To use an evalution chip in common for plural purposes. 評価用チップを複数用途に共用できるマイクロコンピュータを提供する。 - 特許庁
PERFORMANCE EVALUTION METHOD, MAINTENANCE METHOD, PERFORMANCE MANAGEMENT SYSTEM, AND PERFORMANCE CONFIRMATION SYSTEM OF PLASMA TREATMENT DEVICE, AND PLASMA TREATMENT DEVICE プラズマ処理装置の性能評価方法、保守方法、性能管理システム、及び性能確認システム、並びにプラズマ処理装置 - 特許庁
To provide a projection aligner of a structure wherein, when the result of the evalution of a leading wafer is fed back to perform a calibration of the main conditions of exposure, the convertion of input data using an operator is unnecessary. 先行ウェハの評価結果をフィードバックして本露光条件の較正を行う際に、オペレータによる入力データの変換が不要な投影露光装置を提供する。 - 特許庁