「electron beam processing machine」を含む例文一覧(5)
- ELECTRON BEAM PROCESSING MACHINE
電子ビーム加工機 - 特許庁 - To provide an electron beam processing machine that can make a pulse beam to high frequency and optionally control a maximum or minimum value of the pulse beam, thereby allowing high quality welding.
パルスビームを高周波化できるとともに、パルスビームの最大値や最小値の値を任意にコントロールでき、品質の高い溶接を可能にする電子ビーム加工機を得ることである。 - 特許庁 - To provide a method of controllably reflecting electrons from an array of electron reflectors to make electron beam projection lithography possible at low cost because of maskless processing, and a device of a dynamic pattern generation machine for reflective electron beam lithography.
マスクレスのため低コストで電子ビーム投影リソグラフィを可能にする、電子反射板のアレイから制御可能に電子を反射する方法と、反射電子ビームリソグラフィのためのダイナミックパターン生成機の装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a data creation method for an electron beam projection photolithography machine that reduces a processing time by reducing a data capacity, and improves the physical strength of a mask.
データ容量を小さくして処理時間の短縮化を図るとともに、マスクの物理的強度を向上させることのできる電子ビーム投影露光装置用のデータ作成方法を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide a position compensation device which can follow and compensate a very high speed positional displacement like the vibration of machine or the like and detecting the displacement with very small detection error, and to provide an electron beam processing device using the same.
機械振動などの高速位置変位に対しても追従して補正が可能であり、かつ、その変位の検出誤差が非常に小さい位置補正装置及びそのような位置補正を用いた電子ビーム加工装置を提供すること。 - 特許庁
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