deviation variable device 20 capable of varying a lateral deviation between first polarized light and second polarized light.
光源２と、前記光源から射出された光のうち試料４表面上での第１の偏光と第２の偏光との横ズレ量を可変可能な横ズレ量可変装置２０と、を備えた微分干渉顕微鏡１に関する。 - 特許庁 - In the example of the electronic component mounting state inspection method disclosed herein, first an observation image of the electrode pads 10a via a transparent mount board 10 by a differential interference microscope 1 is obtained as electronic image data.
本発明に係る電子部品実装状態検査方法の一例では、まず、微分干渉顕微鏡１による透明な実装基板１０を介した電極パッド１０ａの観察像を、電子画像データとして得る。 - 特許庁 - In this microscopic observation method of metallic soap particles in grease, the grease is sandwiched between the two transparent plates with a force having prescribed strength and observed by an optical microscope having differential interference or polarization function.
グリース中の金属石鹸粒子の顕微鏡観察方法において、グリースを透明な２枚の板の間に所定の強度の力で挟み、微分干渉もしくは偏光機能を有した光学顕微鏡で観察する。 - 特許庁 - A DIC motor 118 moves the Nomarski prism 117 in a direction orthogonal to the optical axis of the optical system of the optical microscope in accordance with acquirement of designation by the operation part 3, to adjust the retardation in differential interference observation.
ＤＩＣモータ１１８は、操作部３による該指示の取得に応じ、光学顕微鏡の光学系の光軸に直交する方向にノマルスキープリズム１１７を移動させて、微分干渉観察におけるリタデーションの調整を行う。 - 特許庁 - To provide a differential interference microscope device for observing a sample with an increased contrast, wherein epi-illumination is performed from an image side of an objective even when a slit is provided on a condenser lens side.
本発明は、試料のコントラストを高めて観察する微分干渉顕微鏡装置に関し、コンデンサレンズ側にスリットを設けた場合にも対物レンズの像側から落射照明を行うことができる微分干渉顕微鏡装置を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide a zoom microscope with high expandability which can be used for contrast observation (e.g., differential interference observation, etc.) of a sample and in which other optical systems (e.g., a fluorescent incident light illumination system, etc.) can be arranged between an objective lens part and a zoom part if necessary.
標本のコントラスト観察（例えば微分干渉観察など）に用いることができ、必要に応じて対物レンズ部とズーム部との間に他の光学系（例えば蛍光落射照明系など）を配置することもできる拡張性の高いズーム顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for inspection of a mounting state of an electronic component or the like capable of inspecting automatically without depending on the individual difference of an inspecting person and the material of an electrode pad, and performing image processing corresponding to a change of the background brightness observed by a differential interference microscope.
この発明は、検査人の個人差または電極パッドの材質に依存すること無く自動的に検査することができ、また、微分干渉顕微鏡で観察された背景の明るさの変化に応じた画像処理が可能な電子部品実装状態検査方法等を提供する。 - 特許庁
- 特許庁
- Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved.
