The x-ray topography apparatus obtains a planar diffraction image by detecting x-rays diffracted by a sample 11 when scanning the sample 11 with a linear x-ray by an x-ray detector 28. 試料11を線状のX線で走査したときに試料11で回折したX線をX線検出器28によって検出して平面的な回折像を得るX線トポグラフィ装置である。 - 特許庁