In a stator 10, a fluctuating portion 13 is formed by an etching processing in a top-surface plate 11 to provide first and second stationary electrodes 15A, 15B respectively in a bottom-surface plate 12 so as to oppose them to first and second fluctuatingelectrode portions 13E, 13F of the fluctuating portion 13. ステータ10において、上面板11にエッチング加工により揺動部13を形成し、底面板12に揺動部13の第1揺動電極部15Eと第2揺動電極部15Fに対向するように固定電極15A、15Bをそれぞれ配置する。 - 特許庁