「hydrostatic guide」を含む例文一覧(22)
- HYDROSTATIC BEARING AND GUIDE DEVICE
静圧軸受および案内装置 - 特許庁 - HYDROSTATIC WATER BEARING LINEAR GUIDE DEVICE
静圧水軸受直動案内装置 - 特許庁 - HYDROSTATIC AIR BEARING LINEAR GUIDE DEVICE
静圧空気軸受直線案内装置 - 特許庁 - HYDROSTATIC AIR BEARING TYPE STRAIGHT ADVANCE GUIDE
静圧空気軸受形直進案内 - 特許庁 - HYDROSTATIC GAS BEARING LINEAR GUIDE DEVICE
静圧気体軸受直線案内装置 - 特許庁 - HYDROSTATIC BEARING DEVICE AND MOVING BODY GUIDE DEVICE
静圧軸受装置および移動体案内装置 - 特許庁 - HYDROSTATIC BEARING PAD, LINEAR GUIDE APPARATUS, AND ROTATION GUIDE APPARATUS
静圧軸受パッド、直動案内装置および回転案内装置 - 特許庁 - GAS HYDROSTATIC OR FLUID HYDROSTATIC ELECTRODE GUIDE FOR SPARK EROSION MACHINING
火花侵食加工のための気体静圧式もしくは液体静圧式の電極ガイド - 特許庁 - To provide a fluid holding device (hydrostatic bearings and a hydrostatic guide) suppressing accuracy deterioration of a mobile body due to a disturbance load fluctuating at high speed.
高速変動する外乱負荷による移動体の精度低下の抑制が可能な流体保持装置（静圧軸受け、静圧案内）を提供する。 - 特許庁 - To provide a hydrostatic guide device which realizes the improvement of smooth movement with high precision.
高精度で円滑に移動することを向上させた静圧案内装置を提供することにある。 - 特許庁 - To provide a hydrostatic water bearing linear guide device, with which pitching is extremely small during the movement of a table.
テーブル移動時のピッチングが極めて小さい静圧水軸受直動案内装置の提供。 - 特許庁 - The pattern drawing device 1 is equipped with a hydrostatic bearing guide 51 for moving a stage in a main scanning direction.
パターン描画装置１は、ステージを主走査方向に移動させるための静圧軸受ガイド５１を有する。 - 特許庁 - In a direct acting guide mechanism by arranging an annular hydrostatic bearing in a bearing space formed between a moving body and guide shafts by parallelly inserting two guide shafts into the moving body, the hydrostatic bearing is arranged in the bearing space without restricting the radial direction, and fluid outflow holes are formed on the guide shaft side and the moving body side of the hydrostatic bearing.
移動体に２本の案内軸を平行に挿通するとともに、前記移動体と案内軸との間に形成される軸受用空間に、円環状の静圧軸受を配置してなる直動案内機構において、前記静圧軸受を前記軸受用空間にラジアル方向を拘束することなく配置し、前記静圧軸受の前記案内軸側および前記移動体側に流体流出孔を形成してなることを特徴とする。 - 特許庁 - In the hydrostatic air-cushion bearing straight line guide, a touchdown plain bearing 10 (a sliding member) which is arranged to be smaller than a bearing clearance is detachably provided on a guide surface (an air-cushion bearing surface) of a table 2.
テーブル２の案内面（空気軸受面）に、軸受隙間より小さくなるように配置してあるタッチダウンすべり軸受１０（摺動部材）が着脱自在に設けてある。 - 特許庁 - To provide a linear guide device with a hydrostatic air bearing, capable of restricting lowering of bearing performance due to temperature change even with a larger stage, while achieving low cost.
ステージが大型化しても温度変化に対する軸受性能の低下を抑え且つ低コストな静圧空気軸受直線案内装置を提供することを課題としている。 - 特許庁 - This hydrostatic water bearing linear guide device 1 is configured so that a magnetic balancer 300 is attached, through a nonmagnetic body support plate, to at least either the front side and/or the rear side of the bottom surface of the table 31 so as to face a coil 24 provided to a guide way 2.
テーブル３１底面の前後側の少なくとも一方にガイドウエイ２に設けたコイル２４に対向して磁気バランサー３００を非磁性体支持板を介して付属させた静圧水軸受直動案内装置１。 - 特許庁 - To provide a stage device accelerating an aligner and improving transfer accuracy by constructing a surface plate to increase surface accuracy of a hydrostatic bearing means scanning surface plate guide surface and to further reduce eddy current.
静圧軸受手段が走査する定盤案内面の面精度を高め、渦電流をさらに低減する定盤の構成により、露光装置を高速化し、転写精度を向上するステージ装置を提供する。 - 特許庁 - A bearing surface of a hydrostatic bearing pad 3 facing a guide face 1a of a guide 1 comprising a magnetic body is composed of a pair of permanent magnets 31 and 32, and a preload is applied to pressurizing fluid in a bearing gap by magnetic attraction of a magnetic circuit having a magnetic flux in a direction shown by the dashed line.
磁性体からなるガイド１の案内面１ａに対向する静圧軸受パッド３の軸受面を、一対の永久磁石３１、３２によって構成し、破線で示す方向に磁束を有する磁気回路の磁気吸引力によって軸受間隙の加圧流体に予圧を付与する。 - 特許庁 - Among moving structures for relatively moving the grinding wheels 72, 73 and the wafer 25 in the directions X, Y, Z, at least the moving structure for the direction Z is provided with a guide mechanism including hydrostatic bearings 42, 46.
砥石７２Ｂ，７３とウエーハ２５とをＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向に相対移動させる移動構成のうちで、少なくともＺ方向の移動構成に、静圧軸受４２，４６を含むガイド機構を設ける。 - 特許庁 - The hydrostatic bearing guide 51 is provided with a laser displacement gauge 621 for measuring changes in the clearance between a slider 62 and a rail 61, or provided with a vibration sensor for detecting vibration that is generated when the slider 62 is in contact with the rail 61.
静圧軸受ガイド５１には、スライダ６２とレール６１との間隔の変動を計測するレーザ変位計６２１、あるいは、スライダ６２とレール６１とが接触したときに発生する振動を検出する振動センサが設けられている。 - 特許庁 - An end of the arm 7 is supported by an output shaft 10 of a hydrostatic pressure cylinder 8 driven in a direction parallel to the attaching/detaching direction of the gate to/from the opening part 2, and has a rolling element 12 to fit in a guide groove 14 of a machine frame 6.
アーム７の基端は、ゲートが開口部２に接離する方向と平行に駆動される流体圧シリンダ８の出力軸１０に支持させ、そのアーム７の基端に機枠６のガイド溝１４に嵌入する転動体１２を設ける。 - 特許庁 - The projection-like parts 20 collide with the sliding surfaces 33a-33c of the guide plate 12 during non-formation of a hydrostatic fluid thin film between the sliding surfaces 14a-14c, 33a-33c, thereby securing a clearance gap between the sliding surfaces 14a-14c and 33a-33c.
突状部２０は、摺動面１４ａ〜１４ｃ，３３ａ〜３３ｃ間において静圧液体薄膜の非形成時に、ガイドプレート１２側の摺動面３３ａ〜３３ｃに突き当たることで、摺動面１４ａ〜１４ｃ，３３ａ〜３３ｃ間に間隙を確保する。 - 特許庁
- 特許庁
- Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved.
