Consequently, even when reliability evaluation such as a temperature cycle test is performed, the peeling of bondinginterface between the insulating substrate 1 and base conductor layer 3a can be suppressed. このことにより温度サイクル試験などの信頼性評価を行った場合においても絶縁基板1と基礎導体層3aとの接合界面の剥がれを抑制できる。 - 特許庁