This ion implating method is provided with a two-path beamline in which a second path incorporates a deceleration system incorporating energy filtering. 本発明は、第二の経路がエネルギー濾過を、組み入れ減速システムを組み込んだ2経路ビームラインをさらに開示する。 - 特許庁
To provide an ion implating device capable of reducing metal pollution from a protection plate for protecting an inner wall of a beam passage. ビーム通路の内壁を保護する保護板からの金属汚染を低減することができるイオン注入装置を提供すること。 - 特許庁