「hardlock」を含む例文一覧(1)

  • The canveyor chamber 13 is an airtight conveyor space for conveying the wafers between a hardlock chamber 12 and the reaction chamber 11.
    搬送室１３は、ロードロック室１２と反応室１１との間でウェーハを搬送するための密閉された搬送空間を形成する。 - 特許庁

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