The differential exhaust system reduces the pressure in a second chamber connectable to a light-generating first chamber lower than in the first chamber, is arranged in the optical axis and provided with a path for the light to pass through, and has an exhaust section for exhausing out gas molecules flowing into the second chamber from the first chamber. 光を生成する第1のチャンバーに接続可能な第2のチャンバーの圧力を当該第1のチャンバーの圧力よりも低くする差動排気システムであって、前記光の光軸上に配置され、当該光が通過するための通路を有し、前記第1のチャンバーから前記第2のチャンバーに流入する気体分子を排気する排気部を有することを特徴とする差動排気システムを提供する。 - 特許庁