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「excursion rate」を含む例文一覧(1)
To enhance a yield per wafer by using a thinner blade and reduce a
rate
of an error caused by the
excursion
of the blade in sawing, on dicing a membrane wafer.
薄膜ウェハのダイシングにおいて、より薄いブレードを使用してウェハ当たりの歩留まりを向上させ、また、鋸引き中のブレードの逸脱によって引き起こされるエラー率を減少させる。
- 特許庁
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