MULTI-GRADATION MASK BLANK, METHOD OF MANUFACTURING MULTI-GRADATION PHOTOMASK, AND MULTI-GRADATION PHOTOMASK 多階調マスクブランクス、多階調フォトマスクの製造方法及び多階調フォトマスク - 特許庁
A gradation value indicating a gradation of a certain color is converted into a first light gradation value indicating a gradation of a light color by specified number of gradation, and a first dark gradation value indicating a gradation of a dark color by specified number of gradation. ある色の階調を示す階調値を、所定階調数でライト色の階調を示す第1ライト階調値と、所定階調数でダーク色の階調を示す第1ダーク階調値とに変換する。 - 特許庁