To provide a semiconductor device for driving an electrothermal conversion element in which the current level can be increased by a high withstanding voltage, high speed operation can be effected with a low on resistance, and high integration and energy saving can be realized while facilitating inter-element isolation. 高耐電圧により大電流化が可能で、オン抵抗が低く高速動作が可能で、高集積化と省エネルギーが可能で、素子間分離の容易な、電気熱変換素子駆動用の半導体装置を提供する。 - 特許庁
In order to provide an inter-metal and/or in-metal air isolation for at least some conductive metal elements 11 at metalization level of an integrated circuit, a polycrystalline germanium 12 is deposited in a mutually connecting between the conductive metal elements 11 on a substrate 10. 集積回路の金属化レベルの少なくともいくつかの導電性金属素子の金属間および/または金属内空気アイソレーションを実現するため、まず基板上の導電性金属素子間の相互接続空隙に多結晶ゲルマニウムを堆積する。 - 特許庁