To an apparatus for maintenance 31 which is inconstantly operated, on the other hand, surplus pure water is supplied from a second pure water supply pipe 51 which is branched from a return pipe 50a of the 1st pure water supply pipe 50. 一方、非恒常的に稼働されるメンテナンス用設備31には、第1の純水供給管50のリターン管50aから分岐された第2の純水供給管51から余剰の純水が供給される。 - 特許庁