To provide a micro-electromechanical system (MEMS) element and a manufacturing method thereof, making a hollow gap interval hyperfine as fine as nanometer level. 中空ギャップ間隔をナノメートルレベルまで超微細化したMEMS素子及びその製造方法を提供するものである。 - 特許庁
In particular, the pigments, in which particle diameter is adjusted to hyperfine at submicrons or nanometer level, have an advantage of having high coloring strength as a coloring material and are excellent in pigment properties such as solvent resistance, resistance to light, heat resistance, water resistance and chemical resistance, in particular heat resistance. 特に粒子径がサブミクロンないしナノメーターレベルに超微小化に調整されている顔料は、色材として着色力が高い利点を有し、耐溶剤性、耐光性、耐熱性、耐水性、耐薬品性などの顔料物性が、特に耐熱性に優れている。 - 特許庁