「dismutation」を含む例文一覧(1)
- Thus, by forming the Ru film 30 by a CVD method using a dismutation reaction, the film quality of the Ru film 30 can be improved and, further, oxidation of a conductive film, etc., under the Ru film 30 can be suppressed.
このように、不均化反応を利用したＣＶＤ法によりＲｕ膜３０を形成すれば、Ｒｕ膜３０の膜質を向上させることができ、また、Ｒｕ膜３０より下層の導電性膜等の酸化を抑えることができる。 - 特許庁
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