To eliminate spurious radiation in a traversal mode within a prescribed frequency range without being subjected to restrictions of a metallization ratio and a standardized film thickness of an IDT (Interdigital Transducer). IDTのメタライゼーションレシオや規格化膜厚の制約を受けることなく、所定の周波数範囲内における横モードによるスプリアスを除去できるようにする。 - 特許庁
This vibration propagates over the surface of the piezoelectric substrate 11, is reflected by a reflector 14 and returns to between the interdigital electrodes 12 and 13 on the piezoelectric substrate 11. この振動は圧電基板11の表面を伝播し、反射器14において反射して、圧電基板11の櫛型電極12と13との間に戻ってくる。 - 特許庁
A surface acoustic wave filter 110 having three interdigital electrodes 103, 104, 105 along a propagation direction of a surface acoustic wave is provided onto a piezoelectric substrate. 圧電基板上に、3つのくし形電極部103、104、105を弾性表面波の伝搬方向に沿って有する弾性表面波フィルタ部101を設ける。 - 特許庁
The method and the system for forming the accelerometer includes a step for forming a load beam 12 with one supported end, attached with one or a plurality of interdigital transducers IDT. 加速度計を形成する方法およびシステムが、1つまたは複数のインターデジタル変換器(IDT)が取り付けられ一端が支持されたロードビーム(12)を形成するステップ含む。 - 特許庁
In this humidity sensor, a pair of interdigital electrodes 14 having detecting electrode parts 14A having a plurality of comb-teeth at the tip sides, respectively, is provided on a ceramic substrate 12A. それぞれ複数のくし歯が形成された検出電極部14Aを先端側に有した一対の櫛形電極14が、セラミック基板12A上に備えられる。 - 特許庁
The surface side interdigital electrode 5 is provided with one bus electrode 7 and a plurality of electrode fingers 8 continued to the bus electrode 7 and bent in the middle so as to be shaped like a V character. 表面側の櫛形電極5は、1本のバス電極7と、バス電極7に連なり、中途で屈曲させてV字状をなす複数の電極指8とを有する。 - 特許庁
Since the two interdigital capacitors are formed by use of the common electrode and the transistor is arranged on its extension, the capacitors and transistor can be connected by a short wire. 2つのインタディジタルキャパシタを共通電極で形成し、その延長線上にトランジスタを配置したことで、キャパシタとトランジスタを短い配線で接続することができる。 - 特許庁
Interdigital electrodes TRN1-1, TRN1-2, TRN1-3 of an exciting electrode TRN1 have different center frequencies of SAW capable of vibration control. 励振用電極TRN1の櫛形電極TRN1−1,TRN1−2,TRN1−3は、励振可能なSAWの中心周波数がそれぞれ異なる。 - 特許庁
To provide an electrode structure for a small sized surface acoustic wave element where defect of an interdigital transducer is suppressed due to a discharge caused by a pyroelectric effect in the manufacture process. 製造過程で焦電効果に起因して発生する放電によるインタディジタルトランスデューサーの破損を抑制する弾性表面波素子の電極構造を提供する。 - 特許庁
In a SAW device with interdigital electrodes 5-7 formed on a piezoelectric substrate, a main component of electrode materials forming the interdigital electrodes 5-7 is copper, the piezoelectric substrate is an approximate 15° rotary Y-axis cut X-direction propagation LiNbO_3 substrate, and a SAW propagation mode is a Love-wave mode. 圧電基板上にすだれ状電極5〜7が形成された弾性表面波装置において、前記すだれ状電極5〜7を形成する電極材料の主成分が銅であり、かつ前記圧電基板が略15°回転Y軸カット−X方向伝搬LiNbO_3基板であり、かつ弾性表面波の伝搬モードがラブ波モードであることを特徴とする。 - 特許庁
The surface acoustic wave actuator includes a stator 2 consisting of a piezoelectric substrate having an interdigital electrode for exciting surface acoustic waves, and a mobile 3, which shifts, being added driving force by the surface acoustic wave actuator excited on the surface of the stator 2, by power supply to the interdigital electrode. 弾性表面波アクチュエータは、弾性表面波を励振する交差指電極を表面に有する圧電基板からなる固定子2と、交差指電極への電力供給により固定子2の表面に励振された弾性表面波による駆動力を当該表面との接触面に生じる摩擦力を介して加えられて移動する移動子3と、を備えている。 - 特許庁
The waves are incident into the tube as first and second longitudinal waves via a part of the wall of the tube, they are reflected by two parts on the opposite side of the part of the wall of the tube, and they are detected as first and second electric signals by a first interdigital electrode 3 for output and a second interdigital electrode 4 for output. この漏洩弾性波はチューブ壁の一部を介して第1および第2の縦波としてチューブ内に照射され、チューブ壁のその一部とは反対側の2つの部分によって反射され、それぞれ第1出力用すだれ状電極3および第2出力用すだれ状電極4によって第1および第2遅延電気信号として検出される。 - 特許庁
The electronic component has a substrate 1, an interdigital transducer (IDT) 2 provided on the upper surface of the substrate 1, and a protective film 4 covering the IDT 2 and having an uneven shape on its top surface. 電子部品は、基板1と、基板1の上面に設けた櫛型電極2と、櫛型電極2を覆うとともに天面に凹凸形状を有する保護膜4とを有している。 - 特許庁
Interdigital transducers (hereinafter called IDT) 16, 17 and 18 for generating a surface acoustic wave and detecting it are provided onto a piezoelectric substrate 11 to have a filter function with a pass band. 圧電基板11上に、弾性表面波を発生し、検出するインターデジタルトランスデューサ(以下、IDTと記す)16、17、18を、通過帯域を備えたフィルタ機能を有するように設ける。 - 特許庁
In the surface acoustic wave element 1, one of a pair of the interdigital electrodes configuring the IDTs 5, 6 is connected to the plugs 25 via at least part of the reflectors 7, 8. この弾性表面波素子1では、IDT5、6を構成する一対の櫛歯電極のうち、一方のものが反射器7、8の少なくとも一部を介して、プラグ25に接続されている。 - 特許庁
To minimize fluctuations of resonance frequencies caused by variations of an IDT (Interdigital Transducer) electrode of a surface acoustic wave (SAW) apparatus, using an ST (sawtooth)-cut crystal board in-plane rotation about a Z' axis. Z’軸回りに面内回転させたSTカット水晶板を用いた弾性表面波装置のIDT電極のばらつきに対する共振周波数の変動を小さくする。 - 特許庁
To provide a manufacturing method of a surface acoustic wave device and the surface acoustic wave device whose frequency can be adjusted even if an interdigital electrode is not directed outward, and to provide electronic equipment. すだれ状電極が外方に向いていなくても周波数調整を行える弾性表面波デバイスの製造方法、弾性表面波デバイスおよび電子機器を提供する。 - 特許庁
To provide a fuel cell, with which power generation efficiency is improved by forming a gas flow passage of interdigital shape in a dense plate, and which can suppress flooding in the gas flow passage. 緻密質プレートにインターディジデント形状のガス流路を形成して発電効率を向上するとともに、ガス流路内のフラッディングを抑制できる燃料電池を提供する。 - 特許庁
To provide a surface acoustic wave device for forming a plurality of interdigital transducer (IDT) electrodes of end face reflection types having different electrode periods from each other to one and same piezoelectric substrate without losing a resonance characteristic. 相互に異なる電極周期を有する端面反射型の複数のIDT電極を共振特性を損なうことなく同一の圧電体基板上に形成する。 - 特許庁
An insulated material layer composed of silicon oxide is formed between interdigital electrode parts 12, 13 and a piezoelectric substrate 11, so that an anti-resonant frequency gets closer to a resonant frequency. くし歯状電極部12、13と圧電性基板11の間に、酸化ケイ素からなる絶縁性材料層を形成することにより、反共振周波数が共振周波数に近づく。 - 特許庁
Interdigital electrodes 1 and 2 for exciting and receiving acoustic surface wave are arrayed adjacently in the propagating direction of surface acoustic wave, in the vertical coupling dual-mode surface acoustic wave filter. 弾性表面波を励振及び受信するすだれ状電極1,2を、弾性表面波の伝搬方向に複数近接配列した縦結合二重モード弾性表面波フィルタ。 - 特許庁
In the electrode pattern of a series arm surface acoustic wave resonator shown in Figure 1, the vertical width of parts other than the comb- teeth of an interdigital electrode 2 configuring an IDT 11 is made wider. 図1の直列腕弾性表面波共振器の電極パターンにおいて,IDT11を構成する櫛歯状電極2の櫛歯以外の部分の垂直方向の幅を広くとる。 - 特許庁
In addition, the wiring 3a and 3b are built using alternate interdigital paired wires so that the anode areas 1a and the cathode areas 1b are connected in parallel individually. またここで、配線3aおよび3bは、互い違いの櫛歯配線対によって構成されており、これによって、アノード領域1aおよびカソード領域1bを各別に並列接続させる。 - 特許庁
To provide a surface acoustic wave device having an interdigital electrode type capacitive element with a low resistance and high capacitance accuracy and to provide a manufacturing method thereof. この発明は、低抵抗でかつ容量値精度が高いインタデジタル電極型の容量素子を有する新規な弾性表面波装置及びその製造方法を提供するものである。 - 特許庁
When voltage at a specified frequency is applied from an oscillator 15 on the interdigital transducer 11a, concentric acoustic compression waves 16 are generated in the optical waveguide layer 10a. インターディジタルトランスデューサ11aに発振装置15により所定周波数の電圧を印加すると、光導波路10aに同心円状の音響的疎密波16が生成される。 - 特許庁
To efficiently manufacture a spherical surface acoustic wave element by reducing a processing man-hour of an interdigital electrode and an element electrode to be formed on the surface of a crystal spherical body. 結晶球状体の表面に形成するすだれ状電極及び素子電極の処理工数を少なくし、球状弾性表面波素子を効率良く製造することにある。 - 特許庁
The reception-side surface acoustic filter 110 is a longitudinal coupling resonator type surface acoustic wave filter in which a plurality of interdigital electrodes are arranged along the propagation direction of surface acoustic waves. 受信側弾性表面波フィルタ110が複数のくし型電極部を弾性表面波の伝搬方向に沿って配置してなる縦結合共振子型弾性表面波フィルタである。 - 特許庁
When a connector 1 for input receives the encoded digital message signals from the first power line, the signals reach a first interdigital electrode 4 for relay via a tuning coil 3. 符号化メッセージデジタル信号が第1の電力線から入力用接続器1で受信されると、チューニングコイル3を介して第1中継用すだれ状電極4に到達する。 - 特許庁
To improve an out-band attenuation characteristic by suppressing coupling between a signal input and output when unbalanced terminals are connected using interdigital-coupled resonators. インターディジタル結合された共振器を用いて、不平衡端子を接続した場合の信号入出力間の結合を抑制し、帯域外の減衰特性の改善を行うことができるようにする。 - 特許庁
In the surface acoustic wave device, respective longitudinally- coupled-resonator type interdigital transducer 2, 1, 3 having a balance type - unbalance type converting function are provided on a piezoelectric substrate 8 along the propagating direction of a surface acoustic wave. 平衡型−不平衡型変換機能を有する縦結合共振子型の各くし型電極部2、1、3を弾性表面波の伝搬方向に沿って圧電基板8上に設ける。 - 特許庁
To provide an interdigital capacitor that can precisely adjust its capacity at a high frequency band of more than several tens of GHz, as well as a method for adjusting its capacity. 数十GHz以上の高い周波数帯域で精度良く容量を調整することができるインタディジタルキャパシタ及びその容量調整方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
The meshing width (W) of the interdigital electrode portions 303, 304, 305, 308, 309, and 310 is in the range of about 43 λ to about 58 λ in which λ is the wavelength of a surface acoustic wave. くし型電極部303、304、305、308、309、310の電極交叉幅(W)を弾性表面波の波長λに対して43λ〜58λの範囲に設定する。 - 特許庁
Serial arms and parallel arms of a lattice circuit are constituted by surface acoustic wave resonators of interdigital type electrodes formed on a piezoelectric substrate, thus obtaining a surface acoustic wave filter. 圧電性基板上に形成した交差指状電極による弾性表面波共振子にて格子型回路の直列腕と並列腕を構成して弾性表面波フィルタとしている。 - 特許庁
To acquire higher electric power resistance than conventional, by reducing the generation of migration in a surface acoustic wave element, where an electrode to be an interdigital transducer is formed on a piezoelectric substrate. 圧電基板上にインターディジタルトランスデューサとなる電極が形成されている弾性表面波素子において、マイグレーションの発生を抑制して従来よりも高い耐電力性を得る。 - 特許庁
Each IDT 6 has interdigital digit electrode 5 connected to its electrode base parts while slanted from the opposition direction of two opposite electrode base parts (signal electrode 7 and ground electrode 8). 各IDT6は、対向する2つの電極基部(信号電極7及びグランド電極8)の対向方向から傾いた態様で、櫛形電極指5が電極基部に連なっている。 - 特許庁
To provide a surface acoustic wave filter for accurately patterning an interdigital electrode on a piezoelectric substrate at a prescribed interval and a prescribed finishing height and to provide its manufacturing method. 圧電体基板上の櫛形電極を、所定の間隔でかつ所定の仕上り高さに精度よくパターニングできる表面弾性波フィルタおよびその製造方法を提供する。 - 特許庁
Interdigital electrodes 5a, 4c, which are engaged with each other and constitute horizontal electrostatic combs 6, are formed at the end of the drive plate 5 and the frame part 4 facing thereto, respectively. 駆動板5の端部とそれに対向するフレーム部4とには、互いに噛み合い水平静電コム6を構成する櫛歯形状の電極5a,4cがそれぞれ形成されている。 - 特許庁
A planar common electrode (not shown in Fig.) is formed through an insulating film in the lower layer of a pixel electrode 110 having an interdigital electrode and having a laterally-extending trapezoidal profile. 櫛歯状の電極を有し、外形が横向きの台形である画素電極110の下層には絶縁膜を介して図示しない面状の共通電極が形成されている。 - 特許庁
The characteristics during the resonance are used to achieve interdigital coupling equivalently during the resonance without connecting the other-end sides of the pair of 1/4-wavelength resonators 10 and 20 to the ground electrode. この共振時の性質を利用することで、一対の1/4波長共振器10,20の他端をグランド電極に接続することなく、共振時に等価的にインターディジタル結合がなされる。 - 特許庁
External electrodes are formed on a surface, on which the conducting members 18 and the insulating members 20 are formed, and two groups of electrodes which are arranged in an interdigital electrodes type are formed. さらに、導電材18および絶縁材20が形成された面上に外部電極を形成し、交差指電極状に配置された2つのグループの電極を形成する。 - 特許庁
First and second filter tracks 12 and 13 are constituted in parallel on a piezoelectric substrate 11 and input IDT-(interdigital transducer) electrodes 14 and 16 and output IDT electrodes 15 and 17 are respectively provided. 圧電基板11の上に、第1、第2のフィルタトラック12,13が並列に構成されており、それぞれ入力IDT電極14,16と出力IDT電極15,17を有する。 - 特許庁
When the bottom face part is a circle or a right polygon having a center, strain can be detected efficiently by forming the interdigital electrodes annularly while matching the center. 底面部が中心点を有する円形または正多角形の場合、交差指電極を、中心点を一致させた環状に形成することにより効率よく歪を検出することができる。 - 特許庁
A surface light source 30 made of an electroluminescent(EL) emitter and a radiation image detector 10 having an interdigital electrode 15a for reading are integratedly stacked on a substrate 5 in this order. 基板5上にEL発光体からなる面状光源30、読取用のクシ電極15aを有する放射線画像検出器10をこの順に積層して一体構成とする。 - 特許庁
Thus, it is possible to obtain an surface acoustic wave device for preventing the electrostatic destruction of the interdigital electrode without generating the deterioration of the high frequency electric performance or insulating resistance of the device. このようにすることで、装置の高周波電気的性能や絶縁抵抗の劣化を起こさず、すだれ状電極の静電破壊を防止した弾性表面波装置を得ることができる。 - 特許庁
A three-electrode longitudinal mode coupling type surface acoustic wave filter 16 is formed by having the interdigital electrodes each of which is connected to a balanced output or balanced input terminal, the numbers of interdigital electrode fingers 11a, 11b connected to balanced terminals 17a, 17b are made equal, thereby obtaining the excellent amplitude balance characteristic and phase balance characteristic. 平衡出力または平衡入力端子に接続された櫛型電極を有する三電極縦モード結合型の弾性表面波フィルタ16を形成し、それぞれの平衡型端子17a、17bに接続されている櫛型電極指11a、11bの本数を同数にすることによって良好な振幅バランス特性および位相バランス特性を得ることができる。 - 特許庁
Processes are performed: a process of measuring the film thickness distribution of a metal film 11 formed on a piezoelectric substrate 2; and an electrode-forming process for forming a mask layer 13 having forming patterns of interdigital transducers 3 on the metal film 11, etching a portion where the metal film 11 and the substrate 2 are not covered with the mask layer 13, thereby forming the interdigital transducers 3. 圧電性基板2上に成膜された金属膜11の膜厚分布を測定する工程と、櫛形電極3の形状パターンを有するマスク層13を金属膜11上に形成し、金属膜11及び圧電性基板2のうちマスク層13に覆われていない部分をエッチングすることにより櫛形電極3を形成する電極形成工程とを行う。 - 特許庁
A protection film is preliminarily formed on the surface of a piezoelectric substrate after the formation of an interdigital electrode such as an aluminum deposition film and an aluminum alloy evaporation film prior to the water injection cooling type dicing of the piezoelectric substrate at the time of surface acoustic wave resonator chip division after the formation of the interdigital electrode such as the surface acoustic wave resonator aluminum deposition film or an aluminum alloy deposition film. 弾性表面波共振器アルミニウム蒸着膜、アルミニウム合金蒸着膜のすだれ状櫛形電極形成後の弾性表面波共振器チップ分割における圧電性基板の注水冷却式ダイシングに先立ち、アルミニウム蒸着膜、アルミニウム合金蒸着膜のすだれ状櫛形電極形成圧電性基板表面に予め保護膜を形成したものである。 - 特許庁
A SAW resonator is configured by providing a cantilever beam body structure in which one end of a substrate 1 consisting of piezoelectric material is fixed, an interdigital electrode 2 formed on the substrate 1 and consisting of electrode fingers periodically disposed for exciting the SAW, and a mechanism for deforming the substrate 1, and by installing a SAW reflector 3 adjacently to the interdigital electrode 2. 圧電材料からなる基板1の一端を固定した片持ち梁構造体と、基板1に形成された表面弾性波を励振するための周期的に配置された電極指からなる櫛歯電極2と、基板1を変形させるための機構とを具備し、櫛歯電極2に隣接して表面弾性波の反射器3を設置して表面弾性波共振子を構成している。 - 特許庁
Each outermost electrode finger of the divided interdigital electrode of the IDT electrode 6 is located adjacent to the electrode finger of the IDT electrodes 6, 7 at both sides of the IDT electrode 6, and the side of the interdigital electrodes of the IDT electrodes 5, 7 including the electrode finger adjacent to the outermost electrode finger of the IDT electrode 6 is connected to a ground terminal 18 respectively. 最終段の電極群は、IDT電極6の2分割された各櫛歯状電極の最外電極指が両側のIDT電極5,7の電極指と隣り合っており、IDT電極5,7の櫛歯状電極の内IDT電極6の最外電極指に隣り合った電極指を有する側が接地端子18に接続されている。 - 特許庁
The impedance sensor of this invention used for detecting mixed ratio, or the like of liquid or gas by putting it into the liquid or the gas is constituted of a substrate; a pair of interdigital electrodes disposed on the substrate; and a protective film disposed on the surface of the substrate like covering the interdigital electrodes, the material of the protection film, the dielectric constant of which is 6 or larger is used. 本発明のインピーダンスセンサは、液体や気体の中に入れて液体や気体の混合比率等を検出するものにおいて、基板と、基板の表面に設けられた一対の櫛歯状電極と、基板の表面に櫛歯状電極を覆うように設けられた保護膜とを備え、保護膜として比誘電率が6以上の材料を使用するように構成した。 - 特許庁