「foreline」を含む例文一覧(5)
- This system can also include a multi-port foreline having a first port, a second port, and a third port, where the first foreline port is connected to the first interface port, and the second and the third foreline lines are connected similarly.
このシステムは、第１のポート、第２のポート及び第３のポートを有するマルチポートフォアラインをも含むことができ、上記第１のフォアラインポートは、上記第１のインターフェースポートに結合され、第２、第３も同様になされる。 - 特許庁 - This system can further include an exhaust vacuum that is connected to the multi-port foreline.
このシステムは、更に、上記マルチポートフォアラインに結合される排気真空を含むことができる。 - 特許庁 - To provide a foreline design that keeps a cleaning gas pressure at an optimal level when an input flow is increased.
入力流量が増大されたときに洗浄ガス圧力を最適レベルに維持するフォアライン設計を提供すること。 - 特許庁 - The exhaust foreline 60 that purges the fluid from a semiconductor manufacturing chamber can include a first port, a second port, and a third port that are independently connected to the chamber.
半導体製造チャンバから流体をパージングする排気フォアライン６０は、上記チャンバに独立して結合される第１のポート、第２のポート及び第３のポートを含むことができる。 - 特許庁 - To provide a semiconductor treating device having a pump device not needing an excessively long foreline having a large diameter so that it efficiently operates and to provide a small pump having reduced vibration and noise for the clean room environment.
効率的に稼働するように、大きい直径を有する過度に長いフォアラインを必要としないポンプ装置を有する半導体処理装置を備え、クリーンルーム環境のために、低減された振動及びノイズを有する小さいポンプを備える。 - 特許庁
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