When analyzing charge distribution or potential distribution of a material to which charged particle beam or electromagnetic wave is projected, movement of charged particles is tracked by combining a MonteCarlomethod and a method for resolving a diffusion equation of charged particles. 荷電粒子線または電磁波が照射された物質における電荷分布またはポテンシャル分布を解析するに当たり、モンテカルロ法と荷電粒子の拡散方程式を解く方法とを組み合わせて荷電粒子の運動を追跡する。 - 特許庁