「faceprint」を含む例文一覧(1)
- To provide a substrate-processing apparatus capable of realizing low cost, small footprint and small faceprint, as well as, stable processes and high throughput.
低コスト、小フットプリント及び小フェースプリントを実現する基板処理装置を提供すると共に、安定したプロセス及び高スループットを実現する基板処理装置を提供する。 - 特許庁
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