INSPECTION DEVICE, INSPECTION METHOD, INSPECTIONPROGRAM, AND RECORDING MEDIUM WITH THE INSPECTIONPROGRAM STORED 検査装置,検査方法,検査プログラムおよび検査プログラムを記録した記録媒体 - 特許庁
INSPECTION METHOD OF SCANNER, AND INSPECTIONPROGRAM スキャナの検査方法、および検査プログラム - 特許庁
BOARD INSPECTION DEVICE AND BOARD INSPECTIONPROGRAM 基板検査装置及び基板検査プログラム - 特許庁
INSPECTION CONTROL SYSTEM, INSPECTION METHOD, AND INSPECTION CONTROL PROGRAM 検査制御システム、検査方法、および検査制御プログラム - 特許庁
INSPECTION METHOD, INSPECTION DEVICE, AND INSPECTIONPROGRAM FOR LAYERED BODY 積層体の検査方法、検査装置及び検査プログラム - 特許庁
INSPECTION CONDITION JUDGEMENT PROGRAM, INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION SYSTEM 検査条件判定プログラムと検査装置と検査システム - 特許庁